技術(shù)特征：

1.一種通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，步驟s1的實(shí)現(xiàn)過程為：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，步驟s2的實(shí)現(xiàn)過程為：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，所述金剛石的厚度為3～4μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，金剛石/硅微懸臂梁諧振器的制作過程為：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，步驟s31中，納米金剛石采用直徑為50nm的商業(yè)爆轟納米金剛石；在400℃的氧氣環(huán)境中退火4小時(shí)；將納米金剛石超聲分散于純水中，并以1000rpm離心6小時(shí)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，步驟s4的激勵(lì)金剛石/硅微懸臂梁諧振器振動(dòng)的過程為：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，其特征在于，步驟s4中，采集信號(hào)的過程為：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種通過降低空氣和表面損耗提高硅微諧振器品質(zhì)因子的方法，屬于微機(jī)電器件傳感器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過有限元模擬各種材料沉積在硅上，其中金剛石對(duì)降低空氣阻尼效果最為明顯。因此，本發(fā)明采用微波等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(MPCVD)技術(shù)，在硅微懸臂梁沉積3.5μm厚的金剛石上。另外金剛石表面的化學(xué)惰性以及疏水性可以額外降低表面損耗，硅由于受空氣中的氧氣自然氧化，表面會(huì)有一層1?2nm的天然二氧化硅氧化層，這層氧化層影響機(jī)械，并且吸收空氣中的水分，增加表面損耗，而金剛石層可以同時(shí)最大程度地降低空氣阻尼和表面損耗，有效提高微諧振器的品質(zhì)因子。

技術(shù)研發(fā)人員：劉鐸,趙志新,張汪陽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15