本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造工藝管路焊接處內(nèi)壁處理方法技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種對薄膜沉積設(shè)備工藝管路焊接點電拋光的方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中，工藝管路部分的管路材質(zhì)基本都是不銹鋼，我們會根據(jù)一些實際情況來決定工藝管路的長短，所以有些部位會人為的進(jìn)行焊接，兩個接口焊接完以后，接頭內(nèi)壁會出現(xiàn)毛刺，這對輸送氣體很不利，一方面可能會阻礙氣體的輸送，另一方面，長期下來，氣體可能會對管路造成腐蝕，造成管路漏氣等現(xiàn)象，一旦發(fā)生漏氣，就必須要更換工藝管路，這樣不但影響了工藝的進(jìn)行，投入成本也會增多，另外，如果不能及時發(fā)現(xiàn)，氣體泄漏還會造成危險，因此需要對焊接管路接頭內(nèi)壁進(jìn)行一些前期處理，來避免上述現(xiàn)象的發(fā)生?，F(xiàn)有的對管路的預(yù)處理手段有很多，比如電鍍，著色，電拋光等，但是現(xiàn)有的電拋光技術(shù)只是針對一些零件，而且都是在生產(chǎn)車間應(yīng)用。因此，針對半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備需要人為進(jìn)行裝配的情況，需要自制一套操作簡便，工作效率高，價格低廉的電拋光設(shè)備來對工藝管路進(jìn)行電拋光處理。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種對薄膜沉積設(shè)備工藝管路焊接點電拋光的方法，在被拋光的不銹鋼表面形成一層極化膜，使金屬離子通過這層薄膜擴散，表面上的顯微及宏觀的凸點或粗糙處的高點及毛刺區(qū)的電流密度比表面其余部分大，并以較快的速度溶解，從而達(dá)到整平和去毛刺的目的，通過延長拋光時間，提高拋光溫度和電流密度可得到光亮的表面。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，提供了一種對薄膜沉積設(shè)備工藝管路焊接點電拋光的方法包括如下步驟：

1)電拋光液的配置，將工業(yè)用磷酸85-95g、甘油40-70g、聚乙二醇3-5g和蒸餾水8-15g進(jìn)行混合；

2)電拋光裝置的組合，將待處理工藝管路作為陽極，與陽極同樣大小的鉛板作為陰極，二者之間連接電源后，未接電源的一端放入反應(yīng)槽，反應(yīng)槽放在加熱器中；

3)進(jìn)行電拋光反應(yīng)，將步驟1)中制備的電拋光液加入到反應(yīng)槽中，利用加熱器將所述電拋光液加熱到75℃，打開電源，調(diào)節(jié)好電壓和電流，進(jìn)行拋光反應(yīng)，時間為12分鐘；

4)硫酸浸泡，將步驟3)中處理完的工藝管路從電拋光裝置中卸下，放在摩爾濃度9％的硫酸溶液中，浸泡1-2分鐘，取出清水沖洗干凈，完成了工藝管路的電拋光處理。

進(jìn)一步地，電拋光液中工業(yè)用磷酸90g、甘油50g、聚乙二4g、蒸餾水10g。

進(jìn)一步地，步驟3)中進(jìn)行電拋光反應(yīng)時電壓為10V，電流為10A。

進(jìn)一步地，反應(yīng)槽中設(shè)置有溫度計和攪拌裝置。

進(jìn)一步地，陽極通過掛具懸掛。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于：1)設(shè)備簡單，易操作，可自行進(jìn)行電拋光工藝；2)反應(yīng)液各組分常見，易購，價廉且安全無毒；3)管路進(jìn)行電拋光后，避免腐蝕，漏氣等現(xiàn)象；4)在工作及閑置狀態(tài)時，性質(zhì)穩(wěn)定，能長期使用；5)拋光后表面易清洗，對反映環(huán)境要求不高，易于在半導(dǎo)體行業(yè)推廣。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：

圖1為本發(fā)明電拋光設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明提供了一種對薄膜沉積設(shè)備工藝管路焊接點電拋光的方法，參考圖1為該方法所使用的電拋光設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖，電源2、工藝管路陽極8、鉛陰極板4、反應(yīng)槽5和加熱器7，優(yōu)選在反應(yīng)槽5中設(shè)置溫度計3和攪拌裝置6，并將陽極通過掛具1懸掛，利用該裝置進(jìn)行電拋光反應(yīng)。

實施例

1)電拋光液的配置，將工業(yè)用磷酸90g、甘油50g、聚乙二醇4g和蒸餾水10g進(jìn)行混合；

2)電拋光裝置的組合，將待處理工藝管路作為陽極，與陽極同樣大小的鉛板作為陰極，二者之間連接電源后，未接電源的一端放入反應(yīng)槽，反應(yīng)槽放在加熱器中；

3)進(jìn)行電拋光反應(yīng)，將步驟1)中制備的電拋光液加入到反應(yīng)槽中，利用加熱器將所述電拋光液加熱到75℃，打開電源，調(diào)節(jié)好電壓10V和電流10A，進(jìn)行拋光反應(yīng)，時間為12分鐘；

4)硫酸浸泡，將步驟3)中處理完的工藝管路從電拋光裝置中卸下，放在摩爾濃度為9％的硫酸溶液中，浸泡1-2分鐘，取出清水沖洗干凈，完成了工藝管路的電拋光處理。