本發(fā)明涉及氦質(zhì)譜背壓泄漏檢測領(lǐng)域，具體地，涉及輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置及其檢漏方法。

背景技術(shù)：

1、由氦質(zhì)譜檢漏的原理可知，只有在密封部位的兩側(cè)形成一定的濃度差和壓差才可實(shí)現(xiàn)對檢漏部位的氣密性檢測，所以在檢漏工藝中對檢漏部位抽真空和充入示漏氣體是所有檢漏過程中所必不可少的環(huán)節(jié)。每次檢漏時(shí)，需要將這兩部分系統(tǒng)進(jìn)行拆裝、組配以及氣密性檢測等準(zhǔn)備工作，不僅工作效率低，而且不能保證每次檢漏工況的一致性，尤其是在做一些高精度實(shí)驗(yàn)時(shí)，常常因系統(tǒng)前后狀態(tài)的不一致性而影響對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的正確分析與處理。此外，充氣壓力、濃度與泄漏率有著密切的聯(lián)系，被檢部位內(nèi)部的充氣壓力高低與充氣濃度大小決定了整個(gè)檢漏系統(tǒng)的檢測能力，通過準(zhǔn)確測量與控制被檢部位內(nèi)部的充氣壓力與濃度，可為準(zhǔn)確評估檢漏部位的密封性能提供數(shù)據(jù)支撐。由此可見，研制加壓-抽真空實(shí)驗(yàn)裝置，無論是從檢漏工藝還是從檢漏結(jié)果可靠性等方面考慮都有著重要的意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置及其檢漏方法。

2、根據(jù)本發(fā)明提供的一種輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，包括：輻照監(jiān)督管、充氦系統(tǒng)以及測試系統(tǒng)，輻照監(jiān)督管內(nèi)裝配有輻照監(jiān)督試樣，輻照監(jiān)督管置于充氦系統(tǒng)內(nèi)時(shí)處于充壓狀態(tài)，輻照監(jiān)督管置于測試系統(tǒng)內(nèi)時(shí)處于測量狀態(tài)；

3、測試系統(tǒng)包括參考漏孔、測試罐體以及氦質(zhì)譜檢漏儀，測試罐體上分別連接有參考漏孔和氦質(zhì)譜檢漏儀，氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)設(shè)有抽真空泵；

4、輻照監(jiān)督管放置于測試罐體內(nèi)部，測試罐體通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，閉合測試罐體，開啟參考漏孔，輻照監(jiān)督管通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測泄漏率i2。

5、優(yōu)選的，測試系統(tǒng)還包括第二真空計(jì)、溫濕度計(jì)、第三截止閥以及第四截止閥，測試罐體還分別連接有第二真空計(jì)和溫濕度計(jì)，參考漏孔與測試罐體之間設(shè)有第三截止閥，氦質(zhì)譜檢漏儀與測試罐體之間設(shè)有第四截止閥。

6、優(yōu)選的，測試罐體閉合，第四截止閥打開，氦質(zhì)譜檢漏儀對測試罐體進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，并通過第二真空計(jì)進(jìn)行真空值監(jiān)測，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測到參考漏孔關(guān)閉狀態(tài)時(shí)的測試罐泄漏率本底值i0。

7、優(yōu)選的，測試罐體閉合，第三截止閥和第四截止閥打開，氦質(zhì)譜檢漏儀對測試罐體進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，并通過第二真空計(jì)進(jìn)行真空值監(jiān)測，參考漏孔打開，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測到參考漏孔泄漏率i1。

8、優(yōu)選的，輻照監(jiān)督管實(shí)際泄漏率i實(shí)為：

9、i實(shí)＝[(i2-i0)/(i1-i0)]*q0*1/c，

10、其中，q0為標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)稱值,1/c為氦氣濃度。

11、優(yōu)選的，輻照監(jiān)督管包括頂塞、底塞、管體以及密封塞，管體兩端分別連接有頂塞和底塞，管體側(cè)壁上連接有密封塞，且密封塞位于靠近頂塞的一端；

12、管體由兩個(gè)半槽殼焊接而成，輻照監(jiān)督試樣放置于管體內(nèi)部，兩個(gè)半槽殼進(jìn)行真空電子束焊接，頂塞和底塞分別手工氬弧焊接環(huán)向焊縫于相對應(yīng)的半槽殼端部，充壓后的輻照監(jiān)督管手工氬弧焊接密封塞。

13、優(yōu)選的，充氦系統(tǒng)包括氦氣瓶、壓力計(jì)、第一截止閥、充氦罐體、第二截止閥、抽真空泵以及第一真空計(jì)，充氦罐體上分別連接有氦氣瓶、抽真空泵以及第一真空計(jì)，第一截止閥位于氦氣瓶和充氦罐體的連接管路上，且第一截止閥和氦氣瓶之間設(shè)有壓力計(jì)，充氦罐體和抽真空泵的連接管路上設(shè)有第二截止閥。

14、優(yōu)選的，輻照監(jiān)督管放置于充氦罐體內(nèi)，充氦罐體分別通過抽真空泵和氦氣瓶處于抽真空狀態(tài)和充氣狀態(tài)；

15、當(dāng)處于抽真空狀態(tài)時(shí)，關(guān)閉充氦罐體，打開第二截止閥，抽真空泵對充氦罐體進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，通過第一真空計(jì)進(jìn)行真空值監(jiān)測，并關(guān)閉第二截止閥；

16、當(dāng)處于充氣狀態(tài)時(shí)，第一截止閥打開，氦氣瓶對充氦罐體充氣至預(yù)定值，保持一定時(shí)間后泄壓至大氣壓，并通過壓力計(jì)進(jìn)行壓力監(jiān)測。

17、優(yōu)選的，當(dāng)輻照監(jiān)督管在充氦罐內(nèi)充氣完成后，取出輻照監(jiān)督管進(jìn)行擦拭、吹掃；

18、輻照監(jiān)督管表面通過酒精或丙酮擦拭，輻照監(jiān)督管表面通過高壓氮?dú)饣蚩諝獯祾?，吹掃時(shí)間大于等于5分鐘。

19、本發(fā)明還提供了一種輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置的檢漏方法，包括如下具體操作步驟：

20、s1、將清潔后的輻照監(jiān)督管放入充氦罐內(nèi)，封閉充氦罐抽真空，達(dá)到真空度要求后充入純氦氣體，并將純氦氣體升壓至規(guī)定值，保壓至規(guī)定時(shí)間后放空充氦罐；

21、s2、將充壓后的輻照監(jiān)督管從充氦罐中取出，對輻照監(jiān)督管表面進(jìn)行擦拭、吹掃；

22、s3、封閉測試罐，關(guān)閉參考漏孔，測試罐內(nèi)部抽真空至規(guī)定值，測得測試罐泄漏率本底值i0；

23、s4、封閉測試罐，打開參考漏孔，測試罐內(nèi)部抽真空至規(guī)定值，測得參考漏孔泄漏率本底值i1；

24、s5、將上述步驟s2中的輻照監(jiān)督管放入測試罐內(nèi)，封閉測試罐，打開參考漏孔，測試罐內(nèi)部抽真空至規(guī)定值，測得輻照監(jiān)督管的系統(tǒng)泄漏率i2；

25、s6、根據(jù)公式得出輻照監(jiān)督管管體實(shí)際漏率i實(shí)＝[(i2-i0)/(i1-i0)]*q0*1/c。

26、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果：

27、(1)本申請通過輻照監(jiān)督管、充氦系統(tǒng)以及測試系統(tǒng)組合而成的檢測裝置體積小，結(jié)構(gòu)簡單，制造工藝性好，輻照監(jiān)督管在充氦罐體內(nèi)壓入氦氣，取出并清除表面氦氣，放入抽真空的測試罐體內(nèi)檢測泄漏率，并計(jì)算得出輻照監(jiān)督管管體的實(shí)際泄漏率，操作便捷；

28、(2)本申請采用測試系統(tǒng)作為測量裝置，精度高，測量靈敏，能夠有效測量輻照監(jiān)督管管體的泄漏率；采用的背壓法氦檢漏方法，檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，并可以進(jìn)行批量化檢測。

技術(shù)特征：

1.一種輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，包括：輻照監(jiān)督管(1)、充氦系統(tǒng)(2)以及測試系統(tǒng)(3)，所述輻照監(jiān)督管(1)內(nèi)裝配有輻照監(jiān)督試樣，所述輻照監(jiān)督管(1)置于所述充氦系統(tǒng)(2)內(nèi)時(shí)處于充壓狀態(tài)，所述輻照監(jiān)督管(1)置于所述測試罐(3)內(nèi)時(shí)處于測量狀態(tài)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述測試系統(tǒng)(3)還包括第二真空計(jì)(3-1)、溫濕度計(jì)(3-2)、第三截止閥(3-3)以及第四截止閥(3-6)，所述測試罐體(3-5)還分別連接有所述第二真空計(jì)(3-1)和所述溫濕度計(jì)(3-2)，所述參考漏孔(3-4)與所述測試罐體(3-5)之間設(shè)有所述第三截止閥(3-3)，所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3-7)與所述測試罐體(3-5)之間設(shè)有所述第四截止閥(3-6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述測試罐體(3-5)閉合，所述第四截止閥(3-6)打開，所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3-7)對所述測試罐體(3-5)進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，并通過所述第二真空計(jì)(3-1)進(jìn)行真空值監(jiān)測，所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3-7)檢測到所述參考漏孔(3-4)關(guān)閉狀態(tài)時(shí)的所述測試系統(tǒng)(3)泄漏率本底值i0。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述測試罐體(3-5)閉合，所述第三截止閥(3-3)和所述第四截止閥(3-6)打開，所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3-7)對所述測試罐體(3-5)進(jìn)行抽真空至預(yù)定值，并通過所述第二真空計(jì)(3-1)進(jìn)行真空值監(jiān)測，所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3-7)檢測到所述參考漏孔(3-4)打開狀態(tài)時(shí)的泄漏率i1。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述輻照監(jiān)督管(1)實(shí)際泄漏率i實(shí)為：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述輻照監(jiān)督管(1)包括頂塞(1-1)、底塞(1-2)、管體以及密封塞(1-4)，所述管體兩端分別連接有所述頂塞(1-1)和所述底塞(1-2)，所述管體側(cè)壁上連接有所述密封塞(1-4)，且所述密封塞(1-4)位于靠近所述頂塞(1-1)的一端；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述充氦系統(tǒng)(2)包括氦氣瓶(2-1)、壓力計(jì)(2-2)、第一截止閥(2-3)、充氦罐體(2-4)、第二截止閥(2-5)、抽真空泵(2-6)以及第一真空計(jì)(2-8)，所述充氦罐體(2-4)上分別連接有所述氦氣瓶(2-1)、所述抽真空泵(2-6)以及所述第一真空計(jì)(2-8)，所述第一截止閥(2-3)位于所述氦氣瓶(2-1)和所述充氦罐體(2-4)的連接管路上，且所述第一截止閥(2-3)和所述氦氣瓶(2-1)之間設(shè)有所述壓力計(jì)(2-2)，所述充氦罐體(2-4)和所述抽真空泵(2-6)的連接管路上設(shè)有所述第二截止閥(2-5)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，所述輻照監(jiān)督管(1)放置于所述充氦罐體(2-4)內(nèi)，所述充氦罐體(2-4)分別通過所述抽真空泵(2-6)和所述氦氣瓶(2-1)處于抽真空狀態(tài)和充氣狀態(tài)；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置，其特征在于，當(dāng)所述輻照監(jiān)督管(1)在所述充氦罐(2)內(nèi)充氣完成后，取出所述輻照監(jiān)督管(1)進(jìn)行擦拭、吹掃；

10.一種根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置的檢漏方法，其特征在于，包括如下具體操作步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種涉及氦質(zhì)譜背壓泄漏檢測領(lǐng)域的輻照監(jiān)督管氦氣檢漏裝置及其檢漏方法，包括：輻照監(jiān)督管、充氦罐以及測試罐，輻照監(jiān)督管管體在充氦罐體內(nèi)壓入氦氣，取出并清除表面氦氣，放入抽真空的測試罐體內(nèi)檢測漏率，并計(jì)算得出輻照監(jiān)督管管體的實(shí)際漏率；測試罐包括參考漏孔、測試罐體以及氦質(zhì)譜檢漏儀，測試罐體上分別連接有參考漏孔和氦質(zhì)譜檢漏儀，氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)設(shè)有抽真空泵。本申請的檢測裝置體積小，結(jié)構(gòu)簡單，制造工藝性好，操作便捷；采用測試罐作為測量裝置，精度高，測量靈敏，能夠有效測量輻照監(jiān)督管管體的泄漏率；采用的背壓法氦檢漏方法檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，并可以進(jìn)行批量化檢測。

技術(shù)研發(fā)人員：辛正高,郭寶超,米大為,江先進(jìn),龔宏偉,蔣恩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海第一機(jī)床廠有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15