用于彈性體帶的安裝固定架及其使用方法
【專利摘要】一種彈性體帶的安裝方法，所述彈性安裝帶作為圍繞半導(dǎo)體襯底支撐件的一部分周圍的保護(hù)性邊緣密封件，所述襯底支撐件用于在等離子體處理室中支撐半導(dǎo)體襯底，所述安裝方法包括：使彈性體帶擴(kuò)展成具有大于所述襯底支撐件內(nèi)的安裝溝槽的直徑的直徑的圓形；將擴(kuò)展形狀的所述彈性體帶夾持在基環(huán)與夾環(huán)之間；將擴(kuò)展形狀的所述彈性體帶放置在所述襯底支撐件的上方；并且從所述基環(huán)與所述夾環(huán)之間釋放所述彈性體帶，從而使所述彈性體帶收縮到所述襯底支撐件的所述安裝溝槽中。
【專利說明】用于彈性體帶的安裝固定架及其使用方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于將彈性體帶安裝在襯底支撐件周圍的安裝固定架及使用該安裝 固定架的方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 集成半導(dǎo)體電路已經(jīng)成為大部分電子系統(tǒng)的主要元件。這些微型電子裝置可以包 括構(gòu)成微機(jī)的中央處理器及其他集成電路的存儲(chǔ)器和邏輯子系統(tǒng)的成千上萬個(gè)晶體管和 其他電路。這些電路的低成本、高可靠度和高速度已經(jīng)成為現(xiàn)代數(shù)字電子產(chǎn)品的普遍特征。
[0003] 通常在例如平行板反應(yīng)器或電感耦合等離子體反應(yīng)器之類的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng) 中制造集成半導(dǎo)體電路。反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)可以包括蝕刻室，該蝕刻室中具有上電極或陽 極和下電極或陰極。陰極相對(duì)于陽極和容器壁具有負(fù)偏。將要蝕刻的晶片被合適的掩模覆 蓋并且直接位于陰極上。例如CF 4、CHF3、CC1F3、HBr、Cl2和SF6或它們與0 2、N2、He或Ar和 混合物被引入蝕刻室中并且維持在通常在毫托范圍內(nèi)的壓力。上電極具有允許氣體穿過電 極均勻地分配到蝕刻室中的氣孔。陽極與陰極之間形成的電場會(huì)離解反應(yīng)氣體，從而形成 等離子體。晶片表面通過與活性離子的化學(xué)交互作用并且通過撞擊晶片表面的離子的動(dòng)量 轉(zhuǎn)移而被蝕刻。由電極所產(chǎn)生的電場將吸引離子到陰極，導(dǎo)致離子撞擊主要垂直方向上的 表面，使得制程產(chǎn)生界限清楚的垂直蝕刻側(cè)壁。
[0004] 用于反應(yīng)性離子蝕刻的等離子體為高度腐蝕性物質(zhì)，且暴露于等離子體的處理室 部件表面可能快速退化。此處理室部件的退化代價(jià)高昂，且可能導(dǎo)致處理室部件的污染，或 導(dǎo)致處理室中正在處理的襯底污染。這種退化需要更換受污染的處理室部件并且/或者清 理受污染的處理室部件。此處理室部件的更換和/或清理導(dǎo)致處理室的停機(jī)時(shí)間。
[0005] 包括靜電卡盤（ESC)的襯底支撐件是由于暴露于等離子體環(huán)境而退化的這種處 理室部件之一，其中該靜電卡盤（ESC)用于靜電式地將襯底夾持在該支撐件上。這些類型 的襯底支撐件典型地包括彼此粘附的多個(gè)部件。例如，支撐件可包括通過合適的粘合劑彼 此粘合的冷卻板、加熱元件和/或陶瓷板。為了使由于暴露于等離子體環(huán)境造成的退化減 小到最低，通常在這些部件周圍設(shè)置彈性體帶以保護(hù)粘合劑免于直接暴露于等離子體環(huán) 境，例如共有的美國專利No. 7, 431，788中所述。然而，彈性體帶則直接暴露于等離子體環(huán) 境且由于暴露而退化。彈性體帶也由于來自操作條件下的壓縮力而退化。
[0006] 彈性體帶安裝于襯底支撐件周圍的方式也可能在彈性體帶中產(chǎn)生局部應(yīng)力，這導(dǎo) 致彈性體帶更容易由于暴露于等離子體環(huán)境而退化。典型地，彈性體帶以五點(diǎn)星狀形式手 工安裝在襯底支撐件周圍。此安裝形式在彈性體中產(chǎn)生高度局部應(yīng)力區(qū)域，這些應(yīng)力區(qū)域 是彈性體中的較弱區(qū)域，且當(dāng)暴露于等離子體環(huán)境時(shí)使這些區(qū)域經(jīng)受更大的質(zhì)量損失，從 而通常導(dǎo)致彈性體的破裂。
[0007] 因此，需要將彈性體帶安裝在襯底支撐件周圍的改進(jìn)方法，使彈性體帶對(duì)于緣自 暴露于等離子體環(huán)境的退化表現(xiàn)出增加的抗性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本文公開了一種彈性體帶安裝固定架，其將彈性體帶安裝在襯底支撐件周圍而增 加對(duì)由于暴露于等離子體環(huán)境和壓縮力而退化的抗性。利用本文公開的安裝固定架安裝 在襯底支撐件周圍的彈性體帶因此具有更長的工作壽命，從而減少彈性體帶需要更換的頻 率。本文還公開了使用彈性體帶安裝固定架將彈性體帶安裝在襯底支撐件周圍的方法。
[0009] 根據(jù)示例性實(shí)施方式，提供一種彈性體帶的安裝方法，所述彈性安裝帶作為半導(dǎo) 體襯底支撐件的一部分周圍的保護(hù)性邊緣密封件，所述襯底支撐件用于在等離子體處理室 中支撐半導(dǎo)體襯底，所述安裝方法包括：使彈性體帶擴(kuò)展成具有大于所述襯底支撐件內(nèi)的 安裝溝槽的直徑的直徑的圓形；將擴(kuò)展形狀的所述彈性體帶夾持在基環(huán)與夾環(huán)之間；將擴(kuò) 展形狀的所述彈性體帶放置在所述襯底支撐件的上方；并且從所述基環(huán)與所述夾環(huán)之間釋 放所述彈性體帶，而使所述彈性體帶收縮到所述襯底支撐件的所述安裝溝槽中。
[0010] 根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施方式，一種環(huán)形安裝固定架，其適于將彈性體帶安裝在半 導(dǎo)體襯底支撐件周圍的安裝溝槽中，所述襯底支撐件用于在等離子體處理室中支撐半導(dǎo)體 襯底，所述環(huán)形安裝固定架包括安裝單元以及裝載構(gòu)件，所述安裝單元包括：頂環(huán)，所述頂 環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋；夾環(huán)；基環(huán)，所述基環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)外螺紋，所述一個(gè)或多個(gè) 外螺紋被配置成容納所述頂環(huán)的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋，且當(dāng)所述頂環(huán)鎖緊在所述基環(huán)上 時(shí)，所述彈性體帶被夾持在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間；以及閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)，所述閂鎖及釋 放機(jī)構(gòu)通過從所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間松開所述彈性體帶而將所述彈性體帶釋放到所述 安裝溝槽中；所述裝載構(gòu)件在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間將所述彈性體帶定位在所述安裝單 元內(nèi)。
[0011] 根據(jù)又一個(gè)示例性實(shí)施方式，一種彈性體帶安裝套件包括環(huán)形安裝固定架以及彎 曲嵌入工具，所述環(huán)形安裝固定架適于安裝彈性體帶到半導(dǎo)體襯底支撐件周圍的安裝溝槽 中，所述環(huán)形安裝固定架包括安裝單元以及裝載構(gòu)件，所述安裝單元包括：頂環(huán)，所述頂環(huán) 具有一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋；夾環(huán)；基環(huán)，所述基環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)外螺紋，所述一個(gè)或多個(gè)外 螺紋被配置成容納所述頂環(huán)的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋，且在所述頂環(huán)鎖緊在所述基環(huán)上 時(shí)，所述彈性體帶被夾持在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間；以及閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)，所述閂鎖及釋 放機(jī)構(gòu)通過從所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間松開所述彈性體帶而將所述彈性體帶釋放到所述 安裝溝槽中；所述裝載構(gòu)件在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間將所述彈性體帶定位在所述安裝單 元內(nèi)；所述彎曲嵌入工具適于壓迫所述彈性體帶到所述襯底支撐件中的所述安裝溝槽內(nèi)， 所述工具包括曲面，所述曲面以凹形方式彎曲并且具有推動(dòng)所述彈性體帶到所述安裝溝槽 中的徑向延伸部分。
[0012] 應(yīng)當(dāng)理解，前述總體說明及以下詳細(xì)說明都是示例性的和解釋性的，并且旨在提 供如所主張的本發(fā)明的進(jìn)一步解釋。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013] 現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的當(dāng)前優(yōu)選的實(shí)施方式，附圖圖示了本發(fā)明的實(shí)例。若有 可能，附圖和說明書中使用相同的附圖標(biāo)記來指代相同或相似的零件。
[0014] 圖1是適于等離子體蝕刻半導(dǎo)體襯底的處理室的剖視圖。
[0015] 圖2是襯底支架的一部分的剖視圖，該襯底支架具有與位于安裝槽中暴露的粘結(jié) 層粘結(jié)在一起的多個(gè)層，該安裝槽適于接收包括彈性體帶的邊緣密封件。
[0016] 圖3是根據(jù)示例性實(shí)施方式的安裝固定架的透視圖，該安裝固定架包括裝載構(gòu)件 和安裝單元，該安裝單元包括頂環(huán)、夾環(huán)和基環(huán)。
[0017] 圖4是根據(jù)實(shí)施方式的圖3的安裝固定架的分解形式的另一個(gè)透視圖。
[0018] 圖5A-5C是具有一系列安裝狀態(tài)的彈性體帶的襯底支撐件的一系列剖視圖。
[0019] 圖6A-6C是根據(jù)示例性實(shí)施方式的裝載彈性體帶到安裝固定架中的一系列透視 圖。
[0020] 圖7A-7C是放置夾環(huán)到彈性體帶的上表面上的一系列透視圖。
[0021] 圖8A和8B是裝載彈性體帶到安裝固定架中的俯視圖。
[0022] 圖9是根據(jù)示例性實(shí)施方式的頂環(huán)完全旋入基環(huán)中的剖視圖。
[0023] 圖10是與雙閂鎖機(jī)構(gòu)嚙合的頂環(huán)的俯視圖，該雙閂鎖機(jī)構(gòu)將頂環(huán)和彈性體帶固 定就位。
[0024] 圖11是裝載在安裝單元內(nèi)的彈性體帶的剖視圖以及從安裝單元移除裝載構(gòu)件的 步驟。
[0025] 圖12是根據(jù)示例性實(shí)施方式的降低到襯底支撐件上的安裝單元的剖視圖。
[0026] 圖13是根據(jù)示例性實(shí)施方式的與安裝溝槽相鄰的安裝單元和彈性體帶的剖視 圖。
[0027] 圖14是在安裝溝槽內(nèi)具有彈性體帶的襯底支撐件和嵌入工具的透視圖。
[0028] 圖15A和15B是襯底支撐件和使用中的嵌入工具的剖視圖。
[0029] 圖16是根據(jù)示例性實(shí)施方式的具有錐形剖面的彈性體帶的剖視圖。
[0030] 圖17是根據(jù)示例性實(shí)施方式的安裝圖16的彈性體帶到襯底支撐件的安裝溝槽中 的剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0031] 用于反應(yīng)性離子蝕刻處理室的襯底支撐件典型地包括下電極組件，該下電極組件 包括在等離子體處理室中處理期間上面夾持有襯底或晶片的靜電夾持層。該下電極組件還 可以包括結(jié)合在溫度受控襯底上的多個(gè)層。例如，該組件可包括上陶瓷層，該上陶瓷層并入 黏附地粘合在加熱器板的上側(cè)的一個(gè)或多個(gè)靜電電極、黏附地粘合在加熱器板底部的一個(gè) 或多個(gè)加熱器、以及黏附地粘合在加熱器和加熱器板的溫度受控襯底（以下稱為冷卻板）。 為了保護(hù)暴露于等離子體的粘合劑粘合層，包括彈性體帶的邊緣密封件可設(shè)置在襯底支撐 件的粘合層周圍。
[0032] 圖1示出了用于蝕刻襯底的示例性等離子體反應(yīng)器100的剖視圖。如圖1所示， 等離子體反應(yīng)器100包括等離子體處理室110、設(shè)置在處理室110上方以產(chǎn)生等離子體的天 線，由平面線圈或RF線圈122來實(shí)現(xiàn)。平面或RF線圈122典型地由RF發(fā)生器124經(jīng)由匹 配網(wǎng)絡(luò)（未示出）提供能量。這種處理室100被稱為電感耦合等離子體（ICP)處理室。為 了供應(yīng)工藝氣體到處理室110的內(nèi)部，因此設(shè)有氣體分配板或噴頭120,該氣體分配板或噴 頭120優(yōu)選地包括多個(gè)孔，用于釋放氣源材料（如蝕刻劑來源氣體）至噴頭120與半導(dǎo)體襯 底或晶片140之間的RF感應(yīng)等離子體區(qū)域，該半導(dǎo)體襯底或晶片140支撐在包括下電極組 件130的襯底支撐件150上。盡管圖1示出了電感耦合等離子體反應(yīng)器，但該等離子體反 應(yīng)器100可在省略天線的情況中結(jié)合其他等離子體產(chǎn)生來源，如電容耦合等離子體（CCP)、 微波、磁控管、螺旋波、或其他合適的等離子體產(chǎn)生設(shè)備。
[0033] 氣源材料可通過其他配置引入處理室110中，該配置例如延伸經(jīng)過上壁的一個(gè)或 多個(gè)氣體注入器和/或內(nèi)嵌在處理室110的壁112中的氣體噴射口。當(dāng)蝕刻通過鋁或其合 金之一時(shí)，蝕刻劑來源化學(xué)品包括例如：如(：1 2和此13等鹵素。還可以使用針對(duì)蝕刻特征的 側(cè)壁鈍化的其他蝕刻劑化學(xué)品（如CH4、HBr、HCl、CHCl 3)以及如碳?xì)浠衔铩⒎蓟衔锖?氫氟碳化合物之類的聚合物形成物質(zhì)。這些氣體可與任選的惰性和/或非反應(yīng)性氣體一起 使用。
[0034] 在使用中，將晶片140引入由處理室壁112所定義的處理室110中且配置在下電 極組件130上。晶片140優(yōu)選地通過射頻發(fā)生器126 (還典型地經(jīng)由匹配網(wǎng)絡(luò)）施加偏置。 晶片140可包括在其上制造的多個(gè)集成電路（1C)。例如，這些1C可包括如PLA、FPGA及 ASIC之類的邏輯設(shè)備或例如隨機(jī)存取內(nèi)存（RAM)、動(dòng)態(tài)RAM (DRAM)、同步DRAM (SDRAMs)、或 只讀存儲(chǔ)器（ROM)之類的存儲(chǔ)裝置。當(dāng)施加 RF功率時(shí)，（由來源氣體形成的）反應(yīng)性物質(zhì) 蝕刻晶片140的暴露表面?？梢允菗]發(fā)性的副產(chǎn)物接著經(jīng)由排出口排出。在處理完成之后， 可使晶片140經(jīng)過進(jìn)一步的處理，且最后被切塊從而使1C分成單個(gè)芯片。
[0035] 反應(yīng)器100還可以用于金屬、電介質(zhì)及其他蝕刻處理。在等離子體蝕刻處理中，氣 體分配板可以是位于ICP反應(yīng)器中的介電窗正下方的圓板、或形成被稱為平行板反應(yīng)器的 CCP反應(yīng)器中的上電極組件的一部分，其中該氣體分配板是定向成平行于半導(dǎo)體襯底或晶 片140的噴頭電極。氣體分配板/噴頭電極120包括具備特定直徑和空間分布的孔陣列以 優(yōu)化待蝕刻層（如晶片上的光致抗蝕劑層、二氧化硅層及下方層材料）的蝕刻均勻性。
[0036] 可使用的例示性平行板等離子體反應(yīng)器為雙頻率等離子體蝕刻反應(yīng)器（見例如 共有的美國專利No. 6, 090, 304,該專利其全部內(nèi)容通過引用的方式并入本文中）。在此反 應(yīng)器中，蝕刻氣體可從氣體供給器供應(yīng)到噴頭電極，并且可以通過供給來自兩RF源的不同 頻率下的RF能量到噴頭電極和/或底部電極而在反應(yīng)器中產(chǎn)生等離子體?？商娲?，噴頭 電極可電性接地且可將兩個(gè)不同頻率的RF能量供給到底部電極。
[0037] 圖2示出了襯底支撐件150的一部分的剖視圖，該襯底支撐件150具有與暴露的 粘合層結(jié)合在一起的多個(gè)層，暴露的粘合層位于用于容納包括彈性體帶300的邊緣密封件 的安裝溝槽190中。襯底支撐件150包括由金屬或陶瓷組成的加熱器板152。粘合劑粘合 層170設(shè)置在加熱器板152下方并使加熱器板152粘合至冷卻板154。另一個(gè)粘合劑粘合 層172設(shè)置在加熱器板152上方并使加熱器板152粘合至結(jié)合一個(gè)或多個(gè)靜電鉗位電極的 陶瓷板180。陶瓷板180和冷卻板154可具有延伸超過加熱器板152和粘合層170、172的 最外部分的部分以形成安裝溝槽190。加熱器板152和粘合層170、172的最外部分實(shí)質(zhì)上 相對(duì)彼此對(duì)準(zhǔn)。優(yōu)選地，陶瓷板180具有大于加熱器板152和粘合層170、172的直徑。
[0038] 在一個(gè)實(shí)施方式中，冷卻板154可以被配置成通過在其中包括流體通道（未示出） 來提供溫度控制，溫度受控液體可以通過流體通道循環(huán)。冷卻板154典型地是在等離子體 室中充當(dāng)下RF電極的金屬襯底。冷卻板154優(yōu)選地包括陽極鋁或鋁合金。可使用包括金 屬、陶瓷、導(dǎo)電及介電材料的任何合適的材料。在一個(gè)實(shí)施方式中，冷卻板154由陽極處理 鋁塊形成?？商娲?，冷卻板154可以是其內(nèi)和/或其上表面上具有一個(gè)或多個(gè)電極的陶 瓷材料。此外，冷卻板154優(yōu)選地具有從其中心到外緣或其直徑的均勻厚度，且優(yōu)選地是薄 圓板。冷卻板154可包括一系列通孔，用于容納將襯底支撐件150固定在處理室中的機(jī)械 固定件。
[0039] 加熱器板152可以是金屬或陶瓷板的形式，具有至少一個(gè)薄膜加熱器耦合至金屬 或陶瓷板的底部。至少一個(gè)薄膜加熱器可以是包括第一絕緣層（如介電層）、電阻加熱層 (如一個(gè)或多個(gè)電阻材料條）和第二絕緣層（如介電層）的箔疊層（未示出）。絕緣層優(yōu)選 地由具有在寬溫度范圍內(nèi)維持其物理、電氣及機(jī)械特性（包括在等離子體環(huán)境中對(duì)腐蝕氣 體的抗性）的能力的材料組成，例如Kapton或其他合適的聚酰亞胺膜。電阻加熱層優(yōu)選地 由如Inconel或其他合適的合金的高強(qiáng)度合金或抗腐蝕且電阻加熱的材料組成。典型地， 薄膜加熱器是具有約〇. 005英寸至約0. 009英寸的總厚度且更優(yōu)選地是約0. 007英寸厚的 Kapton、Inconel及Kapton的層壓板形式。
[0040] 陶瓷層180優(yōu)選地為具有由如W、Mo等金屬材料組成的嵌入式電極的陶瓷材料的 靜電夾持層。此外，陶瓷層180優(yōu)選地具有從其中心到外緣或其直徑的均勻厚度，且優(yōu)選地 是適用于支撐200mm、300mm或450mm直徑晶片的薄圓板。共有的美國專利No. 8, 038, 796 中公開了具有上靜電夾持層、加熱層及粘合層170、172的下電極組件的細(xì)節(jié)，其中上靜電 夾持層具有約0. 04英寸的厚度、上粘合層具有約0. 004英寸的厚度、加熱器板152包括具 有約0. 04英寸厚度的金屬或陶瓷板以及具有約0. 01英寸厚度的加熱器膜，且下粘合層170 具有約0. 013英寸至0. 04英寸的厚度。然而，可選擇不同的夾持層、粘合層170、172及加 熱器層152的厚度以獲得所需的處理結(jié)果。
[0041] 粘合劑粘合層170、172優(yōu)選地由例如彈性體硅酮或硅膠材料之類的低模量材料 形成。然而，可使用任何合適的粘合材料。粘合層170U72的厚度根據(jù)所需的熱傳系數(shù)而 改變。因此，粘合層170、172的厚度可以均勻或不均勻以基于粘合劑粘合層170、172的制 造公差提供所需的熱傳系數(shù)。典型地，粘合劑粘合層170、172的厚度通過加上或減去具體 變量而在粘合劑粘合層170、172的施加區(qū)域上變化。優(yōu)選地，假如粘合層厚度改變不大于 1. 5%，就可以使襯底支撐件150的構(gòu)件之間的熱傳系數(shù)實(shí)質(zhì)上均勻。例如，對(duì)于包括用于 半導(dǎo)體工業(yè)中的電極組件的襯底支撐件150而言，粘合劑粘合層170、172優(yōu)選地具有可承 受寬溫度范圍的化學(xué)結(jié)構(gòu)。因此，低模量材料可包括任何合適的材料或材料的組合，如與真 空環(huán)境兼容并在高溫（如高達(dá)到500°C)下抵抗熱降解的聚合物材料。在一個(gè)實(shí)施方式中， 粘合劑粘合層170、172可以包括硅酮并在約0. 001英寸至約0. 050英寸的厚度之間，且更 優(yōu)選地在約0. 003英寸至約0. 030英寸的厚度之間。
[0042] 如圖2所示，冷卻板154及陶瓷板180的一部分可延伸超過加熱器板152、粘合劑 粘合層170、172的最外部分，從而在襯底支撐件150中形成安裝溝槽190。粘合劑粘合層 170、172的材料典型地對(duì)半導(dǎo)體等離子體處理反應(yīng)器的反應(yīng)性蝕刻化學(xué)不具抗性，且因此 必須加以保護(hù)以完成有效的操作生命周期。為了保護(hù)粘合劑粘合層170、172,將彈性體帶 300形式的邊緣密封件設(shè)置在安裝溝槽190中，以形成預(yù)防半導(dǎo)體等離子體處理反應(yīng)器的 腐蝕性氣體穿透的緊密密封。例如，參照共有的美國專利No. 7, 884, 925及美國專利公開 No.2010/0078899。
[0043] 圖3是根據(jù)示例性實(shí)施方式的安裝固定架200的透視圖。如圖3所示，安裝固定 架200包括彈性體帶裝載器210及安裝單元220。安裝單元220包括頂環(huán)230、基環(huán)240以 及定位在上環(huán)230與基環(huán)240之間的夾環(huán)250。安裝單元220還包括在需要時(shí)釋放彈性體 帶300到安裝溝槽190中的閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)260。根據(jù)實(shí)施方式，閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)260包括 附接在頂環(huán)230的外緣上的第一柄或桿262、附接在基環(huán)240的外緣上的第二柄或桿264、 附接在頂環(huán)230上的拉伸彈簧266、以及雙閂鎖機(jī)構(gòu)270。雙閂鎖機(jī)構(gòu)270包括具有桿或叉 274的加彈載簧的閂鎖272,該桿或叉274嚙合在頂環(huán)230的外部上的一系列的脊或齒狀物 276。
[0044] 圖4是安裝固定架200的分解形式的另一個(gè)透視圖。如圖4所示，彈性體帶裝載 器210包括用于將彈性體帶定位在安裝單元220內(nèi)的環(huán)形構(gòu)件212。環(huán)形構(gòu)件212被配置 成圍繞著其外緣或周邊211容納彈性體帶300。根據(jù)實(shí)施方式，一個(gè)或多個(gè)交叉構(gòu)件214延 伸橫穿環(huán)形構(gòu)件212。一個(gè)或多個(gè)交叉構(gòu)件214中優(yōu)選地包括至少一個(gè)開口或間隙216?？?替代地，彈性體帶裝載器210可以包括用于在彈性體帶裝載器210上向上升起的柄或其他 裝置。一個(gè)或多個(gè)交叉構(gòu)件214和/或柄（未示出）提供在彈性體帶300己裝載在安裝單 元220內(nèi)之后從安裝單元220內(nèi)移除彈性體帶裝載器210的裝置。
[0045] 頂環(huán)230包括階梯狀環(huán)232,該階梯狀環(huán)232具有平坦的上部236以及從上部236 的外圍向下延伸的管部234。上部236從管部234的上緣233延伸并向內(nèi)延伸。管部234 包括一個(gè)或多個(gè)內(nèi)或內(nèi)螺紋238，一個(gè)或多個(gè)內(nèi)或內(nèi)螺紋238被配置成容納在基環(huán)240上的 一個(gè)或多個(gè)外或外部螺紋248。頂環(huán)230還包括在管部234上的外表面239上的一系列脊 或齒276, 一系列脊或齒276被配置成與基環(huán)240上的雙閂鎖機(jī)構(gòu)270嚙合。頂環(huán)230還包 括柄262及拉伸彈簧266。柄262被配置成嚙合基環(huán)240上的閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)260。拉伸 彈簧266與基環(huán)240的對(duì)應(yīng)構(gòu)件267配對(duì)，且當(dāng)頂環(huán)230并未如以下所述與基環(huán)240鎖定 在位時(shí)，拉伸彈簧266導(dǎo)致頂環(huán)230旋轉(zhuǎn)（即從基環(huán)240旋出）。
[0046] 基環(huán)240優(yōu)選地是在外表面241上具有一個(gè)或多個(gè)外螺紋248的環(huán)形構(gòu)件242, 一 個(gè)或多個(gè)外螺紋248被配置成嚙合頂環(huán)230的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋238。基環(huán)240還包括環(huán) 形凸緣244,環(huán)形凸緣244在環(huán)形構(gòu)件242的內(nèi)緣245上定位在環(huán)形構(gòu)件242的上表面243 上。一個(gè)或多個(gè)壓縮彈簧280從環(huán)形構(gòu)件242的上表面241向上延伸。一個(gè)或多個(gè)壓縮彈 簧280在數(shù)目上優(yōu)選地是三（3)至七（7)，且在數(shù)目上更優(yōu)選地為五（5)，且其中一個(gè)或多 個(gè)壓縮彈簧280等距地定位在環(huán)形構(gòu)件242的周圍。
[0047] 夾環(huán)250是在夾環(huán)250的下表面254與基環(huán)240的環(huán)形凸緣244的上表面247之 間夾持彈性體帶300的環(huán)形構(gòu)件252。夾環(huán)250優(yōu)選地由具有上部253及下部255的環(huán)形 構(gòu)件252組成，其中上部和下部253、255的內(nèi)圓周或直徑彼此一致。根據(jù)實(shí)施方式，下部 255具有小于上部253的外徑的外徑，且形成由上部253的下表面至下部255的外表面形 成的階梯256 (見圖7D)的外徑。根據(jù)實(shí)施方式，上部和下部253、255各自具有相對(duì)平的或 平坦的上或下表面257、259。根據(jù)實(shí)施方式，夾環(huán)250由例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET) 之類的低摩擦、非粘性的塑性材料或例如TEFL0N(由杜邦制造的PTFE-聚四氟乙烯）之類 的碳氟化合物制成。
[0048] 相對(duì)于設(shè)計(jì)成用于處理具有300mm直徑的襯底或晶片的襯底支撐件，基環(huán)240優(yōu) 選地具有相對(duì)于最內(nèi)表面292在約11. 0英寸至12. 0英寸之間的內(nèi)直徑290。相對(duì)于處理 具有小于300mm(如200mm)或大于300mm(如450mm)直徑的襯底或晶片，相應(yīng)地按比例縮 放安裝固定架200的直徑。
[0049] 安裝固定架200優(yōu)選地由例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET)之類的低摩擦塑性材 料或如TE.FLON:< (由杜邦制造的PTFE-聚四氟乙烯）之類的碳氟化合物制成。根據(jù)實(shí) 施方式，夾環(huán)250由聚四氟乙烯（PTFE)、TEFLON制成，且基環(huán)240由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇 酯（PET)或其他碳氟化合物制成。根據(jù)實(shí)施方式，夾環(huán)250由相比于基環(huán)240具有較低粘 附因子（即較不黏）的材料制成，使得在將彈性體帶300安裝在安裝溝槽190中期間，彈性 環(huán)300并不粘附或粘合在夾環(huán)250上?？商娲兀惭b固定架200可由例如石英、陶瓷、金 屬或硅之類的其他材料制成。制造安裝固定架200的方法不受特別限制。例如，安裝固定 架200可由起始材料的塊體或環(huán)形件加工制成?？商娲?，安裝固定架200可以通過注射 成型形成。
[0050] 圖5A-?是具有處于一系列安裝狀態(tài)的彈性體帶300的襯底支撐件150的一系列 剖視圖。如圖5A所示，襯底支撐件150由與暴露的粘合層結(jié)合在一起的多個(gè)層組成，這些粘 合層位于適于容納呈彈性體帶300形式的邊緣密封件310的安裝溝槽190中。襯底支撐件 150包括由金屬或陶瓷組成的加熱器板152、設(shè)在加熱器板152下方的粘合劑粘合層170， 該粘合劑粘合層170使加熱器板152粘合到冷卻板154上。粘合劑粘合層172設(shè)在加熱器 板上方并使加熱器板152粘合到并入了一個(gè)或多個(gè)靜電鉗位電極的陶瓷板180中。陶瓷板 180和冷卻板154可具有延伸超過加熱器板152和粘合層170、172的最外部的部分以形成 安裝溝槽190。加熱器板152和粘合層170、172的最外部實(shí)質(zhì)上相對(duì)于彼此對(duì)準(zhǔn)。優(yōu)選地， 陶瓷板180具有大于加熱器板152和粘合層170、172的直徑。
[0051] 在圖5B中，彈性體帶300已安裝在安裝溝槽190中且完全地納入溝槽190內(nèi)。如 圖5B所示，當(dāng)正確地安裝彈性體帶300時(shí)，彈性體帶300完全占據(jù)溝槽190。
[0052] 圖5C和?顯示在溝槽190內(nèi)呈不同安裝狀態(tài)的彈性體帶300。在圖5C中，彈性 體帶300安裝在襯底支撐件150的溝槽190內(nèi)，然而，彈性體帶300并未完全納入。在圖? 中，彈性體帶300并未安裝在溝槽190內(nèi)，且間隙192存在于加熱器板152以及粘合層170、 172的外緣之間。
[0053] 根據(jù)示例性實(shí)施方式，彈性體帶300可由任何適合的半導(dǎo)體處理兼容材料構(gòu)成。 例如，彈性體帶300優(yōu)選地由能被固化以形成氟橡膠的可固化含氟彈性體的含氟聚合物 (FKM)、可固化的全氟彈性體的全氟聚合物（FFKM)、和/或具有高耐化學(xué)性、耐低溫和耐高 溫、在等離子體反應(yīng)器中耐等離子體腐蝕、低摩擦、及電氣和熱絕緣性能的材料所構(gòu)成。彈 性體帶300的形狀也不受特別限制，且彈性體帶的剖面可以是圓形、方形或矩形。彈性體帶 300還可以具有不規(guī)則形的剖面，例如于2011年10月20日提交的共有的美國專利申請序 列號(hào)13/277,873中所公開的具有凹形外表面的矩形剖面。
[0054] 圖6A-6C為根據(jù)示例性實(shí)施方式裝載彈性體帶300到安裝固定架200上的一系列 透視圖。如圖6A所示，彈性體帶裝載器210位于基環(huán)240的環(huán)形構(gòu)件242的環(huán)形凸緣244 內(nèi)。彈性體帶裝載器210的外緣211按尺寸制作成適配在基環(huán)240內(nèi)。根據(jù)實(shí)施方式，彈 性體帶300通過手動(dòng)定位在彈性體帶裝載器210的外緣211的周圍。
[0055] 如圖6B和6C所示，一旦彈性體帶裝載器己定位在基環(huán)240內(nèi)，彈性體帶300便設(shè) 置在彈性體帶裝載器210的外表面周圍并在基環(huán)240的環(huán)形凸緣244的上表面247上。彈 性體帶300優(yōu)選地通過使彈性體帶300伸長為配合彈性體帶裝載器210的外緣211而設(shè)置 在該外緣的周圍。一旦彈性體帶300已設(shè)置在彈性體帶裝載器210的最外緣211周圍并設(shè) 置在基環(huán)240的環(huán)形凸緣244的上表面247上，如有需要，便利用0型環(huán)勾針500或其他適 合的工具解開彈性體帶300以便在不扭歪的情況下使彈性體帶300正確地納入基環(huán)240的 環(huán)形凸緣244的上表面247上。
[0056] 圖7A-7D為設(shè)置夾環(huán)250在彈性體帶300的上表面上的一系列透視圖。如圖7A 和7B所示，一旦彈性體帶300正確地納入基環(huán)240的環(huán)形凸緣244的上表面247上，夾環(huán) 250便下降到基環(huán)240上。當(dāng)夾環(huán)250降低到彈性體帶300的上表面302上時(shí)，在一個(gè)或 多個(gè)壓縮環(huán)280的每一個(gè)上的彈簧282向下壓縮。在釋放夾環(huán)250時(shí)，一個(gè)或多個(gè)壓縮環(huán) 280的彈簧282向上升高或推動(dòng)夾環(huán)250。
[0057] 如圖7C所示，頂環(huán)230接著降低到基環(huán)240上。當(dāng)頂環(huán)230降低到基環(huán)240上時(shí)， 頂環(huán)230的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋238嚙合基環(huán)240的一個(gè)或多個(gè)外螺紋248,從而將夾環(huán)250 夾持或固定在彈性體帶300的上表面302上。彈性體帶300接著被壓縮在夾環(huán)250的下表 面252與基環(huán)240的環(huán)形凸緣244的上表面247之間。
[0058] 圖8A和8B為裝載彈性體帶300到安裝固定架200中的俯視圖。如圖8A和8B所 示，一旦將頂環(huán)230設(shè)置在夾環(huán)250及基環(huán)240上，便利用柄262、264以順時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)頂 環(huán)230到基環(huán)240上，從而壓縮夾環(huán)250與基環(huán)240的環(huán)形凸緣244之間的彈性體帶300。 當(dāng)頂環(huán)230旋轉(zhuǎn)到基環(huán)240上時(shí)，頂環(huán)230和基環(huán)240的柄262、264分別地彼此相對(duì)移動(dòng) 并施加壓力于彈性體帶300。
[0059] 圖9為根據(jù)示例性實(shí)施方式的頂環(huán)230完全旋入基環(huán)240中的剖視圖。如圖9所 示，一旦頂環(huán)230以順時(shí)鐘方向完全旋至基環(huán)240上，彈性體帶300便在拉伸位置中被夾持 (或固定）在夾環(huán)250與基環(huán)240之間。在拉伸位置中，彈性體帶300優(yōu)選地以圓形被均勻 地拉伸。本文所述順時(shí)針和逆時(shí)針的使用優(yōu)選地是對(duì)應(yīng)的環(huán)230、240的旋轉(zhuǎn)方向。然而， 環(huán)230、240可分別以逆時(shí)針（如夾持）和順時(shí)針（去夾持）方向旋轉(zhuǎn)來取代如本文所述的 順時(shí)針（用于夾持在夾環(huán)及基環(huán)240、250之間的彈性體帶）和逆時(shí)針（用于解除夾持）。
[0060] 圖10是與雙閂鎖機(jī)構(gòu)270嚙合的頂環(huán)230的俯視圖，雙閂鎖機(jī)構(gòu)270將頂環(huán)230 固定在位，并因此在夾環(huán)250與基環(huán)240之間將彈性體帶300固定或保持在位。如圖10所 示，柄262、264相互朝著對(duì)方移動(dòng)，且雙閂鎖機(jī)構(gòu)270的桿272與頂環(huán)230之外表面234上 的脊或齒276嚙合，而將頂環(huán)230鎖定或固定定位。桿272優(yōu)選地具有一對(duì)偏移閂鎖273， 其提供雙閂鎖機(jī)構(gòu)270以下功能：調(diào)整基環(huán)240上的頂環(huán)230的緊張狀態(tài)不到相對(duì)應(yīng)的脊 或齒276的完整凹口。雙閂鎖機(jī)構(gòu)270優(yōu)選地為彈簧加載的機(jī)構(gòu)或具有一個(gè)或多個(gè)彈簧的 系統(tǒng)274。一旦頂環(huán)230在基環(huán)240上鎖定就位，彈性體帶300便在夾環(huán)250與基環(huán)240之 間穩(wěn)固地鎖定（即夾持）就位。
[0061] 圖11為裝載在安裝固定架200內(nèi)的彈性體帶300、并從安裝單元220內(nèi)移除彈性 體帶裝載器210的剖視圖。如圖11所示，一旦頂環(huán)230被鎖定就位、且彈性體帶被固定就 位，便從頂環(huán)230、基環(huán)240和夾環(huán)250內(nèi)移除彈性體帶裝載器210。移除彈性體帶裝載器 210,導(dǎo)致彈性體帶300被夾持在安裝單元220內(nèi)。優(yōu)選地通過抓住彈性體帶裝載器210的 一個(gè)或多個(gè)交叉構(gòu)件214而手動(dòng)移除彈性體帶裝載器210。
[0062] 圖12為根據(jù)示例性實(shí)施方式的降低到襯底支撐件150上的安裝單元220的剖視 圖。如圖12所示，裝載有彈性體帶300的安裝單元220降低到襯底支撐件150上且位于襯 底支撐件150的外圓周圍。根據(jù)示例性實(shí)施方式，安裝單元220按尺寸制作以彈性體帶精 確地定位成與安裝溝槽190相鄰的方式適配在襯底支撐件150上及周圍。
[0063] 如圖13所示，一旦安裝單元220已在襯底支撐件150周圍降低，彈性體帶300便 被精確地定位成與安裝溝槽190相鄰。一旦彈性體帶300被定位成與安裝溝槽190相鄰， 安裝器便推動(dòng)雙閂鎖機(jī)構(gòu)270的彈簧加載的機(jī)構(gòu)274的釋放部，使雙閂鎖機(jī)構(gòu)270的桿272 從頂環(huán)的齒276脫離，從而釋放頂環(huán)230并將頂環(huán)230向上推動(dòng)。當(dāng)頂環(huán)230被釋放時(shí)，頂 環(huán)230沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而從一個(gè)或多個(gè)外螺紋248旋開一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋238。一 個(gè)或多個(gè)壓縮環(huán)280的彈簧282向上展開，從而向上舉起夾環(huán)250,進(jìn)而使彈性體帶300從 夾環(huán)250及基環(huán)240之間松脫或釋放。此外，頂環(huán)230上的拉伸彈簧266向外展開，從而使 頂環(huán)230向上（即逆時(shí)針）旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而幫助彈性體帶300從基環(huán)240與夾環(huán)250之間釋放 (或松脫）。一旦彈性體帶300被松脫或釋放，彈性體帶300便向內(nèi)收縮到安裝溝槽190中。 優(yōu)選地，彈性體帶300以均勻的方式收縮到安裝溝槽190中，使得彈性體帶300完全納入安 裝溝槽190內(nèi)。
[0064] 一旦彈性體帶300已被釋放到溝槽中，便從襯底支撐件150移除安裝單元220,從 而提供安裝器到彈性體帶300的通道。假如彈性體帶300并未完全納入安裝溝槽190內(nèi)， 則在彈性體帶300未納入安裝溝槽190處便可使用0型環(huán)勾針500將彈性體帶300移動(dòng)至 安裝溝槽190中。
[0065] 圖14是在安裝溝槽190內(nèi)具有彈性體帶300的襯底支撐件150以及嵌入工具400 的透視圖。如圖14所示，假如彈性體帶300未完全地納入安裝溝槽190內(nèi)，則安裝器可使 用嵌入工具（或推入工具）400以使彈性體帶300納入溝槽190內(nèi)。當(dāng)彈性體帶300己釋 放至安裝溝槽190中時(shí)，可能需要安裝器將彈性體帶300進(jìn)一步壓進(jìn)安裝溝槽190中。如 圖14所示，工具400優(yōu)選地包括以凹形的方式彎曲、并具有推動(dòng)彈性體帶300到安裝溝槽 190中的徑向延伸部分420的曲面410。
[0066] 圖15A和15B為襯底支撐件150以及使用中的推入工具或嵌入工具400的剖面 園。如圖15A和15B所示，嵌入工具定位在冷卻板152的上表面上，且當(dāng)嵌入工具400置于 上表面（或肩部）上時(shí)，嵌入工具400向前滑動(dòng)，使彈性體帶300與工具400的徑向延伸部 分420嚙合，從而進(jìn)一步推動(dòng)彈性體帶300到安裝溝槽190中，進(jìn)而消除在加熱器板142和 粘合層170、172的外緣與彈性體帶300的內(nèi)表面之間的任何間隙。在襯底支撐件150的整 個(gè)直徑周圍重復(fù)推動(dòng)并完全納入彈性體帶300到溝槽190內(nèi)的過程。
[0067] 上述方法在襯底支撐件設(shè)置在處理室內(nèi)部或外部時(shí)將彈性體帶300安裝在襯底 支撐件150周圍。由于容易安裝，因此優(yōu)選地在襯底支撐件150設(shè)置在處理室外時(shí)將彈性 體帶300安裝在襯底支撐件150周圍。例如，當(dāng)在處理室外部時(shí)，襯底支撐件150可機(jī)械地 固定在例如工作臺(tái)之類的工作件上以安裝彈性體帶300。當(dāng)在處理室內(nèi)部時(shí)，襯底支撐件 150還可以機(jī)械地固定在例如處理室壁之類的工作件上以安裝彈性體帶300。
[0068] 圖16為根據(jù)示例性實(shí)施方式的具有錐形剖面的彈性體帶300的剖視圖。根據(jù)實(shí)施 方式，彈性體帶300具有向內(nèi)逐漸變細(xì)的多邊形剖面。如圖16所示，彈性體帶300具有包 括內(nèi)表面320、外表面330、上表面340和下表面350的多邊形剖面。上表面和下表面340、 350從外表面330朝內(nèi)表面320向內(nèi)逐漸變細(xì)。因此，內(nèi)表面320的高度322小于外表面 330的高度332。根據(jù)實(shí)施方式，彈性體帶300的內(nèi)表面320的高度322小于安裝溝槽190 的高度194,且彈性體帶的外表面330的高度332大于安裝溝槽190的高度194。此外，從 內(nèi)表面和外表面320、330至上表面和下表面340、350的過渡優(yōu)選地成圓形或具有曲率。
[0069] 圖17為根據(jù)示例性實(shí)施方式的安裝圖16的彈性體帶300到襯底支撐件150的安 裝溝槽中的剖視圖。如圖17所示，呈彈性體帶300形式的具有多邊形剖面的邊緣密封件310 向內(nèi)逐漸變細(xì)。具有錐形剖面的彈性體帶300安裝成內(nèi)表面320向內(nèi)，其中內(nèi)表面320在 高度上比安裝溝槽190的高度194矮。當(dāng)彈性體帶300安裝到安裝溝槽190中時(shí)，彈性體 帶300的外表面330從安裝溝槽190突出，且優(yōu)選地利用嵌入工具400或者推動(dòng)彈性體帶 300的外表面330及對(duì)應(yīng)外部到安裝溝槽190中的其他裝置將彈性體帶300的外表面330 推入安裝溝槽190中。一旦彈性體帶300己定位在安裝溝槽內(nèi)，彈性體帶300便提供保護(hù) 安裝溝槽免于離子和/或等離子體攻擊的壓縮密封。根據(jù)實(shí)施方式，具有錐形剖面的彈性 體帶300利用上述安裝固定架200安裝到襯底支撐件150的安裝溝槽190中。
[0070] 上述方法還可以利用彈性體安裝套件執(zhí)行，該彈性體安裝套件包括環(huán)形安裝固定 架和彎曲的嵌入工具400,該環(huán)形安裝固定架適于安裝彈性體帶300到半導(dǎo)體襯底支撐件 150周圍的安裝溝槽中，該環(huán)形安裝固定架包括安裝單元220和裝載構(gòu)件210,該安裝單元 220包括：頂環(huán)230,該頂環(huán)230具有一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋；夾環(huán)240 ;基環(huán)250,該基環(huán)具有被 配置成容納頂環(huán)的一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋的一個(gè)或多個(gè)外螺紋，且在將頂環(huán)緊固在基環(huán)上時(shí)， 彈性體帶被夾持在夾環(huán)與基環(huán)之間；和通過從夾環(huán)與基環(huán)之間松開彈性體帶而將彈性體帶 釋放到安裝溝槽中的閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)260 ;所述裝載構(gòu)件210將彈性體帶定位在夾環(huán)與基 環(huán)之間的安裝單元內(nèi)；所述彎曲的嵌入工具400適于壓迫彈性體帶到襯底支撐件的安裝溝 槽中，該工具包括以凹形的方式彎曲、并具有推動(dòng)彈性體帶300到安裝溝槽190中的徑向延 伸部分的曲面。所述套件還可以包括一個(gè)或多個(gè)彈性體帶300。根據(jù)實(shí)施方式，一個(gè)或多個(gè) 彈性體帶300具有向內(nèi)逐漸變細(xì)的多邊形剖面。
[0071] 盡管本發(fā)明已結(jié)合其優(yōu)選實(shí)施方式加以描述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可在 不脫離由所附權(quán)利要求書中所定義的本發(fā)明的精神及范圍的情況下，進(jìn)行未具體說明的增 力口、刪除、修改和替換。
【權(quán)利要求】
1. 一種彈性體帶的安裝方法，所述彈性安裝帶作為半導(dǎo)體襯底支撐件的一部分周圍的 保護(hù)性邊緣密封件，所述襯底支撐件用于在等離子體處理室中支撐半導(dǎo)體襯底，所述安裝 方法包括： 使彈性體帶擴(kuò)展成具有大于所述襯底支撐件內(nèi)的安裝溝槽的直徑的直徑的圓形； 將擴(kuò)展形狀的所述彈性體帶夾持在基環(huán)與夾環(huán)之間； 將擴(kuò)展形狀的所述彈性體帶放置在所述襯底支撐件的上方；并且 從所述基環(huán)與所述夾環(huán)之間釋放所述彈性體帶，從而使所述彈性體帶收縮至所述襯底 支撐件的所述安裝溝槽中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括：在將所述彈性體帶釋放到所述安裝溝 槽中之前，將所述彈性體帶定位成與所述安裝溝槽相鄰。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中擴(kuò)展所述彈性體帶的步驟是利用裝載構(gòu)件執(zhí)行 的，所述裝載構(gòu)件使所述彈性體帶納入在所述基環(huán)的上表面與所述夾環(huán)的下表面之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括均勻地?cái)U(kuò)展所述彈性體帶成為所述圓形并 且均勻地使所述彈性體帶收縮到所述安裝溝槽中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：在從所述基環(huán)與所述夾環(huán)內(nèi)釋放所述彈 性體帶到所述安裝溝槽中之后，調(diào)整所述彈性體帶以將所述彈性體帶移動(dòng)到所述安裝溝槽 中的需要的位置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：在從所述基環(huán)與所述夾環(huán)內(nèi)釋放所述彈 性體帶到所述安裝溝槽中之后，抵靠所述彈性體帶壓迫嵌入工具并且將所述彈性體帶壓入 所述安裝溝槽中，以確保所述彈性體帶完全納入到所述安裝溝槽中。
7. -種環(huán)形安裝固定架，其適于將彈性體帶安裝在半導(dǎo)體襯底支撐件周圍的安裝溝 槽中，所述襯底支撐件用于在等離子體處理室中支撐半導(dǎo)體襯底，所述環(huán)形安裝固定架包 括： 安裝單元，所述安裝單元包括： 頂環(huán)，所述頂環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋； 夾環(huán)； 基環(huán)，所述基環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)外螺紋，所述一個(gè)或多個(gè)外螺紋被配置成容納所述頂 環(huán)的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋，且當(dāng)所述頂環(huán)鎖緊在所述基環(huán)上時(shí)，所述彈性體帶被夾持在 所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間；以及 閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)，所述R鎖及釋放機(jī)構(gòu)通過從所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間松開所述彈性 體帶而將所述彈性體帶釋放到所述安裝溝槽中；以及 裝載構(gòu)件，所述裝載構(gòu)件在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間將所述彈性體帶定位在所述安裝 單元內(nèi)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述夾環(huán)是具有在所述夾環(huán)的下表面 上形成臺(tái)階的上部和下部的環(huán)形環(huán)，并且其中所述彈性體帶被夾持在所述夾環(huán)與所述基環(huán) 的上表面之間。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)包括附接至所述 頂環(huán)的外緣的第一柄、附接至所述基環(huán)的外表面的第二柄以及將所述頂環(huán)固定在所述基環(huán) 上的閂鎖機(jī)構(gòu)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述閂鎖機(jī)構(gòu)包括彈簧加載閂鎖，所 述彈簧加載閂鎖具有與所述頂環(huán)的外部上的一系列齒嚙合的桿。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述頂環(huán)包括環(huán)形構(gòu)件，所述環(huán)形構(gòu) 件包括外部和上部，所述上部從所述外部的上緣且朝內(nèi)延伸，并且其中所述外部包括被配 置成容納所述基環(huán)上的所述一個(gè)或多個(gè)外螺紋的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述頂環(huán)包括拉伸彈簧，所述拉伸 彈簧在所述基環(huán)上與所述閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)嚙合以在所述夾環(huán)松開時(shí)使所述頂環(huán)朝反方向 旋轉(zhuǎn)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述基環(huán)為環(huán)形構(gòu)件，在所述環(huán)形 構(gòu)件的外表面上具有被配置成與所述頂環(huán)上的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋嚙合的所述一個(gè)或 多個(gè)外螺紋。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述基環(huán)包括位于所述環(huán)形構(gòu)件的 上表面的內(nèi)端的上環(huán)形突出部；以及一個(gè)或多個(gè)壓縮彈簧，其從所述環(huán)形構(gòu)件的所述上表 面朝上延伸至大于所述環(huán)形突出部的高度。
15. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的環(huán)形安裝固定架，其中所述夾環(huán)由聚四氟乙烯（PTFE)制成。
16. -種彈性體帶安裝套件，包括： 環(huán)形安裝固定架，其適于安裝彈性體帶到半導(dǎo)體襯底支撐件周圍的安裝溝槽中，所述 環(huán)形安裝固定架包括： 安裝單元，所述安裝單元包括： 頂環(huán)，所述頂環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋； 夾環(huán)； 基環(huán)，所述基環(huán)具有一個(gè)或多個(gè)外螺紋，所述一個(gè)或多個(gè)外螺紋被配置成容納所述頂 環(huán)的所述一個(gè)或多個(gè)內(nèi)螺紋，且在所述頂環(huán)鎖緊在所述基環(huán)上時(shí)，所述彈性體帶被夾持在 所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間；以及 閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)，所述R鎖及釋放機(jī)構(gòu)通過從所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間松開所述彈性 體帶而將所述彈性體帶釋放到所述安裝溝槽中；以及 裝載構(gòu)件，所述裝載構(gòu)件在所述夾環(huán)與所述基環(huán)之間將所述彈性體帶定位在所述安裝 單元內(nèi)；以及 彎曲嵌入工具，所述彎曲嵌入工具適于壓迫所述彈性體帶到所述襯底支撐件中的所述 安裝溝槽內(nèi)，所述工具包括曲面，所述曲面以凹形方式彎曲并且具有推動(dòng)所述彈性體帶到 所述安裝溝槽中的徑向延伸部分。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的彈性體帶安裝套件，進(jìn)一步包括具有向內(nèi)逐漸變細(xì)的多邊 形剖面的一個(gè)或多個(gè)彈性體帶。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的彈性體帶安裝套件，進(jìn)一步包括0型環(huán)勾針。
19. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的彈性體帶安裝套件，其中所述夾環(huán)是具有在所述夾環(huán)的下 表面上形成臺(tái)階的上部和下部的環(huán)形環(huán)，并且其中所述彈性體帶被夾持在所述臺(tái)階與所述 基環(huán)的上表面之間。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的彈性體帶安裝套件，其中所述閂鎖及釋放機(jī)構(gòu)包括附接至 所述頂環(huán)的外表面的第一柄、附接至所述基環(huán)的外表面的第二柄以及將所述頂環(huán)固定在所 述基環(huán)上的閂鎖機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】H01L21/50GK104272445SQ201380018736
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2013年3月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月4日
【發(fā)明者】尼爾·牛頓 申請人:朗姆研究公司