技術(shù)特征：

1.一種基板處理裝置，其用于處理基板，其特征在于，

2.一種基板處理裝置，其用于處理基板，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，

6.一種基板收納容器保管方法，其為用于收納基板的基板收納容器的保管方法，其特征在于，

7.一種基板收納容器保管方法，其為用于收納基板的基板收納容器的保管方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及基板處理裝置和基板收納容器保管方法。在使收納了基板的基板處理容器暫時待機的保管部保管比以往更多的基板收納容器。用于處理基板的基板處理裝置具有：基板收納容器載置部，其在基板處理裝置載置基板收納容器，該基板收納容器收納要處理的基板；以及保管區(qū)域，其配置為靠近基板收納容器載置部，用于保管基板收納容器，保管區(qū)域使在水平方向上載置并保管多個基板收納容器的保管部具有上下多層，位于最上部的保管部能夠在其與頂部行駛車之間交接基板收納容器，頂部行駛車在基板處理裝置的上方移動，處于位于最上部的保管部的下側(cè)的其他保管部以與載置并保管在位于最上部的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器。

技術(shù)研發(fā)人員：寺本聰寬,辻橋辰彥,井手康盛
受保護的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15