晶圓承接裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓承接裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體加工工藝過(guò)程中,通常要使用晶圓承接裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備之間的晶圓傳遞和過(guò)渡。例如,在晶圓清洗機(jī)中,晶圓承接裝置上升以承接清洗后的晶圓,然后晶圓承接裝置下降,通過(guò)機(jī)械手將晶圓轉(zhuǎn)移至其他處理腔體中進(jìn)行處理。
[0003]但是,無(wú)論是清洗還是其他涉及到液體的工藝步驟,工藝過(guò)程結(jié)束后會(huì)在晶圓上殘留有液體,在晶圓承接裝置的轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中,液體會(huì)不斷積聚。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種晶圓承接裝置,能夠通過(guò)導(dǎo)液槽將殘留液體導(dǎo)出,避免殘留液體的積聚。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種晶圓承接裝置,包括:
[0006]支撐桿;
[0007]與所述支撐桿的頂端固定連接的多個(gè)支撐臂,所述多個(gè)支撐臂以所述支撐桿的頂端為中心向外輻射形成用于承接晶圓的平面;
[0008]其中,所述多個(gè)支撐臂朝向所述晶圓的一面具有內(nèi)凹的導(dǎo)液槽,所述導(dǎo)液槽的延伸方向平行于各個(gè)支撐臂的延伸方向。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,每一導(dǎo)液槽內(nèi)具有一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述導(dǎo)液槽靠近所述支撐桿頂端的一端為開(kāi)放端,并且多個(gè)導(dǎo)液槽的開(kāi)放端匯聚在一起且相互連通;所述導(dǎo)液槽遠(yuǎn)離所述支撐桿頂端的一端為封閉端。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述導(dǎo)液槽的封閉端具有導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述導(dǎo)液槽的封閉端和開(kāi)放端之間具有導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述多個(gè)支撐臂中相鄰兩個(gè)支撐臂之間具有相同的夾角。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述支撐臂的數(shù)量為3條,相鄰兩個(gè)支撐臂之間的夾角為120度。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述導(dǎo)液槽的形狀為倒三角形。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述倒三角形的導(dǎo)液槽內(nèi)凹在所述支撐臂內(nèi)的底角為90度。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,所述裝置還包括:驅(qū)動(dòng)部件,用于驅(qū)動(dòng)所述支撐桿上升或下降。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019]本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置中,多個(gè)支撐臂朝向晶圓的一面具有內(nèi)凹的導(dǎo)液槽,晶圓放置在支撐臂上時(shí),晶圓上的殘留液體可以通過(guò)導(dǎo)液槽流出,避免殘留液體的積聚。
[0020]進(jìn)一步而言,該導(dǎo)液槽內(nèi)可以具有貫穿該支撐臂的導(dǎo)液孔,導(dǎo)液槽內(nèi)的殘留液體可以通過(guò)該導(dǎo)液孔流出,可以進(jìn)一步避免殘留液體的積聚。
【附圖說(shuō)明】
[0021 ] 圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置的立體圖;
[0022]圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置的正視圖;
[0023]圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置的俯視圖;
[0024]圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置中支撐臂的局部放大圖;
[0025]圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓承接裝置中支撐臂上的導(dǎo)液槽的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明,但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0027]參考圖1至圖5,本實(shí)施例的晶圓承接裝置包括支撐桿11和多個(gè)支撐臂12。其中,多個(gè)支撐臂12與支撐桿11的頂端固定連接,多個(gè)支撐臂12以支撐桿11的頂端為中心向外輻射,形成用于承接晶圓的平面。支撐臂12朝向晶圓的一面具有內(nèi)凹的導(dǎo)液槽121,導(dǎo)液槽121的延伸方向與其所處的支撐臂12的延伸方向相同。晶圓放置在多個(gè)支撐臂12形成的承接平面上時(shí),晶圓上的殘留液體會(huì)留在支撐臂12上,進(jìn)而通過(guò)導(dǎo)液槽121將殘留液體導(dǎo)出,避免過(guò)多殘留液體的積累。
[0028]優(yōu)選地,多個(gè)支撐臂12在用于承接晶圓的平面內(nèi)均勻排布,也就是相鄰支撐臂12之間具有相同大小的夾角。作為一個(gè)非限制性的實(shí)例,該支撐臂12的數(shù)量為3條,相鄰支撐臂12之間的夾角為120度。
[0029]另外,導(dǎo)液槽121靠近支撐桿11頂端的一端可以是開(kāi)放端,多個(gè)導(dǎo)液槽121的開(kāi)放端在中心匯聚在一起且相互連通,導(dǎo)液槽121遠(yuǎn)離支撐桿11頂端(也就是遠(yuǎn)離中心)的一端為封閉端。由于多個(gè)導(dǎo)液槽121的開(kāi)放端相互連通,因此殘留液體可以從一個(gè)導(dǎo)液槽121內(nèi)流入其他導(dǎo)液槽121。
[0030]更加優(yōu)選地,導(dǎo)液槽121內(nèi)具有一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)液孔122,該導(dǎo)液孔122自導(dǎo)液槽121的底部貫穿該支撐臂12。導(dǎo)液槽121內(nèi)的殘留液體可以通過(guò)導(dǎo)液孔122流出。
[0031]作為一個(gè)非限制性的實(shí)例,每條支撐臂12上可以具有2個(gè)導(dǎo)液孔122,其中一個(gè)導(dǎo)液孔122位于導(dǎo)液槽121的封閉端,另一個(gè)導(dǎo)液孔122位于封閉端和開(kāi)放端之間,也就是位于支撐臂12的中部或靠近中部。
[0032]導(dǎo)液槽121可以是各種形狀,優(yōu)選地,本實(shí)施例中的導(dǎo)液槽121為倒三角形,其底角內(nèi)凹在支撐臂12內(nèi),底角的兩條邊斜向上延伸形成導(dǎo)液槽121的敞口。作為一個(gè)非限制性的實(shí)例,倒三角形的導(dǎo)液槽121內(nèi)凹在支撐臂12內(nèi)的底角為90度。
[0033]另外,該晶圓承接裝置還可以包括驅(qū)動(dòng)部件,該驅(qū)動(dòng)部件用于驅(qū)動(dòng)支撐桿11上升或者下降。該驅(qū)動(dòng)部件例如可以是氣缸、電動(dòng)機(jī)或者其他類(lèi)似的部件。
[0034]本實(shí)施例的晶圓承接裝置例如可以適用于晶圓清洗機(jī)的清洗腔,通過(guò)驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)支撐桿11上升,多個(gè)支撐臂12隨著支撐桿11的上升而一起上升;然后機(jī)械手臂能夠?qū)⒕A平穩(wěn)地方在支撐臂12形成的承接平面上;最后,驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)支撐桿11下降,使得晶圓轉(zhuǎn)移到其他腔體內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的工藝操作。在整個(gè)過(guò)程中,晶圓上的殘留液體會(huì)留在支撐臂12上,進(jìn)而通過(guò)導(dǎo)液槽121和導(dǎo)液孔122排出。
[0035]本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上,但其并不是用來(lái)限定本發(fā)明,任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),都可以做出可能的變動(dòng)和修改,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓承接裝置,包括: 支撐桿; 與所述支撐桿的頂端固定連接的多個(gè)支撐臂,所述多個(gè)支撐臂以所述支撐桿的頂端為中心向外輻射形成用于承接晶圓的平面; 其特征在于,所述多個(gè)支撐臂朝向所述晶圓的一面具有內(nèi)凹的導(dǎo)液槽,所述導(dǎo)液槽的延伸方向平行于各個(gè)支撐臂的延伸方向。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓承接裝置,其特征在于,每一導(dǎo)液槽內(nèi)具有一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述導(dǎo)液槽靠近所述支撐桿頂端的一端為開(kāi)放端,并且多個(gè)導(dǎo)液槽的開(kāi)放端匯聚在一起且相互連通;所述導(dǎo)液槽遠(yuǎn)離所述支撐桿頂端的一端為封閉端。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述導(dǎo)液槽的封閉端具有導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述導(dǎo)液槽的封閉端和開(kāi)放端之間具有導(dǎo)液孔,所述導(dǎo)液孔貫穿所述支撐臂。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述多個(gè)支撐臂中相鄰兩個(gè)支撐臂之間具有相同的夾角。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述支撐臂的數(shù)量為3條,相鄰兩個(gè)支撐臂之間的夾角為120度。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述導(dǎo)液槽的形狀為倒三角形。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓承接裝置,其特征在于,所述倒三角形的導(dǎo)液槽內(nèi)凹在所述支撐臂內(nèi)的底角為90度。10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的晶圓承接裝置,其特征在于,還包括:驅(qū)動(dòng)部件,用于驅(qū)動(dòng)所述支撐桿上升或下降。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種晶圓承接裝置,包括:支撐桿;與所述支撐桿的頂端固定連接的多個(gè)支撐臂,所述多個(gè)支撐臂以所述支撐桿的頂端為中心向外輻射形成用于承接晶圓的平面;所述多個(gè)支撐臂朝向所述晶圓的一面具有內(nèi)凹的導(dǎo)液槽,所述導(dǎo)液槽的延伸方向平行于各個(gè)支撐臂的延伸方向。本發(fā)明能夠通過(guò)導(dǎo)液槽將殘留液體導(dǎo)出,避免殘留液體的積聚。
【IPC分類(lèi)】H01L21/687, H01L21/67
【公開(kāi)號(hào)】CN105529285
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410512907
【發(fā)明人】吳均, 焦欣欣, 金一諾, 王堅(jiān), 王暉
【申請(qǐng)人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2014年9月29日