本技術(shù)涉及顯示，尤其涉及一種復(fù)合薄膜及制備方法、光電器件、顯示裝置。

背景技術(shù)：

1、目前廣泛使用的光電器件為有機(jī)發(fā)光二極管(oled)和量子點(diǎn)發(fā)光二極管(qled)。oled由于具有自發(fā)光、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、超輕薄、響應(yīng)速度快、寬視角、低功耗、可柔性顯示等十分優(yōu)異的顯示性能，已成為顯示技術(shù)領(lǐng)域中的主流技術(shù)。qled具有出射光顏色飽和以及波長(zhǎng)可調(diào)的優(yōu)點(diǎn)，而且光致、電致發(fā)光量子產(chǎn)率高，近年來成了oled的有力競(jìng)爭(zhēng)者。

2、光電器件中常設(shè)置載流子功能層以改善載流子傳輸，但載流子功能層界面仍存在空穴載流子和電子載流子復(fù)合率低、電子容易泄漏的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，本技術(shù)實(shí)施例提供一種復(fù)合薄膜及制備方法、光電器件、顯示裝置。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)實(shí)施例提供一種復(fù)合薄膜的制備方法，所述復(fù)合薄膜的制備方法采用了如下所述的技術(shù)方案：

3、提供包括載流子功能材料和第一溶劑的載流子材料溶液；

4、使所述載流子材料溶液沉積，形成載流子功能層；

5、將所述載流子功能層置于設(shè)定溶劑的氛圍，以在所述載流子功能層上形成保護(hù)層；

6、對(duì)所述載流子功能層進(jìn)行等離子體處理，使所述載流子功能層和/或所述保護(hù)層表面帶電荷，得到復(fù)合薄膜。

7、進(jìn)一步的，所述等離子體處理包括對(duì)所述保護(hù)層和/或所述載流子功能層表面提供等離子氣體；

8、所述等離子氣體的氣體流量為30sccm/s～80sccm/s；和/或，

9、所述等離子體處理的處理功率為60w～100w；和/或，

10、所述等離子體處理的處理時(shí)間為60s～150s；和/或，

11、所述等離子氣體包括氧氣、惰性氣體、四氟化硫，四氟化碳中的至少一種；所述惰性氣體包括氮?dú)?、氦氣、氬氣、氖氣的至少一種；和/或

12、所述復(fù)合薄膜與置于設(shè)定溶劑的氛圍前的所述載流子功能層的功函數(shù)比值為(1.4～1.6)：1。

13、進(jìn)一步的，所述將所述載流子功能層置于設(shè)定溶劑的氛圍的步驟包括對(duì)所述載流子功能層進(jìn)行加熱，加熱的溫度為150℃～250℃；和/或，加熱的時(shí)間為10min～60min。

14、進(jìn)一步的，所述使所述載流子材料溶液沉積，形成載流子功能層的步驟包括：

15、使所述載流子材料溶液形成液膜，進(jìn)行第一干燥處理；

16、對(duì)所述第一干燥處理后的液膜進(jìn)行第二干燥處理，得到載流子功能層；

17、所述第一干燥處理的氣壓為8000pa～11000pa，和/或，所述第一干燥處理的處理時(shí)間為1min～5min；和/或，

18、第二次干燥氣壓為1.333×10-1pa～1.333×10-6pa，處理時(shí)間為1min～20min。

19、進(jìn)一步的，所述載流子材料溶液包括載流子功能材料和第一溶劑。

20、進(jìn)一步的，所述載流子功能材料包括空穴功能材料、電子功能材料中任一項(xiàng)；和/或

21、所述第一溶劑和所述設(shè)定溶劑獨(dú)立包括醇類溶劑、酮類溶劑和醇醚類溶劑中任一項(xiàng)或其組合；和/或，

22、所述第一溶劑與所述設(shè)定溶劑相同。

23、進(jìn)一步的，所述載流子功能材料為空穴功能材料，所述空穴功能材料包括空穴注入材料和/或空穴傳輸材料，所述空穴注入材料包括聚(3,4-亞乙二氧基噻吩)、聚(3,4-亞乙二氧基噻吩)-聚苯乙烯磺酸、2,3,5,6－四氟-7,7',8,8'-四氰醌-二甲烷、2,3,6,7,10,11-六氰基-1,4,5,8,9,12-六氮雜苯并菲、聚酯碳酸銅、過渡金屬氧化物、過渡金屬硫系化合物中的一種或其組合；和/或，

24、所述空穴傳輸材料包括聚、3-己基取代聚噻吩、聚(9-乙烯咔唑)、聚[雙(4-苯基)(4-丁基苯基)胺]、聚(n,n'-二(4-丁基苯基)-n,n'-二苯基-1,4-苯二胺-co-9,9-二辛基芴)、4,4',4”-三(咔唑-9-基)三苯胺、4,4'-二(9-咔唑)聯(lián)苯、n,n'-二苯基-n,n'-二(3-甲基苯基)-1,1'-聯(lián)苯-4,4'-二胺、n,n'-二苯基-n,n'-(1-萘基)-1,1'-聯(lián)苯-4,4'-二胺、聚(3,4-乙烯二氧基噻吩)：聚(苯乙烯磺酸)、摻雜或非摻雜的石墨烯、c60、nio、moo3、wo3、v2o5、cro3、cuo或p型氮化鎵中的一種或其組合；和/或，

25、所述醇類溶劑包括異丙醇、二乙二醇、1,2-乙二醇、2-苯氧基乙醇中的一種或其組合；和/或，

26、所述酮類溶劑包括n-甲基吡咯烷酮、丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、苯乙酮中的一種或其組合；

27、所述醇醚類溶劑包括二甘醇單丁醚、二乙二醇丁醚、二甘醇單甲醚、三甘醇單甲醚中的一種或其組合。

28、進(jìn)一步的，所述載流子功能材料為電子功能材料，所述電子功能材料包括摻雜或非摻雜無機(jī)材料、有機(jī)材料中的一種或其組合；

29、所述非摻雜無機(jī)材料包括zno、tio2、sno2、al2o3、gao、ga2o3、zro2、nio、zns、znse、cds、inp、gap、batio3、cs2co3、rb2co3、rbbr、lif，lif/yb、mgp，mgf2中的一種或其組合；

30、所述摻雜無機(jī)材料包括非摻雜無機(jī)材料和摻雜元素，所述摻雜元素包括mg、ca、li、ga、al、co、mn、zr、w、ti、yb中的一種或其組合；

31、所述有機(jī)材料選自聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇縮丁醛、聚碳酸酯、聚氨基甲酸酯中的一種或其組合；和/或，

32、所述醇類化合物包括甲醇、乙醇、1,2-乙二醇、2-苯氧基乙醇；和/或，

33、所述保護(hù)層的厚度為0.5nm～2nm。

34、相應(yīng)的，本技術(shù)還提供一種復(fù)合薄膜，所述復(fù)合薄膜采用如上所述的復(fù)合薄膜的制備方法制備而成。

35、相應(yīng)的，本技術(shù)還提供一種光電器件包括依次層疊的底電極、功能層和頂電極，其中，所述功能層包括采用如上述制備方法制備得到的復(fù)合薄膜，或者包括如上述的復(fù)合薄膜。

36、所述底電極和所述頂電極分別包括金屬氧化物電極或者摻雜或非摻雜透明金屬氧化物之間設(shè)置金屬的復(fù)合電極，所述金屬氧化物電極的材料包括ito、fto、ato、azo、gzo、izo、mzo以及amo中的一種或幾種，所述復(fù)合電極包括azo/ag/azo、azo/al/azo、ito/ag/ito、ito/al/ito、zno/ag/zno、zno/al/zno、zns/ag/zns、zns/al/zns、tio2/ag/tio2以及tio2/al/tio2中的一種或幾種。

37、所述功能層包括層疊的載流子功能層和保護(hù)層，所述載流子功能層靠近所述保護(hù)層的一側(cè)和/或所述保護(hù)層表面帶有電荷；

38、所述保護(hù)層靠近所述頂電極。

39、相應(yīng)的，本技術(shù)還提供一種顯示裝置，所述顯示裝置包括如上所述的光電器件。

40、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)實(shí)施例主要有以下有益效果：

41、本技術(shù)實(shí)施例通過在載流子功能層上形成保護(hù)膜并進(jìn)行等離子處理，避免載流子功能層劣化，同時(shí)其表面帶有電荷，可提高復(fù)合薄膜的載流子傳輸效率及使用壽命。