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半導(dǎo)體裝置、存儲(chǔ)裝置及電子設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):41952433發(fā)布日期:2025-05-16 14:14閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,

5.一種半導(dǎo)體裝置,包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置,

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置,

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置,

9.一種存儲(chǔ)裝置,包括:

10.一種電子設(shè)備,包括:


技術(shù)總結(jié)
提供一種存儲(chǔ)密度高的半導(dǎo)體裝置。半導(dǎo)體裝置包括第一層及第一層的上方的第二層。第一層包括第一至第四導(dǎo)電體、第一至第五絕緣體及第一半導(dǎo)體,第二層包括第五至第七導(dǎo)電體、第六、第七絕緣體及第二半導(dǎo)體。第一導(dǎo)電體上依次形成有第一絕緣體、第二導(dǎo)電體、第二絕緣體及第三導(dǎo)電體,它們各自設(shè)置有以第一導(dǎo)電體為底面的第一開口。第一開口中依次形成有第一半導(dǎo)體、第四絕緣體及第四導(dǎo)電體。第三絕緣體位于第三導(dǎo)電體的側(cè)面及第二絕緣體的頂面。第五導(dǎo)電體位于第四導(dǎo)電體的頂面及第五絕緣體的頂面。第五導(dǎo)電體上依次形成有第六絕緣體及第六導(dǎo)電體,它們各自設(shè)置有以第五導(dǎo)電體為底面的第二開口。第二開口中依次形成有第二半導(dǎo)體、第七絕緣體及第七導(dǎo)電體。

技術(shù)研發(fā)人員:木村肇,山崎舜平
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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