技術(shù)特征：

1.一種異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述諧振器包括多個(gè)相連的薄膜體聲波器件，所述薄膜體聲波器件包括蓋板，所述蓋板上異質(zhì)集成第一無源器件；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述薄膜體聲波器件還包括襯底、壓電震蕩堆和焊盤：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述薄膜體聲波器件還包括放置窗口和第二無源器件：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述第二無源器件包括底電極、介質(zhì)層和頂電極，其中：

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述放置窗口與第一空腔相隔設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述第二無源器件為電容。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述蓋板的底部未經(jīng)過刻蝕，所述蓋板的頂部經(jīng)過研磨。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述壓電震蕩堆包括第一電極、壓電層、第二電極和保護(hù)層；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異質(zhì)集成無源器件的諧振器，其特征在于，所述第一無源器件為無源電感。

10.一種濾波器，其特征在于，包括串聯(lián)干路和多個(gè)并聯(lián)支路，所述并聯(lián)支路連接在所述串聯(lián)干路和地線之間；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種異質(zhì)集成無源器件的諧振器和濾波器，該諧振器包括多個(gè)相連的薄膜體聲波器件；該薄膜體聲波器件包括蓋板，該蓋板上異質(zhì)集成第一無源器件；通過在該薄膜體聲波器件的蓋板上異質(zhì)集成的第一無源器件進(jìn)行連接得到組合無源器件，從而實(shí)現(xiàn)諧振器與組合無源器件的電連接。該諧振器集成度較高，能夠獲得較大的或組合的無源器件，以獲得所需性能的無源器件。

技術(shù)研發(fā)人員：劉剛,阮建樺,馬宏偉,郭新宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州樹芯電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15