準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)，包括保溫體、側(cè)發(fā)熱體、上發(fā)熱體、坩堝蓋板、坩堝護(hù)板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺(tái)，坩堝護(hù)板底部的外圈設(shè)有隔熱環(huán)，隔熱環(huán)置于石墨平臺(tái)上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使保溫體內(nèi)的石墨平臺(tái)上方的熱量輻射不到石墨平臺(tái)下部，滿足了在生產(chǎn)中鑄錠爐內(nèi)部保持必要的溫度梯度的需求，提高了設(shè)備的生產(chǎn)效率。
【專利說明】 準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于準(zhǔn)單晶鑄錠爐【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]準(zhǔn)單晶是在準(zhǔn)單晶鑄錠爐上采用誘導(dǎo)式方法鑄造結(jié)晶獲得的，再經(jīng)過開方，切片環(huán)節(jié)，可生產(chǎn)出的具有高轉(zhuǎn)換率的準(zhǔn)單晶硅片。其主要工藝是通過在準(zhǔn)單晶鑄錠爐石英坩堝的底部增加籽晶，并在真空和保護(hù)氣氛狀態(tài)下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時(shí)籽晶部分融化，由此長出單晶。目前，多晶硅鑄錠爐是由保溫體、上發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體、坩堝、石墨平臺(tái)組成，控溫時(shí)保溫體內(nèi)部的上下溫度梯度控制困難，難以達(dá)到真空鑄錠爐生產(chǎn)單晶硅的工藝要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)，以滿足在生產(chǎn)中保溫體內(nèi)部保持合理的溫度梯度，從而提高單晶率和設(shè)備的生產(chǎn)效率。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下方案:
[0005]一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)，包括保溫體、側(cè)發(fā)熱體、上發(fā)熱體、坩堝蓋板、坩堝護(hù)板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺(tái)，其特征在于:石墨平臺(tái)周邊設(shè)有隔熱環(huán)。
[0006]所述保溫體為箱體型，其內(nèi)部的上方設(shè)有上發(fā)熱體，保溫體四周設(shè)有側(cè)發(fā)熱體，保溫體中部設(shè)有石墨平臺(tái)，石墨平臺(tái)上平面置有石英坩堝，石英坩堝的四周設(shè)有坩堝護(hù)板，坩堝護(hù)板的上方設(shè)有坩堝蓋板，石英坩堝的底部設(shè)有籽晶料，籽晶料的上方設(shè)有硅料；所述坩堝護(hù)板底部的外圈設(shè)有隔熱環(huán)，隔熱環(huán)置于石墨平臺(tái)上。
[0007]所述側(cè)發(fā)熱體與上發(fā)熱體為發(fā)熱部件，所產(chǎn)生的熱量對(duì)坩堝蓋板、坩堝護(hù)板、石英坩堝、硅料、籽晶料輻射，使其溫度升高，硅料融化；保溫體使得熱量不得傳到保溫體外，而隔熱環(huán)可以將發(fā)熱部件所產(chǎn)生的熱量在對(duì)下輻射時(shí)被阻擋，使得熱量不能傳導(dǎo)至石墨平臺(tái)下部，這樣就可以降低下部的溫度，形成溫度梯度。在高溫化料時(shí)，有效地降低側(cè)面護(hù)板溫度對(duì)坩堝底部的影響，減少坩堝底部預(yù)埋籽晶熔化，使整個(gè)熱場(chǎng)橫向梯度幅度變化很小，有利于準(zhǔn)單晶的生長。
[0008]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，在保溫體內(nèi)對(duì)熱輻射起到了阻隔作用，使保溫體內(nèi)的石墨平臺(tái)上方的熱量輻射不到石墨平臺(tái)下部，滿足了在生產(chǎn)中鑄錠爐內(nèi)部保持必要的溫度梯度的需求，提高了設(shè)備的生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0010]以下結(jié)合實(shí)施例及其附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0011]如圖1所示，一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)，包括隔熱環(huán)1、保溫體2、側(cè)發(fā)熱體3、上發(fā)熱體4、坩堝蓋板5、坩堝護(hù)板6、石英坩堝7、硅料8、籽晶料9和石墨平臺(tái)10。
[0012]所述保溫體2為箱體型，其內(nèi)部的上方設(shè)有上發(fā)熱體4，保溫體2四周設(shè)有側(cè)發(fā)熱體3，保溫體2中部設(shè)有石墨平臺(tái)10，石墨平臺(tái)10上平面置有石英坩堝7，石英坩堝7的四周設(shè)有坩堝護(hù)板6，坩堝護(hù)板6的上方設(shè)有坩堝蓋板5，石英坩堝7的底部設(shè)有籽晶料9，籽晶料9的上方設(shè)有硅料8 ;所述坩堝護(hù)板6底部的外圈設(shè)有隔熱環(huán)1，隔熱環(huán)I置于石墨平臺(tái)10上。
[0013]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的帶隔熱環(huán)保溫體結(jié)構(gòu)，包括保溫體、側(cè)發(fā)熱體、上發(fā)熱體、坩堝蓋板、坩堝護(hù)板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺(tái)，所述保溫體為箱體型，其內(nèi)部的上方設(shè)有上發(fā)熱體，保溫體四周設(shè)有側(cè)發(fā)熱體，保溫體中部設(shè)有石墨平臺(tái)，石墨平臺(tái)上平面置有石英坩堝，石英坩堝的四周設(shè)有坩堝護(hù)板，坩堝護(hù)板的上方設(shè)有坩堝蓋板，石英坩堝的底部設(shè)有籽晶料，籽晶料的上方設(shè)有硅料；其特征在于:所述石墨平臺(tái)周邊設(shè)有隔熱環(huán)，隔熱環(huán)置于石墨平臺(tái)上，位于坩堝護(hù)板底部的外圈。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK203393259SQ201320463212
【公開日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】水川, 許柏, 汪光林 申請(qǐng)人:安徽大晟新能源設(shè)備科技有限公司