本公開涉及半導(dǎo)體設(shè)備輔助工裝，尤其涉及一種用于拆卸esc組件的工裝。

背景技術(shù)：

1、相關(guān)技術(shù)中，靜電吸附(electrostatic?chuck，簡稱為esc)，是常見的晶圓吸附技術(shù)之一。ces組件通常用于在半導(dǎo)體制造工藝(例如氣相沉積、刻蝕等)中吸附并固定工件。如何解決esc組件的安裝問題，是業(yè)內(nèi)亟待解決的問題之一。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本公開提供了一種用于拆卸esc組件的工裝，利于節(jié)省拆卸過程中的人力。

2、本公開提供一種用于拆卸esc組件的工裝，包括：支撐基座，包括支撐架及支撐板，所述支撐板與所述支撐架的頂部固定連接；轉(zhuǎn)接組件，所述轉(zhuǎn)接組件用于與esc組件連接；垂向調(diào)節(jié)組件，所述垂向調(diào)節(jié)組件的底部與所述轉(zhuǎn)接組件連接，使得所述垂向調(diào)節(jié)組件能帶動所述轉(zhuǎn)接組件沿垂向運動；橫向調(diào)節(jié)組件、縱向調(diào)節(jié)組件及水平調(diào)節(jié)組件，所述橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件連接，所述橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件中的一個與所述支撐板連接，所述橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件中的另一個與所述水平調(diào)節(jié)組件連接；所述橫向調(diào)節(jié)組件用于帶動所述轉(zhuǎn)接組件沿橫向運動；所述縱向調(diào)節(jié)組件用于帶動所述轉(zhuǎn)接組件沿縱向運動；所述水平調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)所述轉(zhuǎn)接組件中轉(zhuǎn)接盤的水平狀態(tài)。

3、在一些實施例中，所述垂向調(diào)節(jié)組件包括：調(diào)節(jié)桿，穿設(shè)于所述橫向調(diào)節(jié)組件、縱向調(diào)節(jié)組件、水平調(diào)節(jié)組件及支撐板中；所述調(diào)節(jié)桿具有螺紋段，所述螺紋段設(shè)置有外螺紋；連接板，位于所述水平調(diào)節(jié)組件的上方，與所述水平調(diào)節(jié)組件連接；所述連接板設(shè)置有與所述螺紋段的外螺紋配合的第一螺紋孔；其中，在施加至所述調(diào)節(jié)桿的第一作用力下，所述調(diào)節(jié)桿相對于所述連接板轉(zhuǎn)動，且所述調(diào)節(jié)桿能帶動所述轉(zhuǎn)接組件相對于所述支撐基座上升；在施加至所述調(diào)節(jié)桿的第二作用力下，所述調(diào)節(jié)桿相對于所述連接板反向轉(zhuǎn)動，且所述調(diào)節(jié)桿能帶動所述轉(zhuǎn)接組件相對于所述支撐基座下降，所述第二作用力與所述第一作用力方向相反。

4、在一些實施例中，所述調(diào)節(jié)桿設(shè)有第一安裝槽，所述第一安裝槽沿所述調(diào)節(jié)桿的周向延伸設(shè)置；所述轉(zhuǎn)接組件中的轉(zhuǎn)接盤設(shè)置有第一安裝孔，所述第一安裝孔的軸向平行于縱向。

5、在一些實施例中，所述工裝還包括：軸套，可轉(zhuǎn)動地安裝在所述第一安裝孔中；所述軸套供所述調(diào)節(jié)桿穿設(shè)，且所述軸套與所述調(diào)節(jié)桿固定連接；鎖緊螺母，與所述第一安裝槽配合，且所述鎖緊螺母的頂端與所述軸套相抵；端蓋，連接在所述轉(zhuǎn)接組件中轉(zhuǎn)接盤的下側(cè)；所述端蓋還能夠與鎖緊螺母的下端、調(diào)節(jié)桿的下端中的至少一個配合，使得所述調(diào)節(jié)桿與所述轉(zhuǎn)接盤間能夠相對轉(zhuǎn)動。

6、在一些實施例中，所述第一安裝孔包括第一孔段和第二孔段，所述第一孔段位于所述第二孔段上方，所述第一孔段的內(nèi)徑小于所述第二孔段的內(nèi)徑；所述軸套的頂部與所述第一孔段配合，所述軸套的底部與所述第二孔段配合。

7、在一些實施例中，所述水平調(diào)節(jié)組件包括：第一安裝板，通過多個第一固定螺釘與所述垂向調(diào)節(jié)組件中的連接板固定連接；所述第一安裝板設(shè)置有至少三個第二螺紋孔，所述第二螺紋孔的軸向平行于垂向；第一頂絲，所述第一頂絲的數(shù)量與所述第二螺紋孔的數(shù)量相適配，所述第一頂絲分別與所述第二螺紋孔配合；所述第一頂絲的下端能夠與所述橫向調(diào)節(jié)組件相抵。

8、在一些實施例中，所述第一安裝板為矩形板，所述第二螺紋孔具有至少四個，其中四個所述第二螺紋孔分別靠近所述第一安裝板的四個頂角設(shè)置。

9、在一些實施例中，所述水平調(diào)節(jié)組件還包括：多個第一調(diào)節(jié)螺釘，與所述第一安裝板和橫向調(diào)節(jié)組件配合，用于在將所述轉(zhuǎn)接組件中的轉(zhuǎn)接盤的水平狀態(tài)調(diào)整到位后，將所述第一安裝板和橫向調(diào)節(jié)組件連接。

10、在一些實施例中，所述橫向調(diào)節(jié)組件包括：第二安裝板，通過多個第一調(diào)節(jié)螺釘與所述水平調(diào)節(jié)組件中的第一安裝板連接；所述第二安裝板設(shè)置有多個第一長孔，所述第一長孔沿橫向延伸設(shè)置；多個第二固定螺釘，分別與所述第一長孔配合，用于將所述第二安裝板與所述縱向調(diào)節(jié)組件連接；第一支撐塊，與所述縱向調(diào)節(jié)組件固定連接；所述第一支撐塊設(shè)置有多個第三螺紋孔，且多個所述第三螺紋孔沿縱向間隔分布；所述第三螺紋孔的軸向平行于橫向；第二頂絲，所述第二頂絲的數(shù)量與所述第三螺紋孔的數(shù)量相適配，所述第二頂絲分別與所述第三螺紋孔配合，且所述第二頂絲的一端與所述第二安裝板的側(cè)面相抵。

11、在一些實施例中，所述第二安裝板為矩形板體，所述第一長孔具有至少四個，且其中四個所述第一長孔分別靠近所述第二安裝板的四個頂角設(shè)置。

12、在一些實施例中，所述橫向調(diào)節(jié)組件還包括：第二調(diào)節(jié)螺釘，所述第二調(diào)節(jié)螺釘?shù)妮S向平行于橫向；所述第二調(diào)節(jié)螺釘位于相鄰兩個第二頂絲之間；所述第二調(diào)節(jié)螺釘與所述第二安裝板和縱向調(diào)節(jié)組件配合，用于在沿橫向?qū)⑺鲛D(zhuǎn)接組件中的轉(zhuǎn)接盤調(diào)整到位后，將所述第二安裝板和縱向調(diào)節(jié)組件螺栓連接。

13、在一些實施例中，所述縱向調(diào)節(jié)組件包括：第三安裝板，通過多個第二固定螺釘與所述橫向調(diào)節(jié)組件中的第二安裝板連接；所述第三安裝板設(shè)置有多個第二長孔，所述第二長孔沿縱向延伸設(shè)置；多個第三固定螺釘，分別與所述第二長孔配合，用于將所述第三安裝板與所述支撐板連接；第二支撐塊，與所述支撐板固定連接；所述第二支撐塊設(shè)置有多個第四螺紋孔，多個所述第四螺紋孔沿橫向間隔分布；第三頂絲，所述第三頂絲的軸向平行于縱向，所述第三頂絲的數(shù)量與所述第四螺紋孔的數(shù)量相適配，所述第三頂絲分別與所述第四螺紋孔配合，且所述第三頂絲的一端與所述第三安裝板的側(cè)面相抵。

14、在一些實施例中，所述第三安裝板為矩形板體，所述第二長孔具有至少四個，且其中四個所述第二長孔分別靠近所述第三安裝板的四個頂角設(shè)置。

15、在一些實施例中，所述縱向調(diào)節(jié)組件還包括：第三調(diào)節(jié)螺釘，所述第三調(diào)節(jié)螺釘?shù)妮S向平行于縱向；所述第三調(diào)節(jié)螺釘與所述第三安裝板和支撐板配合，用于在沿縱向?qū)⑺鲛D(zhuǎn)接組件中的轉(zhuǎn)接盤調(diào)整到位后，將所述第三安裝板和支撐板螺栓連接。

16、在一些實施例中，所述支撐架包括：第一縱梁，兩個所述第一縱梁相對設(shè)置；所述第一縱梁用于將支撐架固定至預(yù)設(shè)固定位；立柱，所述立柱具有多個，多個所述立柱的底部分別與所述第一縱梁固定連接；第二縱梁，兩個所述第二縱梁相對設(shè)置；兩個第二縱梁分別與相應(yīng)的所述立柱的頂部固定連接；第一橫梁，兩個第一橫梁分別連接在兩個所述第二縱梁之間；兩個所述第一橫梁分別與所述支撐板固定連接。

17、本公開實施例提供的工裝，在拆裝esc組件的過程中，根據(jù)實際需要，能通過支撐基座、垂向調(diào)節(jié)組件及轉(zhuǎn)接組件等支撐esc組件，且能通過垂向調(diào)節(jié)組件、橫向調(diào)節(jié)組件、縱向調(diào)節(jié)組件及水平調(diào)節(jié)組件靈活且快捷地調(diào)整與esc組件連接的轉(zhuǎn)接組件的位置及水平狀態(tài)，從而利于在拆裝過程中節(jié)省人力，利于提高安裝準(zhǔn)確性，且利于降低esc組件在拆裝過程中的損傷幾率。。

18、應(yīng)當(dāng)理解，本部分所描述的內(nèi)容并非旨在標(biāo)識本公開的實施例的關(guān)鍵或重要特征，也不用于限制本公開的范圍。本公開的其它特征將通過以下的說明書而變得容易理解。

技術(shù)特征：

1.一種用于拆卸esc組件的工裝，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述垂向調(diào)節(jié)組件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述調(diào)節(jié)桿設(shè)有第一安裝槽，所述第一安裝槽沿所述調(diào)節(jié)桿的周向延伸設(shè)置；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述第一安裝孔包括第一孔段和第二孔段，所述第一孔段位于所述第二孔段上方，所述第一孔段的內(nèi)徑小于所述第二孔段的內(nèi)徑；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述水平調(diào)節(jié)組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述第一安裝板為矩形板，所述第二螺紋孔具有至少四個，其中四個所述第二螺紋孔分別靠近所述第一安裝板的四個頂角設(shè)置；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述橫向調(diào)節(jié)組件包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述第二安裝板為矩形板體，所述第一長孔具有至少四個，且其中四個所述第一長孔分別靠近所述第二安裝板的四個頂角設(shè)置；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述縱向調(diào)節(jié)組件包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述第三安裝板為矩形板體，所述第二長孔具有至少四個，且其中四個所述第二長孔分別靠近所述第三安裝板的四個頂角設(shè)置；

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拆卸esc組件的工裝，其中，所述支撐架包括：

技術(shù)總結(jié)
本公開提供一種用于拆卸ESC組件的工裝，涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。工裝包括：支撐基座，包括支撐架及支撐板，支撐板與支撐架的頂部固定連接；轉(zhuǎn)接組件，轉(zhuǎn)接組件用于與ESC組件連接；垂向調(diào)節(jié)組件，垂向調(diào)節(jié)組件的底部與轉(zhuǎn)接組件連接，使得垂向調(diào)節(jié)組件能帶動轉(zhuǎn)接組件沿垂向運動；橫向調(diào)節(jié)組件、縱向調(diào)節(jié)組件及水平調(diào)節(jié)組件，橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件連接，橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件中的一個與支撐板連接，橫向調(diào)節(jié)組件與縱向調(diào)節(jié)組件中的另一個與水平調(diào)節(jié)組件連接；橫向調(diào)節(jié)組件用于帶動轉(zhuǎn)接組件沿橫向運動；縱向調(diào)節(jié)組件用于帶動轉(zhuǎn)接組件沿縱向運動；水平調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)接組件中轉(zhuǎn)接盤的水平狀態(tài)。本公開節(jié)省拆卸過程中的人力。

技術(shù)研發(fā)人員：盧振新,管長樂,張新云,陳保存,陳帥
受保護的技術(shù)使用者：北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15