專利名稱：鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到生產(chǎn)真空鍍膜玻璃用的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)是真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中的主工藝室。如圖3所示，目前所使 用的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)包括鍍膜室1及設(shè)置在鍍膜室中的隔板2，每個隔板2上均設(shè)置有玻 璃通道3，隔板2將鍍膜室1分割成多個腔室4。每個腔室4上都設(shè)置有與蓋板相配合的蓋 板安裝孔7。按照真空鍍膜玻璃的工藝要求，將腔室分為真空泵腔室和靶材腔室，真空泵和 靶材通過蓋板被分別安裝在各自的腔室內(nèi)，其中靶材腔室的空間大于真空泵腔室的空間。 因為不同膜系真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線對真空泵腔室和靶材腔室的排布要求不同，所以絕大多 數(shù)不同膜系真空鍍膜玻璃不能共用一條生產(chǎn)線。例如如圖1所示，圖1為單銀Low-E鍍銀 膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意圖。如圖2所示，圖2為 雙銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意圖。如果 企業(yè)原來生產(chǎn)單銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃，而現(xiàn)在需要生產(chǎn)雙銀Low-E鍍銀膜系 的真空鍍膜玻璃時，就需要重新購買所需真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線，或者將原生產(chǎn)線中鍍膜工 藝室中的隔板拆除，重新按新生產(chǎn)線工藝要求焊接安裝隔板，這就增加了生產(chǎn)成本，降低了 生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能方便適用于多種膜系真空鍍膜玻璃生 產(chǎn)線的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)，包括鍍膜室 及設(shè)置在鍍膜室內(nèi)的隔板，隔板上設(shè)置有玻璃通道，隔板將鍍膜室分割成若干個大小相等 的腔室，每個腔室上都設(shè)置有蓋板安裝孔，隔板上設(shè)置有若干個通氣孔。所述蓋板安裝孔大小均相等。本發(fā)明的有益效果是將鍍膜室中的腔室大小設(shè)置成相等后，可以根據(jù)不同膜系 的真空鍍膜玻璃的生產(chǎn)工藝要求，將兩個或多個腔室合并成一個腔室，從而滿足新膜系真 空鍍膜玻璃中真空泵和靶材的排布要求。


圖1是背景技術(shù)中單銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶 材腔室的排布示意圖；圖2是背景技術(shù)中雙銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶 材腔室的排布示意圖；圖3是背景技術(shù)中鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖5是圖4中左視方向所視隔板的結(jié)構(gòu)圖；圖6是本發(fā)明中單銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶材 腔室的排布示意圖；圖7是本發(fā)明中雙銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中真空泵腔室和靶材 腔室的排布示意圖。圖1至圖7中1、鍍膜室，2、隔板，3、玻璃通道，4、腔室，5、通氣孔，6、封板，7、蓋板
安裝孔。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實施方案。如圖4、圖5所示，本發(fā)明所述的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)，包括鍍膜室1及設(shè)置在鍍膜室 1內(nèi)的隔板2，隔板2上設(shè)置有玻璃通道3，隔板2將鍍膜室1分割成若干個大小相等的腔室 4，每個腔室4上都設(shè)置有蓋板安裝孔7，為了便于蓋板的統(tǒng)一化生產(chǎn)，每個蓋板安裝孔7的 大小均相等。隔板2上設(shè)置有若干個通氣孔5。通氣孔5的大小和數(shù)量可根據(jù)實際生產(chǎn)要 求設(shè)定。本發(fā)明的工作原理為可方便地將單個或若干個相鄰的腔室4合并作為一個真空 泵腔室，方便地將單個或若干個相鄰的腔室4合并作為一個靶材腔室，具體操作時相鄰真 空泵腔室與靶材腔室之間的隔板2上的通氣孔5用封板6封住。具體各真空泵腔室和靶 材腔室占用多少腔室4以及腔室4的大小可根據(jù)需要來確定。下面例舉一個實施例作詳 細(xì)描述，假設(shè)每個真空泵腔室只需一個腔室，每個靶材腔室需要兩個腔室，那么圖1中單銀 Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中的真空泵腔室和靶材腔室在本實施例中的排布 為如圖6所示，第一腔室41作為第一真空泵腔室，第二腔室42和第三腔室43合并作為 第一靶材腔室，第四腔室44作為第二真空泵腔室，第五腔室45和第六腔室46合并作為第 二靶材腔室，即第一腔室41與第二腔室42之間的隔板上的通氣孔用封板6封住，第二腔室 42和第三腔室43之間的隔板上的通氣孔不封，第三腔室43和第四腔室44之間的隔板上 的通氣孔用封板6封住，第四腔室44和第五腔室45之間的隔板上的通氣孔也封住，第五腔 室45和第六腔室46之間的隔板上的通氣孔不封，依次類推，后面的在此就不再贅述了。當(dāng) 這條單銀Low-E鍍銀膜系的真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線需要改為圖2中雙銀Low-E鍍銀膜系的真 空鍍膜玻璃生產(chǎn)線時，如圖7所示，只需要將第一腔室41仍作為第一真空泵腔室，第二腔室 42和第三腔室43合并作為第一靶材腔室、第四腔室44和第五腔室45合并作為第二靶材 腔室，第六腔室46作為第二真空泵腔室，即第一腔室41與第二腔室42之間的隔板上的通 氣孔用封板6封住，第二腔室42和第三腔室43之間的隔板上的通氣孔不封，第三腔室43 和第四腔室44之間的隔板上的通氣孔用封板6封住，第四腔室44和第五腔室45之間的隔 板上的通氣孔不封，第五腔室45和第六腔室46之間的隔板上的通氣孔用封板6封住，依次 類推，后面的在此不再贅述了，以上封板均可方便拆卸和安裝。這樣將原真空鍍膜玻璃生產(chǎn) 線升級為另一種真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線就方便多了，只需封住或開通對應(yīng)隔板上的通氣孔即 可，無需購買新設(shè)備或?qū)⒏舭宀鸪匦潞附?，幫用戶?jié)省了大量的人力、財力。
權(quán)利要求
鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)，包括鍍膜室及設(shè)置在鍍膜室內(nèi)的隔板，隔板上設(shè)置有玻璃通道，其特征在于所述隔板將鍍膜室分割成若干個大小相等的腔室，每個腔室上都設(shè)置有蓋板安裝孔，隔板上設(shè)置有若干個通氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述蓋板安裝孔大小均相寸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種能方便適用于多種膜系真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線的鍍膜工藝室的結(jié)構(gòu)，包括鍍膜室及設(shè)置在鍍膜室內(nèi)的隔板，隔板上設(shè)置有玻璃通道，所述隔板將鍍膜室分割成若干個大小相等的腔室，每個腔室上都設(shè)置有蓋板安裝孔，隔板上設(shè)置有若干個通氣孔。本發(fā)明適用于生產(chǎn)真空鍍膜玻璃。
文檔編號C23C14/24GK101942647SQ20101013472
公開日2011年1月12日 申請日期2010年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月9日
發(fā)明者黃峰 申請人:黃峰