專利名稱：管道加熱保溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種加熱保溫裝置，尤其涉及一種管道加熱保溫裝置。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相淀積(CVD)是通過氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面淀積一層固體膜的工藝。在進(jìn)行化學(xué)氣相淀積時(shí)，首要的步驟是將反應(yīng)氣體傳輸至淀積區(qū)域，也就是說將反應(yīng)氣體通過管道傳輸?shù)焦杵砻娴牡矸e區(qū)域。通常這些反應(yīng)氣體在常溫時(shí)是液態(tài)的。因此， 要使得反應(yīng)氣體在輸送過程中保持氣態(tài)，需要使得該反應(yīng)氣體在被輸送的過程中具有足夠高的溫度。而這是通過對反應(yīng)氣體的管道進(jìn)行加熱并保溫來實(shí)現(xiàn)的，具體可通過管道加熱保溫裝置來實(shí)現(xiàn)?，F(xiàn)有的管道加熱保溫裝置如下采用比較軟質(zhì)的類似海綿的保溫層，通過搭扣裹在該管道表面，在該保溫層中設(shè)有外接電源的加熱金屬絲。然而，長期使用后，部分搭扣會產(chǎn)生松動，使得保溫層的部分位置與管道的間隙過大。經(jīng)長期使用發(fā)現(xiàn)，尤其在管道的轉(zhuǎn)彎或分流處的保溫層上的搭扣更加容易發(fā)生松動現(xiàn)象。另外，由于熱脹冷縮的作用，也會導(dǎo)致保溫層和管道之間間隙過大現(xiàn)象的產(chǎn)生。而當(dāng)間隙過大時(shí)，容易使得該部位加熱金屬絲干燒，以致加熱金屬絲燒毀，而且當(dāng)該間隙過大時(shí)，加熱金屬絲的熱量不能及時(shí)有效地傳輸?shù)焦艿乐?，致使管道?nèi)的反應(yīng)氣體溫度下降，不能及時(shí)地輸送到硅片表面的淀積區(qū)域，造成產(chǎn)品良率的下降甚至是生產(chǎn)的停頓，從而造成不可挽回的損失。因此，如何提供一種可以確保保溫層和管道緊密貼合的管道加熱保溫裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種管道加熱保溫裝置，可以使得保溫箱(即保溫箱)和管道緊密貼合，確保保溫箱的熱量及時(shí)傳到管道，同時(shí)防止保溫箱干燒現(xiàn)象發(fā)生。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種管道加熱保溫裝置，所述管道用于輸送氣體，所述管道加熱保溫裝置包括保溫箱，所述保溫箱內(nèi)設(shè)有供管道穿越的通道，所述保溫箱內(nèi)還設(shè)有加熱金屬絲，所述加熱金屬絲設(shè)于所述通道的側(cè)邊并隨通道延伸，所述加熱金屬絲外接電源。所述保溫箱包括上箱體和下箱體，所述上箱體和下箱體固定裝配在一起。所述上箱體和下箱體的對接面分別設(shè)有對應(yīng)的溝槽，上箱體和下箱體裝配時(shí)對應(yīng)的溝槽組成所述通道。所述保溫箱的形狀和內(nèi)部的通道相匹配。 所述通道是“一”字型通道或“十”字型通道或“丁”字型通道或直角轉(zhuǎn)彎型通道中的一個(gè)或任意組合。所述保溫箱采用硬質(zhì)保溫材料。所述保溫箱采用擠塑聚苯板或聚氨酯發(fā)泡板。[0014]所述保溫箱內(nèi)設(shè)有溫度傳感器。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過采用保溫箱，并在保溫箱內(nèi)開設(shè)大小與管道的相匹配的通道，可以確保保溫箱和管道貼合在一起，避免保溫箱和管道之間存在間隙，從而可以確保保溫箱內(nèi)的加熱金屬絲的熱量及時(shí)地傳導(dǎo)到管道，進(jìn)而， 確保管道內(nèi)的反應(yīng)氣體具有足夠高的溫度并能及時(shí)地輸送到硅片表面的淀積區(qū)域，保證生產(chǎn)的順利、穩(wěn)定進(jìn)行。另外，當(dāng)保溫箱和管道貼合在一起時(shí)，也可以防止加熱金屬絲因熱量無法快速散出而發(fā)生燒毀現(xiàn)象。

本實(shí)用新型的管道加熱保溫裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的保溫箱組裝立體示意圖。圖3為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的加熱金屬絲和通道的分布示意圖。圖中，1-保溫箱、11-上箱體、12-下箱體、2-加熱金屬絲、3-管道、4_螺釘、5_通道、51-溝槽、6-螺釘孔。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的管道加熱保溫裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡緦?shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請參閱圖1至圖3，其中，圖1為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2 為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的保溫箱組裝立體示意圖，圖3為本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置的加熱金屬絲和通道的分布示意圖。這種管道加熱保溫裝置，所述管道3用于輸送氣體，所述管道加熱保溫裝置包括保溫箱1，所述保溫箱1內(nèi)設(shè)有供氣體管道3穿越的通道5，所述通道5的內(nèi)徑和所述管道 3的外徑大小匹配，所述保溫箱1內(nèi)還設(shè)有加熱金屬絲2，所述加熱金屬絲2設(shè)于所述通道 5的側(cè)邊并隨通道5延伸，所述加熱金屬絲2外接電源。所述保溫箱1包括上箱體11和下箱體12，所述上箱體11和下箱體12固定裝配在一起。上箱體11和下箱體12可以通過螺釘4固定連接，相應(yīng)地，在上箱體11和下箱體12 的對應(yīng)位置需開設(shè)若干供螺釘4穿越的螺釘孔6。所述上箱體11和下箱體12的對接面分別設(shè)有對應(yīng)的溝槽51，上箱體11和下箱體 12裝配時(shí)對應(yīng)的溝槽51組成所述通道5。所述保溫箱1的形狀和其內(nèi)部的通道5相匹配。所述通道5是“一”字型通道或 “十”字型通道或“丁”字型通道或直角轉(zhuǎn)彎型通道中的一個(gè)或任意組合。也就是說，所述通道可以是“一”字型通道，所述保溫箱相應(yīng)呈“一”字型狀；所述通道也可以是“丁”字型通道，所述保溫箱相應(yīng)呈“丁”型狀；所述通道也可以是“十”字型通道，所述保溫箱相應(yīng)呈 “十”型狀；所述通道也可以是直角轉(zhuǎn)彎型通道，所述保溫箱相應(yīng)呈直角轉(zhuǎn)彎型狀；所述通道也可以是由“一”字型通道、“丁”字型通道和“十”字型通道、直角轉(zhuǎn)彎型通道中兩種或三種或四種之間任意組合連接而成。本實(shí)施例中，所述通道5是由一個(gè)“一”字型通道和一個(gè) “丁”字型通道連接組成。本實(shí)施例中，所述保溫箱1內(nèi)還可以設(shè)有溫度傳感器(未圖示)。所述溫度傳感器用于向操作員所在的監(jiān)控中心實(shí)時(shí)傳輸管道3周圍的溫度狀況。所述保溫箱1采用硬質(zhì)保溫材料，如擠塑聚苯板或聚氨酯發(fā)泡板等等。對于用擠塑聚苯板制成的保溫箱，由于擠塑聚苯板主要以聚苯乙烯為原料制成，而聚苯乙烯原本就是極佳的低導(dǎo)熱原料，再輔以擠塑成型，可以形成緊密的蜂窩結(jié)構(gòu)，就更能有效地阻止熱傳導(dǎo)，其導(dǎo)熱系數(shù)為0. 028ff/m ·Κ。因此，由擠塑聚苯板制成的保溫箱1具有高熱阻、低線性膨脹率的特性。另外，其還具有優(yōu)越的防潮性和防腐蝕性。對于用聚氨酯發(fā)泡板制成的保溫箱，具有容量輕、強(qiáng)度高、絕熱、隔音、阻燃、耐寒、防腐、不吸水、施工簡便快捷等優(yōu)異特點(diǎn)。 當(dāng)然，還有很多其他種類的硬質(zhì)保溫材料，在此不再贅述了。本實(shí)用新型管道加熱保溫裝置，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過采用保溫箱，并在保溫箱內(nèi)開設(shè)大小與管道的相匹配的通道，可以確保保溫箱和管道貼合在一起，避免保溫箱和管道之間存在間隙，從而可以確保保溫箱內(nèi)的加熱金屬絲的熱量及時(shí)地傳導(dǎo)到管道，進(jìn)而， 確保管道內(nèi)的反應(yīng)氣體具有足夠高的溫度并能及時(shí)地輸送到硅片表面的淀積區(qū)域，保證生產(chǎn)的順利、穩(wěn)定進(jìn)行。另外，當(dāng)保溫箱和管道貼合在一起時(shí)，也可以防止加熱金屬絲因熱量無法快速散出而發(fā)生燒毀現(xiàn)象。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種管道加熱保溫裝置，所述管道用于輸送氣體，其特征在于，所述管道加熱保溫裝置包括保溫箱，所述保溫箱內(nèi)設(shè)有供所述管道穿越的通道，所述通道的內(nèi)徑和所述管道的外徑大小匹配，所述保溫箱內(nèi)還設(shè)有加熱金屬絲，所述加熱金屬絲設(shè)于所述通道的側(cè)邊并隨通道延伸，所述加熱金屬絲外接電源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述保溫箱包括上箱體和下箱體，所述上箱體和下箱體固定裝配在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述上箱體和下箱體的對接面分別設(shè)有對應(yīng)的溝槽，上箱體和下箱體裝配時(shí)對應(yīng)的溝槽組成所述通道。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述保溫箱的形狀和其內(nèi)部的通道相匹配。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述通道是“一”字型通道或 “十”字型通道或“丁”字型通道或直角轉(zhuǎn)彎型通道中的一個(gè)或任意組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述保溫箱采用硬質(zhì)保溫材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述保溫箱采用擠塑聚苯板或聚氨酯發(fā)泡板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述管道加熱保溫裝置，其特征在于所述保溫箱內(nèi)還設(shè)有溫度傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種管道加熱保溫裝置。這種管道加熱保溫裝置包括保溫箱，所述保溫箱內(nèi)設(shè)有供氣體管道穿越的通道，通道的內(nèi)徑和管道的外徑大小匹配，所述保溫箱內(nèi)還設(shè)有加熱金屬絲，所述加熱金屬絲設(shè)于所述通道的側(cè)邊并隨通道延伸，所述加熱金屬絲外接電源。本實(shí)用新型通過采用保溫箱，并在保溫箱內(nèi)開設(shè)大小與管道的相匹配的通道，可避免保溫箱和管道之間存在間隙，從而可以確保保溫箱內(nèi)的加熱金屬絲的熱量及時(shí)地傳導(dǎo)到管道，進(jìn)而，確保管道內(nèi)的反應(yīng)氣體具有足夠高的溫度并能及時(shí)地輸送到硅片表面的淀積區(qū)域，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。另外，保溫箱和管道貼合在一起，也可以防止加熱金屬絲因熱量無法快速散出而發(fā)生燒毀現(xiàn)象。
文檔編號C23C16/455GK201999989SQ20112003208
公開日2011年10月5日 申請日期2011年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月28日
發(fā)明者許亮 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司