專利名稱：旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，更具體地，涉及一種被構(gòu)造成使得玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，從而改進(jìn)形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。
背景技術(shù)：
通常，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)是作為下一代顯示裝置而引起廣泛關(guān)注的自發(fā)光裝置。OLED具有很多優(yōu)點(diǎn)，諸如，比相片(photograph)質(zhì)量更高的圖像質(zhì)量、寬視角、幾乎沒有死視角(dead viewing angle)、減小為LCD的1/3的厚度、低功耗以及大約是IXD的1/1000的快速響應(yīng)時(shí)間。因此，利用OLED來產(chǎn)生高質(zhì)量的視頻等。在具有上述特征的OLED中，空穴從陽極傳輸至空穴傳輸層，而電子從陰極傳輸至電子傳輸層?？昭ê碗娮釉谠O(shè)置于空穴傳輸層與電子傳輸層之間的發(fā)光層中彼此重新結(jié)合，從而產(chǎn)生電子空穴對(duì)(激子)。得自于電子空穴對(duì)的能量產(chǎn)生特定波長的光。典型地，有機(jī)薄膜層(諸如空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層等)的形成包括:在高真空隔間(booth)中使坩堝(crucible)中所包含的有機(jī)材料蒸發(fā)，以及將蒸發(fā)的有機(jī)材料沉積到玻璃面板上。如圖1所示，在傳統(tǒng)技術(shù)中，將不同種類的有機(jī)材料供應(yīng)到設(shè)置在單個(gè)隔間10中的沉積源12a、12b和12c中。當(dāng)玻璃面板11移動(dòng)經(jīng)過隔間10時(shí)，加熱器或類似裝置加熱有機(jī)材料，使得有機(jī)材料沉積到玻璃面板11上。但是，在這種沉積方法中，由于蒸發(fā)的有機(jī)材料的自由移動(dòng)，不同種類的蒸發(fā)的有機(jī)材料在單個(gè)隔間11中隨機(jī)地沉積到玻璃面板11上，因此造成有機(jī)材料的交叉污染。為了解決這個(gè)問題，已經(jīng)嘗試了幾種方法，例如，增大沉積源之間的間距，或者在將另一種有機(jī)材料沉積到玻璃面板上之前除去殘留在隔間中的前一種有機(jī)材料。但是，不可能從隔間中完全移除殘留的前一種有機(jī)材料。而且，需要額外時(shí)間來重新調(diào)整沉積源之間的間距來適合不同種類的有機(jī)材料和從隔間去除前一種有機(jī)材料。尤其是，在近來使用大尺寸玻璃面板的情況下，形成在玻璃面板的沉積表面上的薄膜的均勻性進(jìn)一步降低。典型地，所沉積的有機(jī)材料膜的厚度必須在200人至
2000 A的范圍內(nèi)，并且厚度的均勻性必須為5%或更小。為了解決傳統(tǒng)技術(shù)中的上述問題，在題為“Deposition Apparatus (沉積設(shè)備)”的韓國專利公開出版物第10-2004-0002362號(hào)(2004年I月7日)(專利文獻(xiàn)I)中提出了一種沉積設(shè)備。具體地，在專利文獻(xiàn)I的沉積設(shè)備中，用作用于保持掩模和玻璃面板3的單元的保持架4設(shè)置在隔間的頂表面下方，并且旋轉(zhuǎn)裝置5使玻璃面板3旋轉(zhuǎn)，從而沉積在玻璃面板3上的薄膜的均勻度能夠得以提高(參照專利文獻(xiàn)I的圖4及其第5頁所描述的實(shí)施方式)。但是，專利文獻(xiàn)I的沉積設(shè)備被構(gòu)造成使得僅有玻璃面板旋轉(zhuǎn)。因此，能夠改進(jìn)薄膜均勻性的程度受到限制，并且針對(duì)有機(jī)材料的交叉污染問題沒有提出解決方案。在題為“Rotary deposition source for thin film deposition and thin filmdeposition apparatus using the same (用于薄膜沉積的旋轉(zhuǎn)式沉積源和使用該沉積源的薄膜沉積設(shè)備)”的韓國專利公開出版物第10-2008-0007820號(hào)(2008年I月23日)(專利文獻(xiàn)2)中提出了與沉積技術(shù)相關(guān)的另一種設(shè)備。具體地，在專利文獻(xiàn)2中，軸500安裝在沉積源10的下表面下方，并且沉積源10能夠圍繞軸500旋轉(zhuǎn)，從而提高了沉積在玻璃面板20上的薄膜的均勻度(參照專利文獻(xiàn)2的圖2及其第4頁的第四和第五段)。但是，在專利文獻(xiàn)2的沉積設(shè)備中，因?yàn)檎麄€(gè)沉積源10旋轉(zhuǎn)，所以操作效率降低。而且，離心力會(huì)降低玻璃面板的中心部分與其周緣之間的薄膜的均勻度。此外，專利文獻(xiàn)2的技術(shù)仍舊沒有提出針對(duì)有機(jī)材料的交叉污染問題的解決方案。[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)]1.韓國專利公開出版物第10-2004-0002362號(hào)(2004年I月7日)2.韓國專利公開出版物第10-2008-0007820號(hào)(2008年I月23日)

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問題，提出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其被·構(gòu)造成使得玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。本發(fā)明的另一目的是提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，在該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備中，多個(gè)隔間以直線型布置方式構(gòu)造，使得多個(gè)隔間順序地一個(gè)接一個(gè)地連接，并且形成薄膜的不同種類的有機(jī)材料能夠分別設(shè)置在各自的隔間中，因此防止了有機(jī)材料的交叉污染。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，一方面，本發(fā)明提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，包括:至少一個(gè)玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一個(gè)第一旋轉(zhuǎn)裝置，使玻璃面板保持架旋轉(zhuǎn)；至少一個(gè)沉積源，存儲(chǔ)沉積材料，所述沉積源將沉積材料排放到玻璃面板上；以及至少一個(gè)隔間，隔間中包含所述玻璃面板保持架、第一旋轉(zhuǎn)裝置和沉積源。該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可進(jìn)一步包括:至少一個(gè)噴嘴單元，連接至沉積源，所述噴嘴單元包括多個(gè)噴嘴，使得沉積材料通過噴嘴排放到玻璃面板上；以及至少一個(gè)第二旋轉(zhuǎn)裝置，使噴嘴單元旋轉(zhuǎn)，其中，第二旋轉(zhuǎn)裝置可使噴嘴單元沿與玻璃面板保持架的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。另一方面，本發(fā)明 提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，包括:至少一個(gè)玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一個(gè)沉積源，存儲(chǔ)沉積材料，所述沉積源將沉積材料排放到玻璃面板上；至少一個(gè)噴嘴單元，連接至沉積源，所述噴嘴單元包括多個(gè)噴嘴，使得沉積材料通過噴嘴排放到玻璃面板上；至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置，使噴嘴單元旋轉(zhuǎn)；以及至少一個(gè)隔間，隔間中包含所述玻璃面板保持架、沉積源、噴嘴單元和旋轉(zhuǎn)裝置。隔間可包括多個(gè)沉積源，每個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可包括多個(gè)隔間，每個(gè)隔間包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源可存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可包括以直線型布置方式順序地一個(gè)接一個(gè)地連接的多個(gè)隔間。在這種情況下，每個(gè)隔間可包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源可存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
沉積源可布置在隔間的底表面上，并且玻璃面板保持架可布置在隔間的頂表面下方，其中，玻璃面板可布置在沉積源與玻璃面板保持架之間。


從下面結(jié)合附圖的詳細(xì)描述中，將更清楚地理解本發(fā)明的以上和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中:圖1是示出傳統(tǒng)沉積設(shè)備的概念示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的直線型旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備的實(shí)例的概念示意圖；以及 圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備的隔間的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的實(shí)例的剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面，將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，但是，本發(fā)明絕不限制或受限于此。如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備包括玻璃面板保持架33、第一旋轉(zhuǎn)裝置36、沉積源39、第二旋轉(zhuǎn)裝置43以及高真空隔間30。玻璃面板保持架33保持并支撐玻璃面板31。第一旋轉(zhuǎn)裝置36包括驅(qū)動(dòng)單元34和軸35，該軸連接至玻璃面板保持架33，以使玻璃面板保持架33旋轉(zhuǎn)。沉積源39蒸發(fā)已經(jīng)存儲(chǔ)在內(nèi)部坩堝中的沉積材料40，使得沉積材料以蒸氣形式經(jīng)由具有預(yù)定圖案的掩模32沉積在玻璃面板31上。第二旋轉(zhuǎn)裝置43包括驅(qū)動(dòng)單元41和軸42，并且使得噴嘴單元38旋轉(zhuǎn)，該噴嘴單元具有連接至沉積源39的多個(gè)噴嘴37。在本發(fā)明中，僅第一旋轉(zhuǎn)裝置36或者僅第二旋轉(zhuǎn)裝置43可操作，并因此僅玻璃面板31或者僅噴嘴單元38能夠被旋轉(zhuǎn)。替換地，第一旋轉(zhuǎn)裝置36和第二旋轉(zhuǎn)裝置43兩者都可操作，使得玻璃面板31和噴嘴單元38同時(shí)旋轉(zhuǎn)。如果玻璃面板31和噴嘴單元38同時(shí)旋轉(zhuǎn)，優(yōu)選的是，使它們的旋轉(zhuǎn)方向相反，從而能夠盡可能地利用漩渦現(xiàn)象的效果，因此進(jìn)一步提高了蒸發(fā)的有機(jī)材料均勻地沉積在玻璃面板31上的效果。尤其是，在這種情況下，沉積在玻璃面板31上的膜的厚度的均勻度顯著提高，即使沿著通常比玻璃面板31的中心部位的均勻度差的玻璃面板31的周緣也是如此。此外，沉積源39或沉積源39的噴嘴單元38被構(gòu)造成使得它們中的任一個(gè)與玻璃面板31之間的距離是可調(diào)節(jié)的。因此，可將該距離調(diào)節(jié)至最優(yōu)距離，使得薄膜能夠以較高沉積效率均勻地形成在玻璃面板31上。在根據(jù)本發(fā)明的沉積設(shè)備的變型中，只有第一旋轉(zhuǎn)裝置36 (而不是第二旋轉(zhuǎn)裝置43)可設(shè)置在隔間30中，使得只有由玻璃面板保持架33支撐的玻璃面板31旋轉(zhuǎn)。替換地，沉積設(shè)備可被構(gòu)造成使得僅設(shè)置與第二旋轉(zhuǎn)裝置43對(duì)應(yīng)的第三旋轉(zhuǎn)裝置，而沒有第一旋轉(zhuǎn)裝置36，從而只有沉積源39的噴嘴單元38旋轉(zhuǎn)。第三旋轉(zhuǎn)裝置的詳細(xì)結(jié)構(gòu)與第二旋轉(zhuǎn)裝置43的結(jié)構(gòu)相同。在根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備中，第一至第三旋轉(zhuǎn)裝置中的每一個(gè)在隔間30中的位置不限于特定位置，只要其能夠使玻璃面板31和/或沉積源39的噴嘴單元38旋轉(zhuǎn)即可，因而能夠提高形成在玻璃面板31上的薄膜的沉積效率和均勻度。也就是說，每個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置在隔間30中的位置可以根據(jù)沉積方法而改變。例如，該方法可以是向上定向型、向下定向型或豎直型。優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備具有向上定向型結(jié)構(gòu)，其中，沉積源39設(shè)置在隔間30的底部上，玻璃面板保持架33設(shè)置在隔間的頂表面下方，并且玻璃面板31設(shè)置在沉積源39與玻璃面板保持架33之間。而且，在根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備中，第一至第三旋轉(zhuǎn)裝置中的每一個(gè)的驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力源不限于特定種類的動(dòng)力源，只要其能夠適當(dāng)?shù)乜刂撇Ａ姘?1或沉積源39的噴嘴單元38的旋轉(zhuǎn)速度即可。優(yōu)選地，動(dòng)力源是被廣泛地用作典型旋轉(zhuǎn)裝置的動(dòng)力源的電動(dòng)機(jī)。玻璃面板保持架33用來保持玻璃面板31并使其旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，玻璃面板保持架33可調(diào)節(jié)玻璃面板31與沉積源39之間的距離，并且可包括用于傳送玻璃面板31的裝置，從而可將玻璃面板傳送到另一隔間中。根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可被構(gòu)造成使得單個(gè)隔間包含:至少一個(gè)或多個(gè)玻璃面板保持架，每個(gè)玻璃面板保持架都保持玻璃面板；至少一個(gè)或多個(gè)沉積源，其存儲(chǔ)沉積材料并將沉積材料排出到相應(yīng)玻璃面板上；至少一個(gè)或多個(gè)噴嘴單元，其連接至對(duì)應(yīng)的沉積源，并且每個(gè)噴嘴單元包括多個(gè)噴嘴，從而沉積材料通過噴嘴排出；以及至少一個(gè)或多個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置，其使玻璃面板保持架或噴嘴單元旋轉(zhuǎn)。包含在單個(gè)隔間中的玻璃面板保持架、沉積源、噴嘴單元和旋轉(zhuǎn)裝置的數(shù)量不受任何限制?？紤]玻璃面板的面積、噴嘴的噴射面積、噴嘴的數(shù)量等來確定玻璃面板保持架、沉積源、噴嘴單元或旋轉(zhuǎn)裝置彼此隔開的間距。換句話說，可將玻璃面板保持架、沉積源、噴嘴單元或旋轉(zhuǎn)裝置的數(shù)量和間距的變化可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定成與生產(chǎn)效率和生產(chǎn)成本相符，只要能夠防止沉積到玻璃面板上的沉積材料互相污染即可。另外，如果在單個(gè)隔間中設(shè)置兩個(gè)或更多個(gè)沉積源，那么這些沉積源可存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可設(shè)計(jì)成，使得設(shè)置有兩個(gè)或更多個(gè)隔間，其中，每個(gè)隔間包含一個(gè)沉積源和一個(gè)玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。這種結(jié)構(gòu)可更可靠地防止沉積材料互相污染。而且，根據(jù)沉積材料的種類，沉積效率改變。因此，優(yōu)選地，根據(jù)沉積材料的種類來適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)每個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)速度和/或玻璃面板與沉積源之間的距離，使得能夠滿足薄膜的沉積效率和均勻度，并且沉積材料的損失能夠被最小化。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可包括兩個(gè)或更多個(gè)隔間60。在這種情況下，隔間60可以直線型布置方式構(gòu)造，使得它們順序地一個(gè)接一個(gè)地連接。這種直線型布置結(jié)構(gòu)可提高生產(chǎn)效率且容易適合于生產(chǎn)大尺寸玻璃面板。尤其是，在根據(jù)本發(fā)明的直線型旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備中，優(yōu)選地，每個(gè)隔間均包含沉積源和玻璃面板保持架，且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。當(dāng)然，該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備可使用單個(gè)隔間或者被構(gòu)造成利用團(tuán)簇(cluster)型，在團(tuán)簇型中，中心隔間設(shè)置在預(yù)定部位處，而其他隔間圍繞中心隔間以五邊形或六邊形布置來設(shè)置，使得玻璃面板被各個(gè)隔間依次處理。根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備也可應(yīng)用于大尺寸玻璃面板，例如，4.5代(730mmX920mm)或更高，優(yōu)選地,5.5代(1300_X 1500mm)或更高，更優(yōu)選地,8代(2200mmX2500mm)或更高。可適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)隔間的尺寸，以適合隔間中所包含的玻璃面板的尺寸和數(shù)量。

優(yōu)選地，利用根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備來制造0LED。除了利用根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備的沉積操作之外，制造OLED的一般過程與典型地用于制造OLED的過程相同。在這種制造OLED的方法中，以下述方式在潔凈的玻璃面板上形成陽極層:通過在玻璃面板上進(jìn)行濺射來沉積氧化銦錫(ITO)和金屬膜、通過光刻技術(shù)對(duì)氧化銦錫和金屬膜圖案化，并進(jìn)而對(duì)其進(jìn)行蝕刻。之后，沉積絕緣層，通過光刻技術(shù)對(duì)絕緣層進(jìn)行圖案化，并蝕刻。之后，利用蔭罩板(shadow mask)形成陰極隔離器。接著,將分別形成OLED的空穴傳輸層、發(fā)光層和電子傳輸層的不同種類的有機(jī)材料供應(yīng)到例如根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備的高真空隔間中的對(duì)應(yīng)坩堝中。之后，設(shè)置在沉積源中的加熱器順序地加熱和蒸發(fā)有機(jī)材料，使得蒸發(fā)的有機(jī)材料順序地沉積到玻璃面板的相應(yīng)表面上，從而一個(gè)接一個(gè)地形成上述的有機(jī)材料層。在該過程期間，玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)，使得蒸發(fā)的有機(jī)材料能夠通過漩渦現(xiàn)象而均勻地沉積到玻璃面板的整個(gè)區(qū)域上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。在形成有機(jī)材料層之后，利用蔭罩板沉積金屬膜，從而形成陰極層。之后，執(zhí)行密封程序，從而完成OLED。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備被構(gòu)造成使得玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)，從而蒸發(fā)的有機(jī)材料能夠通過漩渦現(xiàn)象均勻地沉積到玻璃面板的整個(gè)區(qū)域上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。尤其是，本發(fā)明能夠顯著地提高玻璃面板周緣上的薄膜的均勻度，通常玻璃面板周緣上的薄膜均勻度比玻璃面板中心部位的均勻度差。能夠?qū)⒉Ａ姘迮c沉積源之間的距離調(diào)節(jié)至最優(yōu)距離，使得薄膜能夠以較高的沉積效率均勻地形成在玻璃面板上。此外，在多個(gè)隔間順序地一個(gè)接一個(gè)地連接的直線型布置結(jié)構(gòu)中，形成不同種類薄膜的有機(jī)材料單獨(dú)地布置在各個(gè)隔間中，因此防止了有機(jī)材料的交叉污染。盡管已經(jīng)為了示例性目的而公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，在不背離所附權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的范圍和實(shí)質(zhì)的情況下，各種修改、添加和替換都是可能的。`
權(quán)利要求
1.一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，包括: 至少一個(gè)玻璃面板保持架，保持玻璃面板； 至少一個(gè)第一旋轉(zhuǎn)裝置，旋轉(zhuǎn)所述玻璃面板保持架； 至少一個(gè)沉積源，存儲(chǔ)沉積材料，所述沉積源將所述沉積材料排放到所述玻璃面板上；以及 至少一個(gè)隔間，所述隔間中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋轉(zhuǎn)裝置和所述沉積源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，進(jìn)一步包括:至少一個(gè)噴嘴單元，連接至所述沉積源，所述噴嘴單元包括多個(gè)噴嘴，使得所述沉積材料通過所述噴嘴排放到所述玻璃面板上；以及 至少一個(gè)第二旋轉(zhuǎn)裝置，使所述噴嘴單元旋轉(zhuǎn)， 其中，所述第二旋轉(zhuǎn)裝置使所述噴嘴單元沿與所述玻璃面板保持架的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述隔間包括多個(gè)沉積源，每個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備包括多個(gè)隔間，每個(gè)隔間均包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備包括以直線型布置方式順序地一個(gè)接一個(gè)地連接的多個(gè)隔間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，每個(gè)所述隔間包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述沉積源布置在所述隔間的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔間的頂表面下方， 其中，所述玻璃面板布置在所述沉積源與所述玻璃面板保持架之間。
8.一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，包括: 至少一個(gè)玻璃面板保持架，保持玻璃面板； 至少一個(gè)沉積源，存儲(chǔ)沉積材料，所述沉積源將所述沉積材料排放到所述玻璃面板上； 至少一個(gè)噴嘴單元，連接至所述沉積源，所述噴嘴單元包括多個(gè)噴嘴，使得所述沉積材料通過所述噴嘴排放到所述玻璃面板上； 至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置，使所述噴嘴單元旋轉(zhuǎn)；以及 至少一個(gè)隔間，所述隔間中包含所述玻璃面板保持架、所述沉積源、所述噴嘴單元和所述旋轉(zhuǎn)裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述隔間包括多個(gè)沉積源，每個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備包括多個(gè)隔間，每個(gè)隔間均包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備包括以直線型布置方式順序地一個(gè)接一個(gè)地連接的多個(gè)隔間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，每個(gè)所述隔間包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個(gè)隔間的各個(gè)沉積源存儲(chǔ)不同種類的沉積材料。
13.根據(jù)權(quán)利要求3的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其中，所述沉積源布置在所述隔間的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔間的頂表面下方， 其中，所述玻璃面板布置在所述沉積源與所述玻璃面板保持架之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其包括至少一個(gè)玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一個(gè)第一旋轉(zhuǎn)裝置，旋轉(zhuǎn)玻璃面板保持架；至少一個(gè)沉積源，存儲(chǔ)沉積材料，沉積源將沉積材料排放到玻璃面板上；以及至少一個(gè)隔間，隔間中包含玻璃面板保持架、第一旋轉(zhuǎn)裝置和沉積。本發(fā)明能夠顯著地提高通常比玻璃面板中心部位的均勻度差的玻璃面板周緣上的薄膜的均勻度。此外，可將玻璃面板與沉積源之間的距離調(diào)節(jié)至最優(yōu)距離，使得薄膜能夠以較高的沉積效率均勻地形成在玻璃面板上。而且，在多個(gè)隔間順序地一個(gè)接一個(gè)地連接的直線型布置結(jié)構(gòu)的情況中，形成不同種類薄膜的有機(jī)材料分別布置在各個(gè)隔間中，因此防止了有機(jī)材料的交叉污染。
文檔編號(hào)C23C14/24GK103074578SQ20121027979
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月26日
發(fā)明者馬浩烈, 李載昱 申請(qǐng)人:塔工程有限公司