本發(fā)明涉及一種新型的氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)的運輸裝置，該裝置亦可用于氦氣檢漏、保壓的操作平臺使用。屬于半導體設(shè)備應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導體設(shè)備中需要反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)來輸送氣體，在反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)到貨后，運至潔凈間的過渡間，需要將反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)運送到指定工位進行氦氣檢漏及保壓測試。到貨檢驗合格后再運送反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)將其安裝在機臺的工位上。

反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)的平均重量一般在40kg左右，且里面所安裝的都是精密的器件，要求具有穩(wěn)定的搬運環(huán)境并必須保證系統(tǒng)的安全。長期以來，此種反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)并沒有專用的運輸裝置，無專門用于搬運的把手等方便搬運的設(shè)計，以人力搬運或用叉車搬運極易造成反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)不同程度的損傷，包括掉漆，內(nèi)部元件的松動等意外情況的發(fā)生。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有的氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)無專用運輸裝置，而對系統(tǒng)容易造成損傷的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：一種氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)的運輸裝置，該運輸裝置的主體包括設(shè)有推手的機架。

進一步地，機架的上板設(shè)有膠墊，膠墊上制有一孔與氣控箱相通；

進一步地，機架的前底部設(shè)有腳輪；

進一步地，機架的后底部設(shè)有萬向輪，與萬向輪相對應(yīng)的部位設(shè)有剎車。

所述腳輪和萬向輪各設(shè)兩個。

反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)到貨后需對其進行一系列的檢驗，檢驗合格后搬運安裝于設(shè)備上。在對氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)做氦氣檢漏及保壓的過程中，氣控箱可起到氣體集中控制系統(tǒng)內(nèi)隔膜閥的作用，使氣體通暢。

本發(fā)明的有益效果及特點：結(jié)構(gòu)合理，由于采用了萬向輪，可使在運輸?shù)倪^程中隨時轉(zhuǎn)向。到達工位后，可使用剎車裝置，對整個系統(tǒng)實現(xiàn)控制，使其無法移動，保證系統(tǒng)安全。在做氦氣檢漏、氮氣保壓的過程中，使用氣控箱對系統(tǒng)內(nèi)的隔膜閥進行開關(guān)控制。由于裝置的放置面較大，可滿足不同規(guī)格的氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)在到貨時檢驗及運輸?shù)囊蟆？蓮V泛應(yīng)用于半導體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中零件標號分別代表:

1、氣控箱；2、膠墊；3、推手；4、機架；5、剎車；6、萬向輪；7、腳輪。

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明。

具體實施方式

實施例

參照圖1，一種氣相沉積設(shè)備反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)的運輸裝置，該運輸裝置的主體包括設(shè)有推手3的機架4。所述機架4的上板設(shè)有膠墊2，膠墊2上制有一孔與氣控箱1相通；所述機架4的前底部設(shè)有腳輪7；所述機架4的后底部設(shè)有萬向輪6，與萬向輪6相對應(yīng)的部位設(shè)有剎車5。

所述腳輪7和萬向輪6各設(shè)兩個。

使用時，將剎車踩下，將反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)8搬運至運輸裝置上并固定。打開剎車5，操作人員手推推手3，運輸?shù)街付üの弧４蜷_反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)8的箱門，連接氣控箱及反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)8中的隔膜閥，連接氦氣檢漏儀，進行氦氣檢漏。當檢漏合格后，接通氮氣，同時控制氣控箱，做氮氣保壓工裝。當保壓合格后，可推放在指定工位，踩下剎車，使系統(tǒng)固定?；蛲扑椭翙C臺，踩下剎車，將反應(yīng)氣體集中控制系統(tǒng)安裝在設(shè)備上。