1.一種用于執(zhí)行等離子體化學(xué)氣相沉積工藝的方法，包括以下步驟：
提供設(shè)備，該設(shè)備包括大體上為圓柱形的共振器，該共振器具備外圓柱壁，該外圓柱壁包圍圍繞圓柱軸線沿圓周方向延伸的共振腔，該共振器還具備在圓柱方向限界共振腔的側(cè)壁部分，并且具備在沿圓周方向圍繞圓柱軸線延伸的狹縫結(jié)構(gòu)，該狹縫結(jié)構(gòu)提供從共振腔徑向向內(nèi)的入口，其中該狹縫結(jié)構(gòu)包括在圓柱方向相互偏移的多個(gè)狹縫部分，
將襯底管從所述共振腔徑向向內(nèi)地容納在管狀內(nèi)部空間中，
將微波注入到所述共振腔中，以及
使所述襯底管相對(duì)于所述共振器的圓柱軸線旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括使所述共振器在圓柱方向、沿所述襯底管往復(fù)移動(dòng)的步驟。