本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電材料
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉膜裝置。
背景技術(shù)：
：由于半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，制備高質(zhì)量的半導(dǎo)體薄膜工藝變得越來越重要，因此，化學(xué)氣相沉膜裝置在沉積半導(dǎo)體薄膜材料中得到了廣泛的應(yīng)用。其中，化學(xué)氣相沉膜裝置在進(jìn)行t/c(transferchamber，傳遞腔體)保養(yǎng)維修后，需要對傳遞腔體進(jìn)行氦氣測漏檢測，來確認(rèn)是否可以進(jìn)入復(fù)機(jī)程序。在氦氣測漏檢測的過程中，先將傳遞腔體抽到真空，再連接氦氣測漏儀，從傳遞腔體外部使用氦氣進(jìn)行檢測。另外，還可以使用設(shè)備工作站內(nèi)的功能進(jìn)行保壓測漏ror(riseofrate)，即，將傳遞腔體抽到真空后，關(guān)閉閥門，進(jìn)行十分鐘保壓，若檢測到傳遞腔體內(nèi)部的壓強(qiáng)小于1mtorr(毫托)，則表示傳遞腔體無漏氣，可以復(fù)機(jī)。因?yàn)閭鬟f腔體本身的容積較大，當(dāng)需要進(jìn)行測漏檢測時(shí)，對傳遞腔體(t/c)進(jìn)行抽真空需要耗時(shí)大約五十分鐘，這將影響保養(yǎng)維修后復(fù)機(jī)的工作時(shí)間。因此，需要提供一種能夠快速復(fù)機(jī)的化學(xué)氣相沉膜裝置。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的主要目的是提供一種化學(xué)氣相沉膜裝置，旨在解決對承載腔體進(jìn)行抽真空耗時(shí)較長而影響復(fù)機(jī)時(shí)間的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的化學(xué)氣相沉膜裝置包括：制程腔體，所述制程腔體用于對基板進(jìn)行化學(xué)氣相沉膜；傳遞腔體，所述傳遞腔體用于將所述基板傳入所述制程腔體內(nèi)；承載腔體，所述承載腔體用于將所述基板傳入所述傳遞腔體內(nèi)；第一真空泵，所述第一真空泵用于對所述傳遞腔體進(jìn)行抽真空；第二真空泵，所述第二真空泵用于對所述承載腔體進(jìn)行抽真空；以及，連通管路，所述傳遞腔體與所述第二真空泵還通過所述連通管路連接?？蛇x地，所述傳遞腔體與所述第一真空泵通過第一排氣管路連接，且所述承載腔體與所述第二真空泵通過第二排氣管路連接?？蛇x地，所述第一排氣管路的兩端分別設(shè)置有第一伸縮管路，所述第二排氣管路的兩端分別設(shè)置有第二伸縮管路，所述傳遞腔體與所述第一真空泵分別通過所述第一伸縮管路與所述第一排氣管路連接，所述承載腔體與所述第二真空泵分別通過所述第二伸縮管路與所述第二排氣管路連接?？蛇x地，所述第一排氣管路的外徑為12cm～18cm，所述第二排氣管路的外徑為8cm～12cm?？蛇x地，所述連通管路的一端與所述第一排氣管路連通且所述連通管路的另一端與所述第二排氣管路連通?？蛇x地，所述連通管路的外徑為3cm～7cm?？蛇x地，所述連通管路上設(shè)置有連通閥門?？蛇x地，所述連通閥門為球閥、蝶閥或者閘閥?？蛇x地，所述連通閥門為手動(dòng)截止閥、電動(dòng)截止閥或者液控截止閥?？蛇x地，所述第二真空泵的數(shù)量為多個(gè)。本發(fā)明技術(shù)方案中，充分利用對承載腔體進(jìn)行抽真空的第二真空泵，通過在傳遞腔體與第二真空泵之間增設(shè)連通管路進(jìn)行連接，以使得第一真空泵與第二真空泵能夠同時(shí)對傳遞腔體進(jìn)行抽真空，可以加快對傳遞腔體進(jìn)行抽真空的速度，因而，縮短了保養(yǎng)后進(jìn)行抽真空的時(shí)間，以提早實(shí)現(xiàn)復(fù)機(jī)。并且，同時(shí)采用第一真空泵與第二真空泵對傳遞腔體進(jìn)行抽真空，可以減少抽真空時(shí)間。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)氣相沉膜裝置的結(jié)構(gòu)模塊圖；圖2本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)氣相沉膜裝置的部分結(jié)構(gòu)的示意圖。附圖標(biāo)號說明：標(biāo)號名稱標(biāo)號名稱101傳遞腔體102第一真空泵103承載腔體104第二真空泵105第一伸縮管路106第二伸縮管路107第一排氣管路108第二排氣管路109連通管路110連通閥門111第一閥門112第二閥門本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。具體實(shí)施例下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。需要說明，本發(fā)明實(shí)施例中所有方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后……)僅用于解釋在某一特定姿態(tài)(如附圖所示)下各部件之間的相對位置關(guān)系、運(yùn)動(dòng)情況等，如果該特定姿態(tài)發(fā)生改變時(shí)，則該方向性指示也相應(yīng)地隨之改變。另外，在本發(fā)明中如涉及“第一”、“第二”等的描述僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“連接”、“固定”等應(yīng)做廣義理解，例如，“固定”可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。另外，本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例之間的技術(shù)方案可以相互結(jié)合，但是必須是以本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)為基礎(chǔ)，當(dāng)技術(shù)方案的結(jié)合出現(xiàn)相互矛盾或無法實(shí)現(xiàn)時(shí)應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種技術(shù)方案的結(jié)合不存在，也不在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。本發(fā)明提出一種化學(xué)氣相沉膜裝置，旨在解決對承載腔體進(jìn)行抽真空耗時(shí)較長而影響復(fù)機(jī)時(shí)間的問題。請參照圖1和圖2，在本發(fā)明一種實(shí)施例中，化學(xué)氣相沉膜裝置包括用于對基板進(jìn)行化學(xué)氣相沉膜的制程腔體、用于將基板傳入制程腔體內(nèi)的傳遞腔體101、用于將物料傳入傳遞腔體101內(nèi)的承載腔體103、用于對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空的第一真空泵102以及用于對承載腔體103進(jìn)行抽真空的第二真空泵104，傳遞腔體101與第二真空泵104還通過連通管路109連接。其中，承載腔體103是唯一需要進(jìn)行大氣與真空切換的腔體，在生產(chǎn)過程中承載腔體103位于傳遞腔體101的上游，是基板由大氣進(jìn)入到真空的傳遞腔體101內(nèi)的暫放區(qū)間。并且，傳遞腔體101內(nèi)設(shè)置有真空機(jī)械手臂(未圖示)，其用于將基板傳送到制程腔體內(nèi)。制程腔體是化學(xué)氣相沉膜的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，傳送到制程腔體內(nèi)的基板能夠在制程腔體內(nèi)進(jìn)行化學(xué)氣相沉膜而完成顯示面板的絕緣層、半導(dǎo)體層以及保護(hù)層等的制程。其中，制程腔體設(shè)置有用于向制程腔體內(nèi)供氣的進(jìn)氣管和在沉膜工藝完成后將制程腔體內(nèi)的氣體排出的排氣管，以使得化學(xué)氣相沉膜所需要的氣體能夠供應(yīng)到制程腔體內(nèi)，從而使化學(xué)氣相沉膜得以進(jìn)行。此外，制程腔體上還設(shè)置有壓力計(jì)和加熱器等輔助元件，壓力計(jì)能夠?qū)χ瞥糖惑w內(nèi)的壓力進(jìn)行監(jiān)控，加熱器能夠使制程腔體內(nèi)部快速達(dá)到反應(yīng)溫度，以保證化學(xué)氣相沉膜的順利進(jìn)行。在該實(shí)施例中，充分利用對承載腔體103進(jìn)行抽真空的第二真空泵104，通過在傳遞腔體101與第二真空泵104之間增設(shè)連通管路109進(jìn)行連接，以使得第一真空泵102與第二真空泵104能夠同時(shí)對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空，可以加快對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空的速度，因而，縮短了保養(yǎng)后進(jìn)行抽真空的時(shí)間，以提早實(shí)現(xiàn)復(fù)機(jī)。在某些實(shí)施方式中，同時(shí)采用第一真空泵102與第二真空泵104對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空，可以減少大概十五分鐘的抽真空時(shí)間。其中，在上述實(shí)施例中，傳遞腔體101與第一真空泵102可通過第一排氣管路107連接，且承載腔體103與第二真空泵104可通過第二排氣管路108連接，各個(gè)部件通過相應(yīng)的管路進(jìn)行穩(wěn)定連接，以保證傳遞腔體101和承載腔體103的真空度，使得化學(xué)氣相沉膜工藝能夠順利進(jìn)行。然而，考慮各個(gè)部件在組裝時(shí)會(huì)受到空間的限制，在可選的實(shí)施例中，使排氣管路上設(shè)置有伸縮管路，從而能夠根據(jù)待安裝部件的位置調(diào)整伸縮管路的長度，克服空間限制的問題來完成組裝。具體地，第一排氣管路107的兩端分別設(shè)置有第一伸縮管路105，第二排氣管路108的兩端分別設(shè)置有第二伸縮管路106，傳遞腔體101與第一真空泵102分別通過第一伸縮管路105與第一排氣管路107連接，承載腔體103與第二真空泵104分別通過第二伸縮管路106與第二排氣管路108連接。其中，第一伸縮管路105與第二伸縮管路106均可伸縮和彎曲，從而擴(kuò)大傳遞腔體101與第一真空泵102之間連接以及承載腔體103與第二真空泵104之間連接的適應(yīng)范圍，以降低各部件組裝時(shí)對空間的要求。其中，上述實(shí)施例中的第一伸縮管路105與第二伸縮管路106均可以為伸縮節(jié)，具體可為波紋伸縮節(jié)、套筒伸縮節(jié)或者方形自然補(bǔ)償伸縮節(jié)等。此外，為了進(jìn)一步提升對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空的速度，第二真空泵104的數(shù)量可以設(shè)置為多個(gè)，從而有多個(gè)第二真空泵104跟第一真空泵102一起工作，完成對傳遞腔體101的抽真空。具體的安裝方式為，第二排氣管路108的一端分支出多個(gè)分支管路，各個(gè)分支管路上均設(shè)置伸縮管路，以使得各個(gè)分支管路均能夠通過伸縮管路與多個(gè)第二真空泵104一一對應(yīng)地連接。在化學(xué)氣相沉膜裝置正常工作時(shí)，多個(gè)第二真空泵104相互配合，從而共同維持承載腔體103的真空狀態(tài)，提升化學(xué)氣相沉膜裝置的可靠性，即使其中部分第二真空泵104因故障不能工作，也不會(huì)影響化學(xué)氣相沉膜裝置的工作進(jìn)程。而在進(jìn)行檢修時(shí)，多個(gè)第二真空泵104又能夠起到大幅度縮短傳遞腔體101的抽真空時(shí)間的作用，因而可以充分利用第二真空泵104的性能。作為一種可選實(shí)施例，第一排氣管路107的外徑可為12cm～18cm，第二排氣管路108的外徑可為8cm～12cm。在某些實(shí)施例中，第一排氣管路107的外徑可為6寸，即，15cm左右，第二排氣管路108的外徑可為4寸，即，10cm左右。與此同時(shí)，連通管路109的外徑可以為3cm～7cm，并可選為2寸，即，5cm左右。如圖1所示，連通管路109的一端與第一排氣管路107連通且連通管路109的另一端與第二排氣管路108連通，從而使得第一真空泵102與第二真空泵104能夠同時(shí)對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空，可以加快對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空的速度。而為了適應(yīng)化學(xué)氣相沉膜裝置的各個(gè)工藝過程，連通管路109上設(shè)置有連通閥門110。在需要第一真空泵102與第二真空泵104同時(shí)對傳遞腔體101進(jìn)行抽真空時(shí)，打開連通閥門110，使第二真空泵104與傳遞腔體101之間形成連通的抽真空路徑，幫助傳遞腔體101快速完成抽真空，從而使化學(xué)氣相沉膜裝置能夠盡快復(fù)機(jī)并開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉膜。當(dāng)化學(xué)氣相沉膜裝置進(jìn)行正常工作時(shí)，關(guān)閉連通閥門110，使得傳遞腔體101與承載腔體103分別執(zhí)行各自的功能，而不會(huì)相互影響。其中，連通閥門110的形式可以有多種，只要能夠使連通管路109實(shí)現(xiàn)連通與斷開的功能即可。例如，根據(jù)結(jié)構(gòu)來分，連通閥門110可以為球閥、蝶閥或者閘閥等，或者，根據(jù)控制方式來分，連通閥門110可以為手動(dòng)截止閥、電動(dòng)截止閥或者液控截止閥等，這些不同結(jié)構(gòu)或者不同控制方式的連通閥門110均可以適應(yīng)于本發(fā)明的技術(shù)方案，用戶可以根據(jù)自己的實(shí)際情況選擇合適的連通閥門110。此外，為了便于對第一排氣管路107和第二排氣管路108進(jìn)行控制，第一排氣管路107上設(shè)置有第一閥門111，而第二排氣管路108上設(shè)置有第二閥門112，而第一閥門111和第二閥門112的結(jié)構(gòu)或者控制方式可以與連通閥門110的結(jié)構(gòu)或者控制方式相同或者不同。以上所述僅為本發(fā)明的可選實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是在本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思下，利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，或直接/間接運(yùn)用在其他相關(guān)的
技術(shù)領(lǐng)域：
均包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。當(dāng)前第1頁12