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一種金剛石涂層刀具生長(zhǎng)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12430851閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種金剛石涂層刀具生長(zhǎng)裝置,包括真空室(8)、升降基片臺(tái)(2)和熱絲裝置(6),其特征是:在真空室(8)內(nèi)設(shè)有立式放置的升降基片臺(tái)(2),在升降基片臺(tái)(2)的一側(cè)設(shè)有與升降基片臺(tái)(2)并排設(shè)置的熱絲裝置(6),在熱絲裝置(6)的兩端分別設(shè)有水冷電極(3),在升降基片臺(tái)(2)的另一側(cè)中部設(shè)有磁流體(7),在真空室(8)內(nèi)分別設(shè)有進(jìn)氣系統(tǒng)(4)和抽氣系統(tǒng)(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石涂層刀具生長(zhǎng)裝置,其特征是:所述抽氣系統(tǒng)(5)的外端與真空泵連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石涂層刀具生長(zhǎng)裝置,其特征是:在真空室(8)的一側(cè)設(shè)有前開(kāi)門(1)。

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