技術總結
一種金剛石涂層刀具生長裝置，涉及一種刀具生長裝置，包括真空室（8）、升降基片臺（2）和熱絲裝置（6），在真空室（8）內設有立式放置的升降基片臺（2），在升降基片臺（2）的一側設有與升降基片臺（2）并排設置的熱絲裝置（6），在熱絲裝置（6）的兩端分別設有水冷電極（3），在升降基片臺（2）的另一側中部設有磁流體（7），在真空室（8）內分別設有進氣系統(tǒng)（4）和抽氣系統(tǒng)（5）；本實用新型通過設置立式放置的升降基片臺與熱絲裝置，并通過升降基片臺安裝基片及調節(jié)基片與熱絲裝置之間的距離，達到了鉭絲不下垂、沉積面積大、長時間均勻沉積的目的。

技術研發(fā)人員：鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護的技術使用者：洛陽奧爾材料科技有限公司
文檔號碼：201620783945
技術研發(fā)日：2016.07.25
技術公布日：2016.12.14