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一種鍍膜機旋轉裝置的制作方法

文檔序號:11041466閱讀:1278來源:國知局
一種鍍膜機旋轉裝置的制造方法

本實用新型涉及鍍膜機的輔助裝置,尤其涉及一種鍍膜機三盤多工位回轉分度自動選位對位裝置。



背景技術:

鍍膜機基片盤,掩膜盤一般采用實驗人員人工進行基片和掩膜的選位及對位。實驗人員選位、對位工作操作頻繁,科研工作效率低。

授權公告號為CN203613254U的中國實用新型專利公開了一種真空鍍膜機,包括真空罩和用于使真空罩內部保持真空狀態(tài)的真空系統(tǒng),真空罩內設置有傘架和蒸發(fā)源,傘架包括能夠周向轉動的轉盤和若干個工件架,工件架分別與轉盤通過各自轉軸一相連,工件架沿轉盤周向呈傘狀分布,該真空鍍膜機還包括能使工件架隨著轉盤周向轉動的同時繞轉軸一的中心線轉動的驅動機構。上述鍍膜機的蒸發(fā)源將鍍膜材料加熱蒸發(fā),鍍膜材料蒸發(fā)后向上擴散到工件架處,附著在溫度較低的待鍍膜工件上,形成薄膜,該鍍膜機的不足之處在于,蒸發(fā)源位于真空罩的底部,工件架位于真空罩的頂部,導致工件(或基片)距離蒸發(fā)源的距離較遠,因此會出現鍍膜效果不佳的問題。



技術實現要素:

為了解決現有人工選位對位不足的問題,本實用新型提供了一種能夠提高鍍膜工作效率,提高鍍膜機的自動化率,回轉分度對位速度快,定位準確可靠的鍍膜機旋轉裝置。

本實用新型的目的是通過以下方案實現:

一種鍍膜機旋轉裝置,包括包括第一軸、第一彈簧、第一頂出凸輪、第一分度凸輪、第一盤、第二軸、第二彈簧、第一柱面導軌、第二頂出凸輪、第二分度凸輪、第二盤、第三軸、第二柱面導軌、第三盤、第一氣缸、第二氣缸;所述第一氣缸通過氣缸桿與第一軸頂端聯動,第一軸下端與第一頂出凸輪聯動,第一分度凸輪與第一柱面導軌卡合,第一柱面導軌設置在第二軸上,第一彈簧設置在第一軸的中下部,第一軸與第一分度凸輪用螺栓固定,第一分度凸輪與第一盤用螺栓固定;所述第二氣缸通過氣缸桿與第二軸頂端聯動,第二軸下端與第二頂出凸輪聯動,第二分度凸輪與第二柱面導軌卡合,第二柱面導軌設置在第三軸上,第二彈簧設置在第二軸的中下部,第二軸與第二分度凸輪用螺栓固定,第二分度凸輪與第二盤用螺栓固定;所述第三盤設置在第三軸下端。

優(yōu)選地,所述第一彈簧環(huán)繞第一軸一周,第二彈簧環(huán)繞第二軸一周。

優(yōu)選地,所述第一柱面導軌、第二柱面導軌均設置有沿軸向延伸的導向槽和傾斜凸輪面;所述第一柱面導軌上的導向槽和傾斜凸輪面的數量分別為4-12個;所述第二柱面導軌上的導向槽和傾斜凸輪面的數量分別為4-12個。

優(yōu)選地,所述第一分度凸輪、第二分度凸輪均設置導向突起和分度凸輪面;所述第一分度凸輪上的導向突起和分度凸輪面的數量分別為4-12個;所述第二分度凸輪上的導向突起和分度凸輪面的數量分別為4-12個。

優(yōu)選地,所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪均設置有頂出齒;頂出齒的下端設置有頂出凸輪面;所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪的頂出齒數量均為4-12個。

優(yōu)選地,所述頂出凸輪面、傾斜凸輪面能夠與分度凸輪面分別卡合;所述頂出齒、導向突起能夠在導向槽內沿軸向滑動。

優(yōu)選地,所述第一軸為實心軸;第二軸為空心軸,設置在第一軸外部;第三軸為空心軸,設置在第二軸外部。

優(yōu)選地,所述第一盤為蒸發(fā)孔盤,面上設置有一個正方形蒸發(fā)孔;第二盤為掩膜托盤,上面?zhèn)銧罹鶆蛟O置有4-12個正方形掩膜放置位置;第三盤為基片托盤,上面?zhèn)銧罹鶆蛟O置有4-12個正方形基片放置位置。

優(yōu)選地,所述第一分度凸輪、第一盤與第一軸通過螺栓固定;所述第二盤、第一柱面導軌與第二軸分別通過螺栓固定;所述第二柱面導軌、第三盤通過螺栓固定在第三軸上。

優(yōu)選地,所述第一彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第一軸上;所述第二彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第二軸上。

本實用新型的產品機結構簡單,制造成本低,操作維護方便,工作可靠安全,能夠提高鍍膜工作效率,提高鍍膜機的自動化率,回轉分度對位速度快,定位準確可靠。本裝置通過簡單的氣缸直線運動實現了基片托盤,掩膜托盤和蒸發(fā)孔盤的旋轉分度對位,極大的減少了科研試驗人員的手動勞動,提高了試驗工作效率,同時本申請的產品屬于首創(chuàng),會給鍍膜機旋轉領域帶來一定的影響。

附圖說明

圖1是本實用新型裝置的剖視圖;

圖2是本實用新型裝置的立體外觀圖。

具體實施方式

下面結合附圖,對本實用新型進行詳細的解釋。

本實施例中,所述第一彈簧2環(huán)繞第一軸1一周,第二彈簧7環(huán)繞第二軸6一周。所述第一柱面導軌8、第二柱面導軌13均設置有沿軸向延伸的導向槽和傾斜凸輪面;所述第一分度凸輪4、第二分度凸輪10均設置導向突起和分度凸輪面;所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪均設置有頂出齒;頂出齒的下端設置有頂出凸輪面;所述頂出凸輪面、傾斜凸輪面能夠與分度凸輪面分別卡合;所述頂出齒、導向突起能夠在導向槽內沿軸向滑動。所述第一軸1為實心軸;第二軸6為空心軸,設置在第一軸外部;第三軸12為空心軸,設置在第二軸6的外部。所述第一分度凸輪4、第一盤5與第一軸1通過螺栓固定;所述第二盤11、第一柱面導軌8與第二軸6分別通過螺栓固定;所述第二柱面導軌13、第三盤14通過螺栓固定在第三軸12上。所述第一彈簧2通過軸用彈簧卡圈固定在第一軸1上;所述第二彈簧7通過軸用彈簧卡圈固定在第二軸6上。第一柱面導軌8上的導向槽和傾斜凸輪面的數量均為8個;所述第二柱面導軌13上的導向槽和傾斜凸輪面的數量均為8個。第一分度凸輪4上的導向突起和分度凸輪面的數量均為8個;所述第二分度凸輪10上的導向突起和分度凸輪面的數量均為8個。所述第一頂出凸輪3和第二頂出凸輪9的頂出齒數量均為8個。所述第一盤5上設置有一個正方形蒸發(fā)孔;第二盤11上面?zhèn)銧罹鶆蛟O置有8個正方形掩膜放置位置;第三盤14上面?zhèn)銧罹鶆蛟O置有8個正方形基片放置位置。

本實用新型的鍍膜機旋轉裝置中的第一氣缸15的氣缸桿按壓第一軸1頂端一次,第一軸1向下運動一個氣缸行程,第一頂出凸輪3的頂出齒下部的頂出凸輪面抵住第一分度凸輪4的分度凸輪面沿著安裝在第二軸6上的第一柱面導軌8的導向槽向下行走,當第一分度凸輪4的導向突起脫出第一柱面導軌8的導向槽后,在上述頂出凸輪面與分度凸輪面的作用下,第一分度凸輪4旋轉。于是,第一分度凸輪4的分度凸輪面與第一柱面導軌8的傾斜凸輪面卡合,在第一彈簧2受壓后的回彈力作用下,第一分度凸輪4的導向突起沿著第一柱面導軌8的傾斜凸輪面向上滑入柱面導軌的下一個導向槽中,第一分度凸輪4轉動了一個分度,實現安裝在第一分度凸輪4上的第一盤5旋轉一個分度。

所述第二氣缸16的氣缸桿按壓第二軸6頂端一次,第二軸6向下運動一個氣缸行程,第二頂出凸輪9的頂出齒下部的頂出凸輪面抵住第二分度凸輪10的分度凸輪面沿著安裝在第三軸12上的第二柱面導軌13的導向槽向下行走,當第二分度凸輪10的導向突起脫出第二柱面導軌13的導向槽后,在上述頂出凸輪面與分度凸輪面的作用下,第二分度凸輪10旋轉。于是,第二分度凸輪10的分度凸輪面與第二柱面導軌13的傾斜凸輪面卡合,在第二彈簧7受壓后的回彈力作用下,第二分度凸輪10的導向突起沿著第二柱面導軌13的傾斜凸輪面向上滑入柱面導軌的下一個導向槽中,第二分度凸輪10轉動了一個分度。實現安裝在第二分度凸輪10上的第二盤11旋轉一個分度。第二氣缸16向下按壓第二軸6頂端時,安裝在第二軸6上的第二盤11向下頂住第一盤5,由于氣缸向下的頂出力及第二彈簧7和第一彈簧2受壓后的回彈力的共同作用,第二盤11和第一盤5貼合。當氣缸16的頂出作用導致第二盤11旋轉分度時,第一盤5也同時旋轉相同的分度。由此,第三盤14不旋轉,第二盤11和第一盤5和分別通過各自的氣缸頂出實現各自的旋轉分度,即可實現三盤多工位的回轉分度自動選位對位。

以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型披露的技術范圍內,可輕易想到的變化或替換,都應該涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此,本實用新型的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。

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