1.一種鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括第一軸、第一彈簧、第一頂出凸輪、第一分度凸輪、第一盤、第二軸、第二彈簧、第一柱面導(dǎo)軌、第二頂出凸輪、第二分度凸輪、第二盤、第三軸、第二柱面導(dǎo)軌、第三盤、第一氣缸、第二氣缸；所述第一氣缸通過氣缸桿與第一軸頂端聯(lián)動(dòng)，第一軸下端與第一頂出凸輪聯(lián)動(dòng)，第一分度凸輪與第一柱面導(dǎo)軌卡合，第一柱面導(dǎo)軌設(shè)置在第二軸上，第一彈簧設(shè)置在第一軸的中下部，第一軸與第一分度凸輪用螺栓固定，第一分度凸輪與第一盤用螺栓固定；所述第二氣缸通過氣缸桿與第二軸頂端聯(lián)動(dòng)，第二軸下端與第二頂出凸輪聯(lián)動(dòng)，第二分度凸輪與第二柱面導(dǎo)軌卡合，第二柱面導(dǎo)軌設(shè)置在第三軸上，第二彈簧設(shè)置在第二軸的中下部，第二軸與第二分度凸輪用螺栓固定，第二分度凸輪與第二盤用螺栓固定；所述第三盤設(shè)置在第三軸下端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一彈簧環(huán)繞第一軸一周，第二彈簧環(huán)繞第二軸一周。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一柱面導(dǎo)軌、第二柱面導(dǎo)軌均設(shè)置有沿軸向延伸的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面；所述第一柱面導(dǎo)軌上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)；所述第二柱面導(dǎo)軌上的導(dǎo)向槽和傾斜凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一分度凸輪、第二分度凸輪均設(shè)置導(dǎo)向突起和分度凸輪面；所述第一分度凸輪上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)；所述第二分度凸輪上的導(dǎo)向突起和分度凸輪面的數(shù)量分別為4-12個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪均設(shè)置有頂出齒；頂出齒的下端設(shè)置有頂出凸輪面；所述第一頂出凸輪和第二頂出凸輪的頂出齒數(shù)量均為4-12個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述頂出凸輪面、傾斜凸輪面能夠與分度凸輪面分別卡合；所述頂出齒、導(dǎo)向突起能夠在導(dǎo)向槽內(nèi)沿軸向滑動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一軸為實(shí)心軸；第二軸為空心軸，設(shè)置在第一軸外部；第三軸為空心軸，設(shè)置在第二軸外部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一盤為蒸發(fā)孔盤，面上設(shè)置有一個(gè)正方形蒸發(fā)孔；第二盤為掩膜托盤，上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有4-12個(gè)正方形掩膜放置位置；第三盤為基片托盤，上面?zhèn)銧罹鶆蛟O(shè)置有4-12個(gè)正方形基片放置位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一分度凸輪、第一盤與第一軸通過螺栓固定；所述第二盤、第一柱面導(dǎo)軌與第二軸分別通過螺栓固定；所述第二柱面導(dǎo)軌、第三盤通過螺栓固定在第三軸上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第一軸上；所述第二彈簧通過軸用彈簧卡圈固定在第二軸上。