本發(fā)明涉及鍍膜,具體涉及一種鍍膜裝置。
背景技術(shù):
1、真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。在真空沉積腔室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。
2、公開號cn221608172u公開了一種鍍膜均勻的真空鍍膜裝置,其鍍膜倉內(nèi)設(shè)置有用于掛置工件的轉(zhuǎn)動架組件,轉(zhuǎn)動架組件周圍設(shè)置有用于向工件均勻鍍膜的鍍膜組件,轉(zhuǎn)動組件用于帶動工件轉(zhuǎn)動,鍍膜組件能夠驅(qū)使輸氣支管升降,從而不僅可使得放置在鍍膜倉內(nèi)的工件同步轉(zhuǎn)動,還可使得鍍膜蒸汽在工件周邊空間上下往復(fù)噴出。
3、然而,該專利中一層掛桿上同時(shí)掛置多個(gè)工件,同層的多個(gè)工件僅繞掛桿的軸線同步轉(zhuǎn)動,而輸氣支管位于掛桿的外側(cè),導(dǎo)致工件的內(nèi)外側(cè)存在鍍膜不均的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足,提出一種鍍膜裝置,解決現(xiàn)有技術(shù)中同層的多個(gè)工件僅繞掛桿的軸線同步轉(zhuǎn)動,而輸氣支管位于掛桿的外側(cè),導(dǎo)致工件的內(nèi)外側(cè)存在鍍膜不均的問題的技術(shù)問題。
2、為達(dá)到上述技術(shù)目的,本發(fā)明采取了以下技術(shù)方案:
3、本發(fā)明提供了一種鍍膜裝置,包括:
4、鍍膜箱,包括箱體及傳動部,所述傳動部設(shè)于所述箱體內(nèi);
5、置料機(jī)構(gòu),包括安裝座、多個(gè)物料臂及多個(gè)配合部,所述安裝座轉(zhuǎn)動安裝于所述箱體內(nèi),多個(gè)所述物料臂間隔安裝于所述安裝座,各所述物料臂能繞自身軸線轉(zhuǎn)動,多個(gè)所述配合部分別設(shè)于多個(gè)所述物料臂,且與所述傳動部傳動連接,并在所述安裝座轉(zhuǎn)動時(shí)同步帶動所述物料臂轉(zhuǎn)動;及
6、驅(qū)動機(jī)構(gòu),設(shè)于所述箱體,并與所述安裝座驅(qū)動連接,用于驅(qū)使所述安裝座轉(zhuǎn)動。
7、在一些實(shí)施例中,所述傳動部包括傳動齒輪,所述傳動齒輪安裝于所述箱體;
8、所述配合部包括配合齒輪,所述配合齒輪嚙合于所述傳動齒輪,且多個(gè)所述配合齒輪沿所述傳動齒輪的周向依次布設(shè)。
9、在一些實(shí)施例中,所述安裝座具有安裝腔,所述安裝腔具有避讓口及安裝口,所述避讓口與所述安裝口位于所述安裝座相對的兩側(cè),且所述安裝口設(shè)有多個(gè);
10、所述傳動部還包括安裝軸,所述安裝軸一端連接于所述箱體的內(nèi)壁,另一端自所述避讓口伸入所述安裝腔內(nèi),所述傳動齒輪設(shè)于所述安裝軸伸入所述安裝腔的一端;
11、多個(gè)所述物料臂的一端分別自多個(gè)所述避讓口伸入所述安裝腔中,所述配合齒輪設(shè)于所述物料臂位于所述安裝腔內(nèi)的一端。
12、在一些實(shí)施例中,所述置料機(jī)構(gòu)還包括從動齒輪,所述從動齒輪安裝于所述安裝座;
13、所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動部及主動齒輪,所述驅(qū)動部安裝于所述箱體,并與所述主動齒輪驅(qū)動連接,所述主動齒輪嚙合于所述從動齒輪。
14、在一些實(shí)施例中,所述置料機(jī)構(gòu)設(shè)有兩組,兩組的所述從動齒輪均嚙合于所述主動齒輪。
15、在一些實(shí)施例中,各組的所述置料機(jī)構(gòu)設(shè)有多個(gè),同組的多個(gè)所述置料機(jī)構(gòu)依次間隔布設(shè);
16、所述主動齒輪設(shè)有多個(gè),多個(gè)所述主動齒輪沿同組的多個(gè)所述置料機(jī)構(gòu)的布設(shè)方向間隔設(shè)置,并分別嚙合于相鄰的兩個(gè)所述從動齒輪;
17、所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括驅(qū)動軸及多個(gè)連接部,所述驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動安裝于所述箱體內(nèi),并沿同組的多個(gè)所述置料機(jī)構(gòu)的布設(shè)方向延伸,多個(gè)所述連接部設(shè)于所述驅(qū)動軸,并沿所述驅(qū)動軸的軸向依次設(shè)置,且分別與多個(gè)主動齒輪傳動連接,用于將所述驅(qū)動軸的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為所述主動齒輪的轉(zhuǎn)動;
18、所述驅(qū)動部與所述驅(qū)動軸驅(qū)動連接,用于驅(qū)使所述驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動。
19、在一些實(shí)施例中,所述連接部包括轉(zhuǎn)軸、從動錐齒輪及主動錐齒輪,所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝于所述箱體的內(nèi),所述從動錐齒輪與所述主動齒輪安裝于所述轉(zhuǎn)軸,并沿所述轉(zhuǎn)軸的軸向依次布設(shè),所述主動錐齒輪安裝于所述驅(qū)動軸,并嚙合于所述從動錐齒輪。
20、在一些實(shí)施例中,所述鍍膜機(jī)構(gòu)還包括絲杠、活動螺母座及噴頭,所述絲杠設(shè)于所述箱體內(nèi),并沿所述驅(qū)動軸的軸向延伸,所述活動螺母座套設(shè)于所述絲杠,并在所述絲杠轉(zhuǎn)動時(shí)沿其軸向活動,所述噴頭設(shè)于所述活動螺母座,用于輸入鍍膜蒸氣;
21、所述驅(qū)動部包括驅(qū)動電機(jī)、傳動帶及兩個(gè)帶輪,所述驅(qū)動電機(jī)安裝于所述箱體,并連接所述絲杠,兩個(gè)所述帶輪分別設(shè)于所述絲杠與所述驅(qū)動軸,所述傳動帶套設(shè)于兩個(gè)所述帶輪。
22、在一些實(shí)施例中,所述鍍膜機(jī)構(gòu)還包括蒸氣熔爐、連接管及柔性管,所述蒸氣熔爐、所述連接管、所述柔性管及所述噴頭依次連接;和/或,
23、所述活動螺母座沿所述絲杠的延伸方向設(shè)有導(dǎo)向通道,所述鍍膜箱還包括導(dǎo)向臂,所述導(dǎo)向臂設(shè)于所述箱體內(nèi),且沿所述絲杠的軸向延伸,并穿設(shè)于所述導(dǎo)向通道。
24、在一些實(shí)施例中,所述鍍膜機(jī)構(gòu)還包括過濾箱、濾網(wǎng)及引氣管,所述過濾箱設(shè)于所述箱體外,并具有進(jìn)氣腔及冷卻腔,所述進(jìn)氣腔連通所述箱體,所述濾網(wǎng)設(shè)于所述進(jìn)氣腔內(nèi),所述冷卻腔中容置有冷卻液,且在所述冷卻液上方設(shè)有排氣口,所述引氣管的一端連通所述進(jìn)氣腔,且位于所述濾網(wǎng)的下游,另一端伸入所述冷卻液中。
25、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的鍍膜裝置中,將多個(gè)工件置于多個(gè)物料臂上,驅(qū)動機(jī)構(gòu)在驅(qū)使安裝座轉(zhuǎn)動時(shí),能夠帶動多個(gè)工件繞安裝座的軸線轉(zhuǎn)動。同時(shí),由于各物料臂與箱體之間通過傳動部與配合部相配合,能夠?qū)惭b座相對箱體的轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)換為物料臂繞自身軸線的轉(zhuǎn)動,從而使得各工件還能夠繞物料臂的軸線轉(zhuǎn)動。如此,本方案通過一個(gè)驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動,實(shí)現(xiàn)工件公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn),使得工件的各側(cè)均能夠面向蒸氣源,保證工件鍍膜的均勻性,提高鍍膜質(zhì)量,且節(jié)省成本。
1.一種鍍膜裝置,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述傳動部包括傳動齒輪,所述傳動齒輪安裝于所述箱體;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述安裝座具有安裝腔,所述安裝腔具有避讓口及安裝口,所述避讓口與所述安裝口位于所述安裝座相對的兩側(cè),且所述安裝口設(shè)有多個(gè);
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述置料機(jī)構(gòu)還包括從動齒輪,所述從動齒輪安裝于所述安裝座;
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述置料機(jī)構(gòu)設(shè)有兩組,兩組的所述從動齒輪均嚙合于所述主動齒輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鍍膜裝置,其特征在于,各組的所述置料機(jī)構(gòu)設(shè)有多個(gè),同組的多個(gè)所述置料機(jī)構(gòu)依次間隔布設(shè);
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述連接部包括轉(zhuǎn)軸、從動錐齒輪及主動錐齒輪,所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝于所述箱體的內(nèi),所述從動錐齒輪與所述主動齒輪安裝于所述轉(zhuǎn)軸,并沿所述轉(zhuǎn)軸的軸向依次布設(shè),所述主動錐齒輪安裝于所述驅(qū)動軸,并嚙合于所述從動錐齒輪。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述鍍膜裝置還包括絲杠、活動螺母座及噴頭,所述絲杠設(shè)于所述箱體內(nèi),并沿所述驅(qū)動軸的軸向延伸,所述活動螺母座套設(shè)于所述絲杠,并在所述絲杠轉(zhuǎn)動時(shí)沿其軸向活動,所述噴頭設(shè)于所述活動螺母座,用于輸入鍍膜蒸氣;
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述鍍膜裝置還包括蒸氣熔爐、連接管及柔性管,所述蒸氣熔爐、所述連接管、所述柔性管及所述噴頭依次連接;和/或,
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,所述鍍膜裝置還包括過濾箱、濾網(wǎng)及引氣管,所述過濾箱設(shè)于所述箱體外,并具有進(jìn)氣腔及冷卻腔,所述進(jìn)氣腔連通所述箱體,所述濾網(wǎng)設(shè)于所述進(jìn)氣腔內(nèi),所述冷卻腔中容置有冷卻液,且在所述冷卻液上方設(shè)有排氣口,所述引氣管的一端連通所述進(jìn)氣腔,且位于所述濾網(wǎng)的下游,另一端伸入所述冷卻液中。