技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氮化鋁單晶生長方法，長晶時的溫度曲線和壓力曲線簡單可控；在氮化鋁燒結(jié)體表面進(jìn)行長晶，生長得到的氮化鋁單晶體內(nèi)部幾乎無缺陷；通過采用鎢材料制備坩堝，雜質(zhì)引入極少；能夠得到最大尺寸為厘米級的氮化鋁單晶；長晶成本較低。

技術(shù)研發(fā)人員：吳亮;曹凱;汪佳;劉理想;龔加瑋;王智昊;王琦琨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州奧趨光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201611196928
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.22
技術(shù)公布日：2017.05.10