本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

以往已知例如對ic器件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置中組裝有用于輸送ic器件的電子部件輸送裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

另外，在電子部件檢查裝置中，將多個ic器件載置于托盤上，按照每個托盤放入裝置內(nèi)，從而托盤由輸送部輸送到進(jìn)行檢查的檢查部。而且，若檢查結(jié)束，則ic器件被載置于托盤，由輸送部按照每個托盤進(jìn)行輸送，排出到裝置外。

在這種電子部件輸送裝置中，在最外包裝的蓋設(shè)置門(開閉部)，例如在產(chǎn)生電子部件的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)時，操作人員(作業(yè)者)有時打開門。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11－111802號公報

例如在電子部件檢查裝置內(nèi)充滿冷卻氣體(制冷劑)或內(nèi)部的溫度比較高的情況下，在該狀態(tài)不優(yōu)選操作人員(作業(yè)者)打開門。因此，操作人員(作業(yè)者)直至冷卻氣體(制冷劑)的濃度下降之前不能夠打開門，例如產(chǎn)生電子部件的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)等時的作業(yè)效率惡化。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，能夠?qū)崿F(xiàn)為以下的方式或者應(yīng)用例。

[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例所涉及的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：輸送部，能夠輸送電子部件；冷卻部，通過制冷劑進(jìn)行冷卻，并能夠?qū)斔偷降纳鲜鲭娮硬考M(jìn)行冷卻；第一室，配置有上述冷卻部；切換部，能夠切換上述制冷劑的排出目的地；以及控制部，對上述切換部的切換進(jìn)行控制。

根據(jù)本應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置，基于控制部的控制，通過切換部能夠切換制冷劑的排出目的地，所以能夠縮短直至在配置有冷卻部的第一室充滿的制冷劑的濃度降低之前所花費的時間，并能夠例如提高產(chǎn)生電子部件的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)等時的作業(yè)效率。

[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具備指示接受部，接受切換上述制冷劑的排出目的地的指示，若上述指示接受部接受上述指示，則上述控制部控制上述切換部來切換上述制冷劑的排出目的地。

根據(jù)本應(yīng)用例，例如基于操作人員(作業(yè)者)對指示接受部進(jìn)行的指示來切換制冷劑的排出目的地，所以能夠更準(zhǔn)確且可靠地進(jìn)行切換。

[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選在上述指示接受部未接受到上述指示的情況下，上述切換部將上述制冷劑排出到上述第一室，在上述指示接受部接受到上述指示的情況下，上述切換部將將上述制冷劑排出到上述第一室的室外。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于向冷卻部供給制冷劑，并且通過切換部將制冷劑的排出目的地切換為第一室的室外，所以能夠縮短直至冷卻部的制冷劑濃度降低之前所花費的時間，并能夠提高作業(yè)效率。另外，由于冷卻部不升溫，所以能夠繼續(xù)電子部件的冷卻。

[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述制冷劑包括液態(tài)氮、以及從液態(tài)氮生成的氮氣的至少一個。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過使用能夠容易得到的液態(tài)氮、以及能夠從液態(tài)氮生成的氮氣(冷卻氣體)作為制冷劑，能夠以簡易的構(gòu)成容易地進(jìn)行電子部件的冷卻。

[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具備與上述第一室不同的第二室，在上述指示接受部接受到上述指示的情況下，上述切換部將上述制冷劑排出到上述第二室。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過將制冷劑排出到第二室，能夠?qū)⒅评鋭┚従彽嘏懦龅窖b置外，能夠防止大量的制冷劑被一下子排出到裝置外。

[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第二室被配置在比上述第一室更靠垂直方向上方。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過將第二室配置在比第一室更靠垂直方向上方，能夠抑制比大氣輕的制冷劑，例如氮氣滯留在地板面附近。

[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具備對上述第一室的至少一部分進(jìn)行開閉的開閉部，上述指示接受部被配置在上述開閉部的附近。

根據(jù)本應(yīng)用例，指示接受部通過配置在開閉部的附近，第能夠一邊確認(rèn)第一室的狀況一邊對指示接受部進(jìn)行操作，所以能夠?qū)崿F(xiàn)誤操作的防止、作業(yè)效率的提高等。

[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述指示接受部是按鈕開關(guān)。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于能夠通過按下按鈕開關(guān)來進(jìn)行指示，所以能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行指示。

[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具備報告裝置，上述報告裝置報告有無對上述指示接受部的指示。

根據(jù)本應(yīng)用例，操作人員(作業(yè)者)利用來自報告裝置的報告，能夠可靠地察覺有無來自指示接受部的指示。

[應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述報告裝置使用光以及聲音的至少一個來進(jìn)行報告。

根據(jù)本應(yīng)用例，能夠使操作人員(作業(yè)者)以較高的準(zhǔn)確度識別是否有來自指示接受部的指示。

[應(yīng)用例11]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：輸送部，能夠輸送電子部件；冷卻部，通過制冷劑進(jìn)行冷卻，并對輸送到的上述電子部件進(jìn)行冷卻；第一室，配置有上述冷卻部；切換部，能夠切換上述制冷劑的排出目的地；控制部，對上述切換部的切換進(jìn)行控制；以及檢查部，檢查上述電子部件。

根據(jù)本應(yīng)用例所記載的電子部件檢查裝置，由于能夠基于控制部的控制，通過切換部切換制冷劑的排出目的地，所以能夠縮短直至在冷卻部充滿的制冷劑濃度降低之前所花費的時間，并能夠提高例如產(chǎn)生電子部件的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)等時的作業(yè)效率。

附圖說明

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第一實施方式)的示意立體圖。

圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置的俯視圖。

圖3是圖1所示的電子部件檢查裝置的框圖。

圖4是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。

圖5是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。

圖6是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。

圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。

圖8是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及指示部的圖。

圖9是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的制冷劑的排出目的地的切換的示意配置圖。

圖10是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的控制動作的一個例子的流程圖。

圖11是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實施方式)具備的開閉部以及報告部的圖。

圖12是表示圖11所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。

具體實施方式

以下，基于添加附圖所示的優(yōu)選的實施方式，詳細(xì)地本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行說明。

＜第一實施方式＞

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第一實施方式)的示意立體圖。圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置的俯視圖。圖3是圖1所示的電子部件檢查裝置的框圖。圖4～圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及報告部的圖。圖8是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的開閉部以及指示部的圖。圖9是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的制冷劑的排出目的地的切換的示意配置圖。圖10是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的控制動作的一個例子的流程圖。

以下，參照圖1～圖10，對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第一實施方式進(jìn)行說明。此外，以下，為了便于說明，如圖1、圖2以及圖4～圖8(第二實施方式中的圖11以及圖12也同樣)所示，將相互正交的3個軸設(shè)為x軸、y軸以及z軸。另外，包括x軸和y軸的xy平面為水平的，z軸為垂直。另外，將與x軸平行的方向稱為“x方向”、將與y軸平行的方向稱為“y方向”、將與z軸平行的方向稱為“z方向”。另外，將各方向的箭頭朝向的方向稱為“正”、將其相反方向稱為“負(fù)”。另外，本申請說明書所說的“水平”并不限于完全的水平，只要不阻礙電子部件的輸送，也包括相對于水平稍微傾斜(例如小于5°左右)的狀態(tài)。

圖1、圖2所示的檢查裝置2(電子部件檢查裝置)是內(nèi)置電子部件輸送裝置100的裝置，是例如對作為bga(ballgridarray：焊球陣列)封裝的ic器件等電子部件進(jìn)行輸送，并在該輸送過程中對電特性進(jìn)行檢查、試驗(以下僅稱為“檢查”)的裝置。

檢查裝置2具備電子部件輸送裝置100、進(jìn)行電子部件的檢查的檢查部16、以及控制這些的動作的控制部80。此外，控制部80包括對低溫檢查時所使用的制冷劑的供給進(jìn)行控制的制冷劑控制部84(參照圖3)。

電子部件輸送裝置100具備能夠輸送電子部件的輸送部6、可開閉的開閉部4、能夠顯示輸送部6的工作狀態(tài)的作為顯示部的監(jiān)視器300、報告開閉部4是否可開閉的作為報告裝置的報告部5、通過制冷劑進(jìn)行冷卻并對被輸送的電子部件進(jìn)行冷卻的作為冷卻部的溫度調(diào)整部12、以及對制冷劑控制部84輸入制冷劑流路的切換指示的指示接受部87。

此外，以下，為了便于說明，以使用ic器件作為電子部件的情況為代表進(jìn)行說明，將其設(shè)為“ic器件90”。ic器件90被載置在作為托盤200的載置部件上。

檢查裝置2被分成托盤供給區(qū)域a1、器件供給區(qū)域(以下僅稱為“供給區(qū)域”)a2、檢查區(qū)域a3、器件回收區(qū)域a4(以下僅稱為“回收區(qū)域”)、托盤除去區(qū)域a5、以及設(shè)置在回收區(qū)域a4的垂直方向上側(cè)(圖1的z方向的正側(cè))的控制區(qū)域a6。而且，ic器件90從托盤供給區(qū)域a1到托盤除去區(qū)域a5沿箭頭α90方向依次經(jīng)由上述各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域a3進(jìn)行檢查。這樣檢查裝置2具備在各區(qū)域輸送ic器件90的電子部件輸送裝置100(處理器)、和在檢查區(qū)域a3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16。另外，其他，檢查裝置2具備作為報告裝置的一個例子的信號燈400、和操作面板700。

此外，對檢查裝置2而言，配置有托盤供給區(qū)域a1、托盤除去區(qū)域a5的一方，即，圖2中的下側(cè)(y方向的負(fù)側(cè))成為正面?zhèn)?，配置有檢查區(qū)域a3的一方，即，圖2中的上側(cè)(y方向的正側(cè))被用作背面?zhèn)取?/p>

托盤供給區(qū)域a1是供給排列了未檢查狀態(tài)的多個ic器件90的托盤200的供材部。在托盤供給區(qū)域a1中能夠?qū)盈B多個托盤200。

供給區(qū)域a2是從托盤供給區(qū)域a1輸送到的托盤200上的多個ic器件90分別被供給至檢查區(qū)域a3的區(qū)域。此外，設(shè)置有托盤輸送機構(gòu)11a、11b，該托盤輸送機構(gòu)11a、11b以橫跨托盤供給區(qū)域a1和供給區(qū)域a2的方式逐個沿水平方向輸送托盤200。托盤輸送機構(gòu)11a是能夠使托盤200按照載置在該托盤200上的每個ic器件90向y方向的正側(cè)，即，沿圖2中的箭頭α11a移動的移動部。由此，能夠?qū)c器件90穩(wěn)定地送入供給區(qū)域a2。另外，托盤輸送機構(gòu)11b是能夠使空的托盤200向y方向的負(fù)側(cè)，即，沿圖2中的箭頭α11b移動的移動部。由此，能夠使空的托盤200從供給區(qū)域a2移動到托盤供給區(qū)域a1。

在供給區(qū)域a2中設(shè)置有溫度調(diào)整部(均熱板(英語表記：soakplate，中文表記(一個例子)：均溫板))12、器件輸送頭13、托盤輸送機構(gòu)15、以及濃度傳感器800。

溫度調(diào)整部12能夠載置多個ic器件90，并一并對這些ic器件90進(jìn)行加熱或者冷卻，被稱為“均熱板”。通過該均熱板，預(yù)先對由檢查部16檢查前的ic器件90進(jìn)行加熱或者冷卻，并能夠調(diào)整為適合該檢查(高溫檢查或者低溫檢查)的溫度。本實施方式的溫度調(diào)整部12具有使用包括液態(tài)氮、以及從液態(tài)氮生成的氮氣中的至少一個的制冷劑來對輸送到的ic器件90進(jìn)行冷卻的作為冷卻部的功能。此外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12在y方向上配置2個，并被固定。而且，通過托盤輸送機構(gòu)11a從托盤供給區(qū)域a1搬入到的托盤200上的ic器件90被輸送至任意一個溫度調(diào)整部12。

器件輸送頭13被支承為在供給區(qū)域a2內(nèi)能夠向x方向以及y方向、進(jìn)而也向z方向移動。由此，器件輸送頭13能夠負(fù)責(zé)從托盤供給區(qū)域a1搬入到的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的ic器件90的輸送、和溫度調(diào)整部12與后述的器件供給部14之間的ic器件90的輸送。此外，在圖2中，用箭頭α13x表示器件輸送頭13的x方向的移動，用箭頭α13y表示器件輸送頭13的y方向的移動。

托盤輸送機構(gòu)15是將全部的ic器件90被除去的狀態(tài)的空的托盤200在供給區(qū)域a2內(nèi)向x方向的正側(cè)，即，箭頭α15方向輸送的機構(gòu)。而且，該輸送后，空的托盤200通過托盤輸送機構(gòu)11b從供給區(qū)域a2返回到托盤供給區(qū)域a1。

濃度傳感器800是對作為供給區(qū)域a2內(nèi)的制冷劑而所使用的氮氣的濃度進(jìn)行檢測的傳感器。濃度傳感器800與控制部80電連接，濃度傳感器800檢測出的濃度的信息被發(fā)送至控制部80。

檢查區(qū)域a3是檢查ic器件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域a3中設(shè)置有檢查部16和器件輸送頭17。另外，也設(shè)置以橫跨供給區(qū)域a2和檢查區(qū)域a3的方式移動的器件供給部14、和以橫跨檢查區(qū)域a3和回收區(qū)域a4的方式移動的器件回收部18。

器件供給部14構(gòu)成為載置被溫度調(diào)整部12溫度調(diào)整過的ic器件90，并能夠?qū)⒃搃c器件90輸送至檢查部16附近的載置部，被稱為“供給用往復(fù)板”或者僅成為“供給往復(fù)機構(gòu)”。

另外，器件供給部14被支承為能夠在供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間沿x方向，即，箭頭α14方向往復(fù)移動。在圖2所示的構(gòu)成中，器件供給部14在y方向上配置2個，溫度調(diào)整部12上的ic器件90被輸送至任意一個器件供給部14。另外，器件供給部14與溫度調(diào)整部12同樣地構(gòu)成為能夠?qū)d置在該器件供給部14上的ic器件90進(jìn)行加熱或者冷卻。由此，針對被溫度調(diào)整部12溫度調(diào)整過的ic器件90，能夠維持其溫度調(diào)整狀態(tài)，并輸送到檢查區(qū)域a3的檢查部16附近。

器件輸送頭17是把持前述的溫度調(diào)整狀態(tài)被維持的ic器件90并在檢查區(qū)域a3內(nèi)輸送該ic器件90的動作部。該器件輸送頭17被支承為在檢查區(qū)域a3內(nèi)能夠沿y方向以及z方向往復(fù)移動，并成為被稱為“分度臂”的機構(gòu)的一部分。由此，器件輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域a2搬入到的器件供給部14上的ic器件90輸送至檢查部16，并將其載置。此外，在圖2中，用箭頭α17y表示器件輸送頭17的y方向的往復(fù)移動。另外，器件輸送頭17被支承為能夠沿y方向往復(fù)移動，但并不限于此，也可以支承為也能夠沿x方向往復(fù)移動。

另外，器件輸送頭17與溫度調(diào)整部12同樣地構(gòu)成為能夠?qū)Π殉值膇c器件90進(jìn)行加熱或者冷卻。由此，能夠從器件供給部14到檢查部16繼續(xù)維持ic器件90中的溫度調(diào)整狀態(tài)。

檢查部16構(gòu)成為載置作為該載置電子部件的ic器件90，來對該ic器件90的電特性進(jìn)行檢查、試驗(檢查)的載置部。在該檢查部16中設(shè)置有與ic器件90的端子部電連接的多個探針。而且，使ic器件90的端子部與探針電連接，即，接觸，從而能夠進(jìn)行ic器件90的檢查。ic器件90的檢查基于存儲在控制部80的存儲部83(參照圖3)中的程序來進(jìn)行。此外，即使是檢查部16，也與溫度調(diào)整部12同樣地，能夠?qū)c器件90進(jìn)行加熱或者冷卻來將該ic器件90調(diào)整為適合檢查的溫度。

器件回收部18構(gòu)成為能夠載置檢查部16中的檢查結(jié)束的ic器件90，并將該ic器件90輸送至回收區(qū)域a4的載置部，被稱為“回收用往復(fù)板”或者僅稱為“回收往復(fù)機構(gòu)”。

另外，器件回收部18被支承為能夠在檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間沿x方向，即，箭頭α18方向往復(fù)移動。另外，在圖2所示的構(gòu)成中，器件回收部18與器件供給部14同樣地，在y方向上配置2個，檢查部16上的ic器件90被向任意一個器件回收部18輸送，并將其載置。該輸送由器件輸送頭17進(jìn)行。

回收區(qū)域a4是回收檢查結(jié)束的多個ic器件90的區(qū)域。在該回收區(qū)域a4中設(shè)置有回收用托盤19、器件輸送頭20、托盤輸送機構(gòu)21。另外，在回收區(qū)域a4中也準(zhǔn)備空的托盤200。

回收用托盤19構(gòu)成為載置被檢查部16檢查過的ic器件90的載置部，并被固定為在回收區(qū)域a4內(nèi)不移動。由此，即使是比較多地配置了器件輸送頭20等各種可動部的回收區(qū)域a4，在回收用托盤19上也穩(wěn)定地載置檢查完畢的ic器件90。此外，在圖2所示的構(gòu)成中，回收用托盤19沿著x方向配置3個。

另外，空的托盤200也沿著x方向配置3個。該空的托盤200也成為載置被檢查部16檢查過的ic器件90的載置部。而且，移動到回收區(qū)域a4的器件回收部18上的ic器件90被回收用托盤19以及空的托盤200中的任意一個輸送、載置。由此，ic器件90按照檢查結(jié)果被分類，并被回收。

器件輸送頭20被支承為在回收區(qū)域a4內(nèi)能夠向x方向以及y方向，進(jìn)而也向z方向移動。由此，器件輸送頭20能夠?qū)c器件90從器件回收部18向回收用托盤19、空的托盤200輸送。此外，在圖2中，用箭頭α20x表示器件輸送頭20的x方向的移動，用箭頭α20y表示器件輸送頭20的y方向的移動。

托盤輸送機構(gòu)21是將從托盤除去區(qū)域a5搬入到的空的托盤200在回收區(qū)域a4內(nèi)沿x方向，即，箭頭α21方向輸送的機構(gòu)。而且，該輸送后，空的托盤200被配置于ic器件90被回收的位置上，即，會成為上述的3個空的托盤200中的任意一個。

托盤除去區(qū)域a5是回收排列有檢查完畢狀態(tài)的多個ic器件90的托盤200，并除去的除料部。在托盤除去區(qū)域a5中能夠?qū)盈B多個托盤200。

另外，以橫跨回收區(qū)域a4和托盤除去區(qū)域a5的方式設(shè)置有逐個向y方向輸送托盤200的托盤輸送機構(gòu)22a、22b。托盤輸送機構(gòu)22a是能夠使托盤200沿y方向，即，箭頭α22a方向往復(fù)移動的移動部。由此，能夠?qū)z查完畢的ic器件90從回收區(qū)域a4向托盤除去區(qū)域a5輸送。另外，托盤輸送機構(gòu)22b能夠使用于回收ic器件90的空的托盤200向y方向的正側(cè)，即，箭頭α22b方向移動。由此，能夠使空的托盤200從托盤除去區(qū)域a5向回收區(qū)域a4移動。

對于檢查裝置2，托盤供給區(qū)域a1與供給區(qū)域a2之間被第一隔壁61劃分，供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間被第二隔壁62劃分，檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間被第三隔壁63劃分，回收區(qū)域a4與托盤除去區(qū)域a5之間被第四隔壁64劃分。另外，供給區(qū)域a2與回收區(qū)域a4之間也被第五隔壁65劃分。

檢查裝置2的最外包裝被蓋覆蓋，該蓋例如有前蓋70、子前蓋70a、70b、側(cè)蓋71、側(cè)蓋72，后蓋73，頂蓋74。通過組裝前蓋70、側(cè)蓋71、側(cè)蓋72、后蓋73、頂蓋74來構(gòu)成第一框體，在第一框體形成開閉部4。而且，在第一框體的內(nèi)部配置有輸送部6、檢查部16等。此外，以下，將第一框體的內(nèi)部中的構(gòu)成供給區(qū)域a2的室以及構(gòu)成檢查區(qū)域a3的室作為第一室、將構(gòu)成回收區(qū)域a4的室作為第三室來進(jìn)行說明。

另外，在頂蓋74的垂直方向上側(cè)(圖1的z方向的正側(cè))配置有最外包裝被前蓋861、側(cè)蓋862、側(cè)蓋863、后蓋865、頂蓋866圍起的作為第二室的流路控制室86(控制區(qū)域a6)的第二框體。而且，在第二框體中配置有未圖示的配管部件等。此外，回收區(qū)域a4(第一框體)與控制區(qū)域a6(第二框體)之間被頂蓋74劃分。

如圖2所示，在側(cè)蓋71設(shè)置有第一門711和第二門712。通過打開第一門711、第二門712，例如能夠進(jìn)行第一室內(nèi)的維護(hù)、ic器件90中的卡紙的解除等。此外，第一門711和第二門712成為沿圖2以及圖5中箭頭α71方向開閉的結(jié)構(gòu)。

同樣地，在側(cè)蓋72設(shè)置有第一門721和第二門722。通過打開第一門721、第二門722，例如能夠進(jìn)行第三室內(nèi)的作業(yè)。此外，第一門721和第二門722成為沿圖2中箭頭α72方向開閉的結(jié)構(gòu)。

并且，在后蓋73也設(shè)置有第一門731、第二門732和第三門733。通過打開第一門731，例如能夠進(jìn)行配置有溫度調(diào)整部12、器件輸送頭13、托盤輸送機構(gòu)15等的供給區(qū)域a2(第一室)內(nèi)的作業(yè)。另外，通過打開第三門733，例如能夠進(jìn)行配置有器件回收部18、回收用托盤19、器件輸送頭20等的回收區(qū)域a4內(nèi)的作業(yè)。另外，在劃分檢查部16的內(nèi)側(cè)隔壁66設(shè)置有第四門75。而且，通過打開第二門732以及第四門75，例如能夠進(jìn)行檢查區(qū)域a3內(nèi)的作業(yè)。

此外，第一門731沿圖2中箭頭α731方向開閉，第二門732沿圖2中箭頭α732方向開閉，第三門733沿圖2中箭頭α733方向開閉，第四門75沿圖2中箭頭α75方向開閉。而且，在關(guān)閉各門的狀態(tài)下，能夠確保對應(yīng)的各室中的氣密性、隔熱性。

這些的第一門711、第二門712、第一門721、第二門722、第一門731、第二門732、第三門733、以及第四門75分別由可開閉的開閉部4構(gòu)成。

如圖3所示，控制部80具有驅(qū)動控制部81、檢查控制部82、存儲部83、以及制冷劑控制部84。

驅(qū)動控制部81例如控制圖2所示的托盤輸送機構(gòu)11a、托盤輸送機構(gòu)11b、溫度調(diào)整部12、器件輸送頭13、器件供給部14、托盤輸送機構(gòu)15、檢查部16、器件輸送頭17、器件回收部18、器件輸送頭20、托盤輸送機構(gòu)21、托盤輸送機構(gòu)22a、以及托盤輸送機構(gòu)22b各部的工作。

檢查控制部82基于存儲在存儲部83中的程序來進(jìn)行配置在檢查部16中的ic器件90的電特性的檢查等。

存儲部83例如由ram等易失性存儲器、rom等非易失性存儲器、eprom、eeprom、閃存等可改寫(可消除、改寫)的非易失性存儲器等各種半導(dǎo)體存儲器(ic存儲器)等構(gòu)成。

控制部80所包含的制冷劑控制部84在檢查部16中進(jìn)行低溫檢查時，例如指示供給給作為冷卻部的溫度調(diào)整部12的制冷劑(包括液態(tài)氮以及從液態(tài)氮生成的氮氣等)的流路的切換，控制制冷劑的排出目的地。制冷劑控制部84能夠在例如操作人員(作業(yè)者)判斷為需要切換制冷劑的排出目的地的情況下，接受輸入到指示接受部87的“切換指示”，對切換部860進(jìn)行切換制冷劑的排出目的地的指示。

另外，控制部80與作為顯示部的監(jiān)視器300電連接。監(jiān)視器300構(gòu)成為能夠顯示輸送部6的工作狀態(tài)、檢查裝置2的其它的部位的工作狀態(tài)。此外，如圖2所示，輸送部6具有托盤輸送機構(gòu)11a、11b、器件輸送頭13、器件供給部14、托盤輸送機構(gòu)15、器件輸送頭17、器件回收部18、器件輸送頭20、托盤輸送機構(gòu)21、托盤輸送機構(gòu)22a、以及托盤輸送機構(gòu)22b。

操作人員(作業(yè)者)能夠經(jīng)由監(jiān)視器300設(shè)定或確認(rèn)檢查裝置2的動作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面301，被配置在檢查裝置2的正面?zhèn)壬喜?。如圖1所示，在托盤除去區(qū)域a5的圖中的右側(cè)設(shè)置有鼠標(biāo)臺600，該鼠標(biāo)臺600載置操作顯示在監(jiān)視器300上的畫面時所使用的鼠標(biāo)。

另外，相對于監(jiān)視器300在圖1的右下方配置有操作面板700。操作面板700是與監(jiān)視器300不同地向檢查裝置2命令所希望的動作的裝置。

另外，控制部80與作為報告裝置的信號燈400電連接。信號燈400通過發(fā)光的顏色的組合，能夠報告檢查裝置2的工作狀態(tài)等。信號燈400被配置在檢查裝置2的上部。此外，在檢查裝置2中內(nèi)置揚聲器500，通過該揚聲器500也能夠報告檢查裝置2的工作狀態(tài)等。

接下來，對側(cè)蓋71側(cè)的第一門711以及第二門712詳細(xì)地進(jìn)行說明。第一門711以及第二門712是同樣的構(gòu)成，所以以下，代表性地對第一門711進(jìn)行說明。

如圖4以及圖5所示，第一門711是相對于形成在側(cè)蓋71的開口部713可開閉的門。由此，開閉部4能夠在關(guān)閉狀態(tài)下覆蓋開口部713的一半(圖中的左側(cè)的部分)(參照圖4)，能夠在打開狀態(tài)下使開口部713開放(參照圖5)。

該第一門711由俯視時幾乎呈四邊形形狀的板部件構(gòu)成。此外，作為第一門711的大小，也依存于檢查裝置2的大小，但例如縱的長度(z方向的長度)、橫的長度(y方向的長度)都優(yōu)先為400mm以上且600mm以下，更優(yōu)選450mm以上且550mm以下。

而且，呈四邊形形狀的第一門711的4個邊(邊緣部)41a、41b、41c、41d中的沿垂直方向延伸的邊41a通過2個轉(zhuǎn)動支承部42與側(cè)蓋71連結(jié)。這2個轉(zhuǎn)動支承部42在z方向上分離地配置。另外，各轉(zhuǎn)動支承部42由可轉(zhuǎn)動地支承第一門711的鉸鏈構(gòu)成。由此，能夠?qū)⒌谝婚T711支承為以與垂直方向，即，z方向平行的軸為轉(zhuǎn)動軸，能夠沿圖2以及圖5中的箭頭α71方向轉(zhuǎn)動，并能夠順利地進(jìn)行其開閉。

另外，在第一門711以及第二門712分別設(shè)置有由突起構(gòu)成的把手714。由此，能夠容易地進(jìn)行第一門711以及第二門712的開閉。

如圖6以及圖7所示，在側(cè)蓋71的開口部713的上部附近(例如0mm以上且50mm以下)固定有氣缸740。氣缸740是氣缸桿740a自由伸縮的裝置。而且，在氣缸桿740a朝向下方(z方向的負(fù)側(cè))突出時，能夠與設(shè)置在第一門711的圖6中紙面里側(cè)(x方向的正側(cè))的面的鎖定部件43接合。這樣的氣缸740與控制部80電連接，由控制部80控制其工作。

此外，在本實施方式中，氣缸740不僅維持第一門711的關(guān)閉狀態(tài)，還能夠維持第二門712的關(guān)閉狀態(tài)。即，氣缸740的氣缸桿740a能夠一并與第一門711的鎖定部件43和第二門712的鎖定部件43接合。因此，能夠一并維持第一門711以及第二門712的關(guān)閉狀態(tài)。

另外，在氣缸桿740a朝向上側(cè)方退避時，解除與鎖定部件43的接合，成為可打開第一門711的狀態(tài)(參照圖7)。

這樣，檢查裝置2具有切換第一門711的關(guān)閉狀態(tài)的維持、和關(guān)閉狀態(tài)的解除的作為鎖定部的氣缸740以及鎖定部件43。由此，能夠防止例如在ic器件90的輸送中檢查裝置2的操作人員(作業(yè)者)打開了第一門711。

另外，第一門711的表側(cè)，即，圖4中紙面近前側(cè)(x方向的負(fù)側(cè))的面設(shè)置有報告開閉部4是否可開閉的作為報告裝置的報告部5。報告部5具有由圓形的lcd(liquidcrystaldisplay：液晶顯示器)構(gòu)成的監(jiān)視器51。另外，監(jiān)視器51與控制部80電連接，由控制部80控制其工作。

此外，報告部5被設(shè)置在第一門711、第一門721、第一門731、第二門732、以及第三門733，但以下，第代表性地對設(shè)置在第一門711的報告部5進(jìn)行說明。

如圖5以及圖7所示，在可打開第一門711以及第二門712的狀態(tài)下，在監(jiān)視器51上顯示“ok”這個字符。另一方面，如圖4所示，在限制打開第一門711以及第二門712的狀態(tài)下，在監(jiān)視器51顯示“no”這個字符。

另外，在監(jiān)視器51中，優(yōu)選顯示“ok”時的字符的顏色與顯示“no”時的字符的顏色不同。另外，在監(jiān)視器51中，優(yōu)選顯示“ok”時的字符的背景的顏色與顯示“no”時的字符的背景的顏色不同。通過為這樣的構(gòu)成，能夠使操作人員(作業(yè)者)容易識別。

在檢查裝置2中，通過將監(jiān)視器51設(shè)置在開閉部4，即，第一門711，從而在操作人員(作業(yè)者)進(jìn)行第一門711、第二門712的開閉作業(yè)時，能夠使操作人員(作業(yè)者)以較高的準(zhǔn)確度視覺確認(rèn)。

另外，如圖4所示，監(jiān)視器51優(yōu)選配置于從設(shè)置檢查裝置2的設(shè)置面m起600mm以上且2000mm以下的高度h的位置上，更優(yōu)選配置于900mm以上且1700mm以下的高度h的位置上。由此不論操作人員(作業(yè)者)的身高，都能夠容易觀察監(jiān)視器51，并且，能夠使操作人員(作業(yè)者)以較高的準(zhǔn)確度視覺確認(rèn)監(jiān)視器51。

接下來，參照圖8，對后蓋73側(cè)的第二門732、第三門733、第四門75、以及設(shè)置在第二門732與第三門733之間的指示接受部87進(jìn)行說明。此外，在后蓋73側(cè)也設(shè)置有第一門731，但由于是與第三門733同樣的構(gòu)成，所以省略此處的說明。

如圖8所示，設(shè)置在后蓋73側(cè)的第二門732是相對于形成在后蓋73的開口部738可開閉的門。由俯視時幾乎呈四邊形形狀的板部件構(gòu)成，第二門732的4個邊(邊緣部)45a、45b、45c、45d中的沿垂直方向延伸的邊45a通過2個轉(zhuǎn)動支承部42與后蓋73連結(jié)。這2個轉(zhuǎn)動支承部42在z方向上分離地配置。另外，在第二門732中，在后述的第四門75的對置位置上設(shè)置有能夠?qū)⒌谒拈T75開閉的開口部739。

同樣地，設(shè)置在后蓋73側(cè)的第三門733是相對于形成在后蓋73的開口部737可開閉的門。由俯視時幾乎呈四邊形形狀的板部件構(gòu)成，第三門733的4個邊(邊緣部)45a、45b、45c、45d中的沿垂直方向延伸的邊45a通過2個轉(zhuǎn)動支承部42與后蓋73連結(jié)。這2個轉(zhuǎn)動支承部42在z方向上分離地配置。

另外，各轉(zhuǎn)動支承部42由可轉(zhuǎn)動地支承第二門732以及第三門733的鉸鏈構(gòu)成。由此，能夠?qū)⒌诙T732以及第三門733支承為以與垂直方向(z方向)平行的軸為轉(zhuǎn)動軸，將第二門732沿箭頭α732方向轉(zhuǎn)動，另外將第三門733沿箭頭α733方向轉(zhuǎn)動。

第四門75是相對于形成在后蓋73側(cè)的內(nèi)側(cè)隔壁66(參照圖2)的開口部(未圖示)可開閉的門。由俯視時呈比第二門732小的幾乎四邊形形狀的板部件構(gòu)成，第四門75的4個邊(邊緣部)46a、46b、46c、46d中的沿垂直方向延伸的邊46a通過2個轉(zhuǎn)動支承部42與內(nèi)側(cè)隔壁66連結(jié)。這2個轉(zhuǎn)動支承部42在z方向上分離地配置，能夠?qū)⒌谒拈T75支承為以與垂直方向(z方向)平行的軸為轉(zhuǎn)動軸，沿箭頭α75(參照圖2)方向轉(zhuǎn)動。此外，第四門75被配設(shè)于設(shè)置在第二門732的開口部739內(nèi)可轉(zhuǎn)動的位置。

此外，在第二門732、第三門733、以及第四門75分別設(shè)置有由突起構(gòu)成的把手714。由此，能夠容易地進(jìn)行第二門732、第三門733、以及第四門75的開閉。

另外，如圖8所示，在后蓋73側(cè)的第二門732與第三門733之間設(shè)置有指示接受部87，該指示接受部87是按鈕開關(guān)，例如在操作人員(作業(yè)者)判斷為需要切換制冷劑的排出目的地的情況下，對該指示接受部87輸入切換的指示。此外，第二門732和第三門733構(gòu)成對供給區(qū)域a2以及檢查區(qū)域a3(第一室)的至少一部分進(jìn)行開閉的開閉部4。這樣，指示接受部87被配設(shè)在對供給區(qū)域a2以及檢查區(qū)域a3(第一室)的至少一部分進(jìn)行開閉的開閉部4的附近。指示接受部87與制冷劑控制部84電連接，由指示接受部87接受到的切換的指示被送至制冷劑控制部84。

這樣，通過將指示接受部87配置在開閉部4的附近，操作人員(作業(yè)者)能夠一邊確認(rèn)供給區(qū)域a2(第一室)內(nèi)、檢查區(qū)域a3(第一室)內(nèi)的狀況一邊對指示接受部87進(jìn)行操作(指示)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)誤操作的防止、作業(yè)效率的提高等。另外，指示接受部87是按鈕開關(guān)，從而能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行操作人員(作業(yè)者)的指示。

如上所述，檢查裝置2進(jìn)行高溫檢查或者低溫檢查。特別是在進(jìn)行低溫檢查的情況下，溫度調(diào)整部12、ic器件90等被冷卻而大氣中的水分結(jié)露或結(jié)冰。若產(chǎn)生這樣的結(jié)露、結(jié)冰，則有可能例如器件輸送頭17等的動作產(chǎn)生不良狀況、ic器件90的檢查不能夠正確地完成。為了應(yīng)對該情況，在檢查裝置2內(nèi)特別是供給區(qū)域a2(第一室)內(nèi)、檢查區(qū)域a3內(nèi)(第一室)，為了使各個的區(qū)域a2、a3的內(nèi)側(cè)的水分量減少(成為干燥狀態(tài))，而將作為制冷劑所使用的氮氣作為干氣而排出。

因此，在溫度調(diào)整部12等的冷卻時，特別是供給區(qū)域a2(第一室)內(nèi)、檢查區(qū)域a3(第一室)內(nèi)，氮氣(冷卻氣體)的濃度變高。因此，例如在產(chǎn)生電子部件的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)等時，不優(yōu)選操作人員(作業(yè)者)在該狀態(tài)下進(jìn)行開閉部4的開操作，需要停止制冷劑的供給而等待到氮氣的濃度下降。另外，若停止制冷劑的供給，則溫度調(diào)整部12等的溫度上升。

因此，在本實施方式中，成為對防止上述問題有效的構(gòu)成。以下，參照圖9，對其構(gòu)成進(jìn)行說明，但將包括供給區(qū)域a2以及檢查區(qū)域a3的室作為第一室，將收容流路控制室86(控制區(qū)域a6)的室作為第二室進(jìn)行說明。圖9是表示電子部件檢查裝置(檢查裝置2以及電子部件輸送裝置100)中的制冷劑的排出目的地的切換的示意配置圖。此外，以下，例示在低溫檢查中使檢查裝置2暫時停止，打開第三門733或者第二門732以及第四門75來進(jìn)行第一室內(nèi)的維護(hù)的情況來進(jìn)行說明。另外，檢查裝置2的工作中如圖4所示，在報告部5顯示意味不能夠進(jìn)行第三門733或者第二門732以及第四門75等開閉部4的開閉的“no”這個字符。

如圖9所示，本實施方式的構(gòu)成具備接受切換制冷劑的排出目的地的指示的指示接受部87、以及在指示接受部87接受到指示的情況下，指示制冷劑的排出目的地的制冷劑控制部84(控制部80)。并且，本實施方式的構(gòu)成具備構(gòu)成制冷劑的流路的液態(tài)氮罐121、熱交換器122、對輸送到的ic器件90進(jìn)行冷卻的溫度調(diào)整部12、以及根據(jù)來自制冷劑控制部84的指示來切換制冷劑的排出目的地的切換部860。

此外，此處的制冷劑包括液態(tài)氮、以及從液態(tài)氮生成的氮氣(冷卻氣體)的至少一個。通過使用這樣的、作為制冷劑而能夠容易得到的液態(tài)氮以及能夠從液態(tài)氮生成的氮氣(冷卻氣體)，能夠以簡易的構(gòu)成容易地進(jìn)行冷卻。

首先，在低溫檢查中，從液態(tài)氮罐121供給的液態(tài)氮通過熱交換器122一部分被冷卻氣化，并被供給至溫度調(diào)整部12。在指示接受部87未接受到指示的情況下，即進(jìn)行通常的低溫檢查的狀態(tài)下，冷卻了溫度調(diào)整部12的冷卻氣體(氮氣)如前述作為用于使供給區(qū)域a2、檢查區(qū)域a3(第一室)內(nèi)的水分量減少(為干燥狀態(tài))的干空氣，經(jīng)由構(gòu)成切換部860的第一閥123從設(shè)置在第一室內(nèi)的第一排出口125排出到第一室內(nèi)。此時，構(gòu)成切換部860的第二閥124被關(guān)閉。

接下來，對打開第三門733或者第二門732以及第四門75，需要進(jìn)行第一室內(nèi)的維護(hù)的情況進(jìn)行說明。這種情況下，操作人員(作業(yè)者)通過按下作為指示接受部87的按鈕開關(guān)來指示作為冷卻了溫度調(diào)整部12的制冷劑的冷卻氣體(氮氣)的排出目的地的切換。在指示接受部87進(jìn)行了切換的指示的情況下，根據(jù)來自制冷劑控制部84的指示，關(guān)閉切換部860的第一閥123，打開第二閥124。由此，供給到溫度調(diào)整部12的冷卻氣體(氮氣)的排出目的地從第一室內(nèi)的第一排出口125切換為設(shè)置在作為第一室的室外(與第一室不同的室)的第二室內(nèi)的第二排出口126。

這樣，在指示接受部87進(jìn)行了切換的指示的情況下，冷卻氣體(氮氣)的排出目的地從第一室內(nèi)被切換為第二室內(nèi)，而成為向溫度調(diào)整部12內(nèi)繼續(xù)供給的狀態(tài)。因此，通過維持溫度調(diào)整部12中的ic器件90的冷卻，并且停止冷卻氣體(氮氣)向第一室內(nèi)的排出，能夠使直到第一室內(nèi)的冷卻氣體(氮氣)濃度降低之前所花費的時間縮短。另外，即使在修復(fù)不良狀況并開始低溫檢查的情況下，也無需重新進(jìn)行使溫度調(diào)整部12的溫度從常溫下降至低溫的冷卻動作，能夠縮短ic器件90的冷卻的時間。根據(jù)這些，能夠提高例如ic器件90產(chǎn)生卡紙等時、進(jìn)行維護(hù)等時的作業(yè)效率。

另外，通過向最外包裝為前蓋861、側(cè)蓋862、側(cè)蓋863、后蓋865、以及頂蓋866形成的第二框體圍起的作為第二室的流路控制室86(控制區(qū)域a6)排出冷卻氣體(氮氣)，能夠?qū)⒗鋮s氣體(氮氣)緩緩地排出到裝置外，并能夠防止大量的冷卻氣體(氮氣)被一下子排出到裝置外。

另外，作為此時的冷卻氣體(氮氣)的排出目的地的第二室(流路控制室86(控制區(qū)域a6))被配置在器件回收區(qū)域a4的垂直方向上側(cè)(圖1的z方向的正側(cè))，即比第一室更靠垂直方向上側(cè)，所以比大氣輕的冷卻氣體(氮氣)朝向上方(垂直方向上側(cè))上升，能夠抑制滯留在地板面附近。

以下，基于圖10所示的流程圖，對控制部80的控制動作進(jìn)行說明。此外，以下，將包括供給區(qū)域a2以及檢查區(qū)域a3的室作為第一室、將收容流路控制室86(控制區(qū)域a6)的室作為第二室進(jìn)行說明。另外，以下，對在低溫檢查中使檢查裝置2暫時停止，打開第三門733或者第二門732以及第四門75來進(jìn)行第一室內(nèi)的維護(hù)的情況進(jìn)行說明。另外，檢查裝置2的工作中如圖4所示，在報告部5顯示“no”這個字符。

首先，在步驟s100中，操作人員(作業(yè)者)進(jìn)行操作面板700的操作，使檢查裝置2的工作停止，按下指示接受部87的按鈕開關(guān)，并且按下氣缸740以及鎖定部件43的接合的解除按鈕(未圖示)。由此，冷卻氣體(氮氣)的排出目的地從第一室被切換為第二室。此外，向溫度調(diào)整部12繼續(xù)供給冷卻氣體(氮氣)，維持溫度調(diào)整部12的冷卻狀態(tài)。

另外，在指示接受部87的按鈕開關(guān)被按下的情況下，優(yōu)選控制部80例如使用光、聲音等來報告有無對指示接受部87的指示。這樣的報告能夠由作為報告裝置的、例如監(jiān)視器51(報告部5)、信號燈400進(jìn)行。通過進(jìn)行這樣的報告，操作人員(作業(yè)者)能夠可靠地察覺、識別有無對指示接受部87的指示，即是否進(jìn)行了排出目的地的切換的指示。

而且，在步驟s101中，通過濃度傳感器800對冷卻氣體(氮氣)的排出停止的供給區(qū)域a2內(nèi)的冷卻氣體的濃度n進(jìn)行檢測。而且，在步驟s102中，計算直到濃度n比預(yù)先存儲在存儲部83中的規(guī)定值n0小之前所需要的時間，即，至可打開第一門711以及第二門712為止的作為信息的剩余時間。該計算通過對濃度n隨著時間的經(jīng)過而降低進(jìn)行實驗來測量，并基于得到的標(biāo)準(zhǔn)曲線(未圖示)來進(jìn)行。

接下來，在步驟s103中，將步驟s102中所計算出的時間顯示于監(jiān)視器51(參照圖6)。此外，在圖6中，在監(jiān)視器51顯示“15”這個數(shù)字，表示剩余時間是15秒。顯示在該監(jiān)視器51上的剩余時間隨著時間的經(jīng)過而倒計時，顯示的數(shù)字減少。

這樣，監(jiān)視器51顯示(報告)至能夠打開第一門711以及第二門712為止的作為信息的剩余時間。由此，例如，操作人員(作業(yè)者)能夠掌握至能夠打開第一門711以及第二門712為止的時間。因此，操作人員(作業(yè)者)能夠在直至進(jìn)行打開第一門711以及第二門712的作業(yè)之前進(jìn)行其它的作業(yè)，并能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)效率的提高。

而且，在步驟s104中，對濃度傳感器800檢測出的冷卻氣體的濃度n、和存儲在存儲部83中的規(guī)定值n0進(jìn)行比較。此外，規(guī)定值n0是表示冷卻氣體的濃度的值，是低到對操作人員(作業(yè)者)充分安全的程度的值。

在步驟s105中，在判斷為濃度n低于規(guī)定值n0的情況下，解除氣缸740以及鎖定部件43的接合(參照圖7)。而且，在步驟s106中，報告可打開第一門711以及第二門712。

在本實施方式中，如圖7所示，在監(jiān)視器51上顯示“ok”這個字符。由此，能夠使操作人員(作業(yè)者)識別到能夠打開第一門711以及第二門712。因此，雖然冷卻氣體的濃度n的降低不充分，但能夠防止操作人員(作業(yè)者)使第一門711以及第二門712成為打開狀態(tài)。因而，能夠確保操作人員(作業(yè)者)的安全。

此外，若在氣缸740以及鎖定部件43接合的關(guān)閉狀態(tài)下，操作人員(作業(yè)者)要打開第一門711以及第二門712，取決于其力，但氣缸740以及鎖定部件43有可能損壞。在檢查裝置2中，構(gòu)成為解除氣缸740以及鎖定部件43的接合，在能夠打開第一門711以及第二門712之后報告部5將該情況報告。由此，能夠防止氣缸740以及鎖定部件43損壞。

另外，在步驟s106中，不光對報告部5報告能夠打開第一門711以及第二門712，在監(jiān)視器300也顯示該情況。即，監(jiān)視器300顯示第一門711以及第二門712是否可開閉。由此，即使操作人員(作業(yè)者)停留在遠(yuǎn)離第一門711以及第二門712的地方，也能夠使操作人員(作業(yè)者)識別到可打開第一門711以及第二門712。

另外，在檢查裝置2中，報告部5使用光來報告，所以能夠使操作人員(作業(yè)者)以較高的準(zhǔn)確度識別是否可進(jìn)行第一門711以及第二門712的開閉。

另外，第一門711以及第二門712由具有透光性的材料構(gòu)成。因此，操作人員(作業(yè)者)能夠視覺確認(rèn)氣缸740以及鎖定部件43的工作狀態(tài)。即，可以說報告部5具備能夠視覺確認(rèn)氣缸740以及鎖定部件43的工作狀態(tài)的窗部。由此，例如，即使省略監(jiān)視器51來簡化報告部5的構(gòu)成，操作人員(作業(yè)者)通過視覺確認(rèn)氣缸740以及鎖定部件43的工作狀態(tài)，也能夠掌握是否可進(jìn)行第一門711以及第二門712的開閉。

根據(jù)上述的第一實施方式所涉及的電子部件輸送裝置100，能夠通過切換部860將作為制冷劑的液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣)的排出目的地從第一室切換為第二室。由此，能夠縮短直到在配置有作為冷卻部的溫度調(diào)整部12的第一室(供給區(qū)域a2、檢查區(qū)域a3)內(nèi)充滿的制冷劑(液態(tài)氮冷卻氣體(氮氣))的濃度降低之前所花費的時間，例如能夠提高產(chǎn)生ic器件90的卡紙時、進(jìn)行維護(hù)等時的作業(yè)效率。

另外，切換部860基于對指示接受部87的指示來切換該制冷劑的排出目的地，該指示接受部87接受切換制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))的排出目的地的指示。由此，例如基于操作人員(作業(yè)者)對指示接受部87進(jìn)行的指示來切換制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))的排出目的地，所以能夠更準(zhǔn)確且可靠地進(jìn)行切換。

另外，在指示接受部87未接受到指示的情況下，通過切換部860使制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))排出到第一室，而在指示接受部87接受到指示的情況下，使制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))排出到第一室的室外(第二室)。由此，能夠縮短直到配置有作為冷卻部的溫度調(diào)整部12的供給區(qū)域a2內(nèi)、檢查區(qū)域a3等第一室內(nèi)的制冷劑濃度降低之前所花費的時間，并能夠提高作業(yè)效率。

另外，通過作為報告裝置的監(jiān)視器51(報告部5)、信號燈400，能夠使操作人員(作業(yè)者)識別切換指示的有無、開閉部4是否可開閉。因此，例如雖然是電子部件輸送裝置100的內(nèi)側(cè)對操作人員(作業(yè)者)來說不優(yōu)選的狀態(tài)，但能夠防止操作人員(作業(yè)者)使開閉部4成為打開狀態(tài)。因此，能夠確保操作人員(作業(yè)者)的安全。

此外，在具有電子部件輸送裝置100和檢查部16的檢查裝置2中，也起到與上述同樣的效果。

此外，上述，示出將冷卻溫度調(diào)整部12后的制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))的排出目的地切換的例子來進(jìn)行了說明，但并不限于此。在具有冷卻ic器件90的功能例如器件供給部14、檢查部16以及器件輸送頭17等中也進(jìn)行冷卻的情況下，除了溫度調(diào)整部12所使用的制冷劑之外，還可以切換器件供給部14、檢查部16以及器件輸送頭17等中使用于冷卻的制冷劑(液態(tài)氮、冷卻氣體(氮氣))的排出目的地。

＜第二實施方式＞

圖11以及圖12是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實施方式)具備的開閉部以及報告部的圖。

以下，參照圖11以及圖12，對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第二實施方式進(jìn)行說明，但以與前述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，同樣的事項標(biāo)記相同的符號，并省略其說明。

在檢查裝置2a中，報告部5a具有設(shè)置在作為窗部的第一門711的“ok”這樣的第一顯示h1、設(shè)置在第一門711的“no”這樣的第二顯示h2、以及與氣缸桿740a連結(jié)的作為識別部的識別板52。

第一顯示h1被設(shè)置在第一門711的z方向的正側(cè)且y方向的負(fù)側(cè)的角部附近。該第一顯示h1是表示能夠使第一門711以及第二門712成為打開狀態(tài)的顯示。

第二顯示h2作為第一顯示h1不同的位置的一個例子而位于z方向的負(fù)側(cè)。該第二顯示h2是表示限制使第一門711以及第二門712成為打開狀態(tài)的顯示。

這些第一顯示h1以及第二顯示h2例如由墨打印出的字、粘接物等構(gòu)成。另外，優(yōu)選第一顯示h1以及第二顯示h2例如是白色等比較淡的顏色。

識別板52由被固定在氣缸桿740a的z方向的負(fù)側(cè)的端部的板部件構(gòu)成。另外，識別板52例如具有黑色等比較濃的顏色。

如圖12所示，識別板52構(gòu)成為在氣缸桿740a退避的狀態(tài)、能夠成為打開狀態(tài)的狀態(tài)下，位于經(jīng)由第一門711與第一顯示h1重疊的第一位置。另一方面，識別板52構(gòu)成為在氣缸桿740a突出的狀態(tài)，即，限制成為打開狀態(tài)的狀態(tài)下，位于經(jīng)由第一門711與第二顯示h2重疊的第二位置。

在第一顯示h1與識別板52重疊的狀態(tài)下，通過識別板52，能夠容易使第一顯示h1比第二顯示h2顯眼。由此，操作人員(作業(yè)者)能夠容易地識別出可成為打開狀態(tài)。另一方面，在第二顯示h2與識別板52重疊的狀態(tài)下，通過識別板52，能夠容易使第二顯示h2比第一顯示h1顯眼。由此，操作人員(作業(yè)者)能夠容易地識別出限制成為打開狀態(tài)。

這樣，識別板52與氣缸桿740a的工作狀態(tài)連動地在第一位置與第二位置之間移動，從而能夠識別第一門711以及第二門712是否可開閉。

根據(jù)這樣的本實施方式，能夠省略第一實施方式的監(jiān)視器51。因此，能夠使報告部5a的構(gòu)成簡單，并且能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。

以上，將本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置針對圖示的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于此，構(gòu)成電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的各部能夠置換為可發(fā)揮同樣的功能的任意的構(gòu)成。另外，也可以附加任意的構(gòu)成物。

另外，本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置也可以組合上述各實施方式中的任意2個以上的構(gòu)成(特征)。

此外，在上述各實施方式中，報告部報告開閉部是否可開閉，即，是報告可打開、和禁止打開這兩種意思，在本發(fā)明中并不限于此，顯示可打開、和禁止打開中的至少一方即可。

另外，在上述第一實施方式中，報告部通過光進(jìn)行報告，但并不限于此，使用光以及聲音的至少一方來進(jìn)行報告即可。即，可以省略通過光的報告而僅利用聲音進(jìn)行報告，也可以使用光和聲音兩者來進(jìn)行報告。

另外，在上述各實施方式中，作為報告裝置的報告部被設(shè)置在開閉部，但在本發(fā)明中并不限于此，例如也可以設(shè)置在開閉部的附近等從開閉部偏離的位置。

另外，報告部的顯示部也可以是使用了led(lightemittingdiode：發(fā)光二極管)的監(jiān)視器。

另外，在上述各實施方式中，開閉部通過轉(zhuǎn)動而進(jìn)行開閉，但在本發(fā)明中并不限于此，例如也可以通過沿x方向、y方向以及z方向中的任意一個方向滑動來進(jìn)行開閉操作。

另外，在上述第一實施方式中，報告部顯示剩余時間作為直到可打開開閉部之前的信息的一個例子，但在本發(fā)明中并不限于此，例如也可以通過百分?jǐn)?shù)顯示報告剩余時間。

附圖標(biāo)記說明

2、2a…檢查裝置，4…開閉部，42…轉(zhuǎn)動支承部，43…鎖定部件，5、5a…報告部，51…監(jiān)視器，52…識別板，6…輸送部，11a、11b…托盤輸送機構(gòu)，12…溫度調(diào)整部，13…器件輸送頭，14…器件供給部，15…托盤輸送機構(gòu)，16…檢查部，17…器件輸送頭，18…器件回收部，19…回收用托盤，20…器件輸送頭，21、22a、22b…托盤輸送機構(gòu)，61…第一隔壁，62…第二隔壁，63…第三隔壁，64…第四隔壁，65…第五隔壁，66…內(nèi)側(cè)隔壁，70…前蓋，71…側(cè)蓋，711…第一門，712…第二門，72…側(cè)蓋，721…第一門，722…第二門，73…后蓋，731…第一門，732…第二門，733…第三門，74…頂蓋，740…氣缸，75…第四門，80…控制部，81…驅(qū)動控制部，82…檢查控制部，83…存儲部，84…制冷劑控制部，86…流路控制部，87…指示接受部，90…電子部件作為的ic器件，100…電子部件輸送裝置，200…托盤，300…監(jiān)視器，301…顯示畫面，400…信號燈，500…揚聲器，600…鼠標(biāo)臺，700…操作面板，800…濃度傳感器，a1…托盤供給區(qū)域，a2…供給區(qū)域，a3…檢查區(qū)域，a4…器件回收區(qū)域(回收區(qū)域)，a5…托盤除去區(qū)域，α11a、α11b、α13x、α13y、α14、α15、α17y、α18、α20x、α20y、α21、α22a、α22b、α71、α72、α731、α732、α733、α75、α90…箭頭。