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拾取芯片的方法及芯片拾取設(shè)備與流程

文檔序號(hào):41947865發(fā)布日期:2025-05-16 14:05閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種拾取芯片的方法,其特征在于,應(yīng)用于芯片拾取設(shè)備,所述拾取芯片的方法包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述m個(gè)參考芯片中至少兩個(gè)所述參考芯片位于不同行,至少兩個(gè)所述參考芯片位于不同列;至少一個(gè)所述參考芯片的兩個(gè)側(cè)面相鄰的區(qū)域的狀態(tài)信息為無芯片或設(shè)有不完整芯片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾取芯片的方法,其特征在于,位于同一行的所述至少兩個(gè)第一芯片相鄰,位于同一列的所述至少兩個(gè)第一芯片相鄰。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾取芯片的方法,其特征在于,m等于三;和/或,所述參考芯片為完整芯片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述根據(jù)第一位置信息確定在所述第一圖像中所述第一晶圓的第一基準(zhǔn)芯片與所述參考芯片的第一相對位置信息,包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述目標(biāo)芯片在所述第二圖像中的位置信息及所述第一相對位置信息,確定所述第二晶圓的第二基準(zhǔn)芯片在所述第二圖像中的第二位置信息,包括:

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述第二位置信息及所述第二晶圓的合格芯片與所述第二基準(zhǔn)芯片的第二相對位置信息,確定所述合格芯片在所述第二圖像的第三位置信息,并根據(jù)所述第三位置信息生成拾取芯片的控制信息之前,所述拾取芯片的方法還包括:

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述第二晶圓包括多個(gè)所述合格芯片;

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述第一圖像包括多個(gè)第一圖像區(qū)域,所述在所述第一圖像的芯片中選取m個(gè)參考芯片之后,所述拾取芯片的方法還包括:確定所述m個(gè)參考芯片所在的第一圖像區(qū)域;

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的拾取芯片的方法,其特征在于,所述根據(jù)各所述參考芯片的狀態(tài)及與各所述參考芯片的側(cè)面相鄰的區(qū)域的狀態(tài),在確定出的所述第二圖像區(qū)域中尋找所述目標(biāo)芯片,包括:

11.一種芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述芯片拾取設(shè)備包括載臺(tái)、攝像頭、機(jī)械手及處理器,所述載臺(tái)用于放置晶圓,所述攝像頭用于獲取放置在所述載臺(tái)上的晶圓的圖像,所述機(jī)械手用于拾取所述晶圓中的合格芯片,所述處理器用于執(zhí)行權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的拾取芯片的方法。


技術(shù)總結(jié)
一種拾取芯片的方法及芯片拾取設(shè)備。拾取芯片的方法包括:獲取放置在芯片拾取設(shè)備上的第一晶圓的第一圖像;在第一圖像的芯片中選取M個(gè)參考芯片,并確定各參考芯片的第一位置信息;根據(jù)第一位置信息確定第一晶圓的第一基準(zhǔn)芯片與參考芯片的第一相對位置信息;獲取放置在芯片拾取設(shè)備上的第二晶圓的第二圖像;第二晶圓的結(jié)構(gòu)與第一晶圓的結(jié)構(gòu)相同;在第二圖像中確定M個(gè)目標(biāo)芯片,M個(gè)目標(biāo)芯片的排布與M個(gè)參考芯片的排布相同,且M個(gè)目標(biāo)芯片的相鄰區(qū)域的狀態(tài)信息與M個(gè)參考芯片的相鄰區(qū)域的狀態(tài)信息相同;確定所述第二晶圓的第二基準(zhǔn)芯片在第二圖像中的第二位置信息;確定合格芯片在第二圖像的第三位置信息,并生成拾取芯片的控制信息。

技術(shù)研發(fā)人員:袁凡,顧衛(wèi)華,焦偉偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華潤潤安科技(重慶)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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