1.一種磁控濺射陰極座的磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置包括：法蘭座、驅(qū)動(dòng)螺桿、調(diào)節(jié)手輪、導(dǎo)向軸、直線軸承以及安裝板；
所述法蘭座為至少兩個(gè)，所述驅(qū)動(dòng)螺桿一端安裝有法蘭座，所述調(diào)節(jié)手輪螺接于所述驅(qū)動(dòng)螺桿上，且所述調(diào)節(jié)手輪樞轉(zhuǎn)安裝于所述安裝板上，所述導(dǎo)向軸與所述驅(qū)動(dòng)螺桿間隔且平行設(shè)置，所述導(dǎo)向軸一端安裝有法蘭座，所述導(dǎo)向軸通過直線軸承滑動(dòng)地安裝于所述安裝板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)螺桿的端部具有尺寸刻度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向軸的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)導(dǎo)向軸對(duì)稱分布于所述驅(qū)動(dòng)螺桿的兩側(cè)，兩個(gè)導(dǎo)向軸的端部分別安裝有法蘭座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述法蘭座為絕緣法蘭座。
5.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述真空鍍膜設(shè)備包括：水冷座、安裝底座、磁鐵、導(dǎo)磁體以及如權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置；
所述磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置通過安裝底座固定安裝于所述水冷座上，所述磁鐵和導(dǎo)磁體相互連接形成一整體，所述磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述磁鐵和導(dǎo)磁體形成的整體固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述安裝底座與所述磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)置有絕緣板。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述磁鐵為若干個(gè)，若干個(gè)磁鐵并排設(shè)置，且并排設(shè)置的若干個(gè)磁鐵位于所述導(dǎo)磁體之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述磁場(chǎng)移動(dòng)調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述導(dǎo)磁體進(jìn)行固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述真空鍍膜設(shè)備還包括電源，所述電源與所述導(dǎo)磁體電性連接。