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一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置的制作方法

文檔序號:41563774發(fā)布日期:2025-04-08 18:17閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:包括石墨坩堝(6),所述石墨坩堝(6)的頂部套接有旋桿(8),所述石墨坩堝(6)頂部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有籽晶托(1),所述籽晶托(1)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有籽晶(2),所述籽晶托(1)的底端通過等徑環(huán)(3)連接有熱解碳涂層的多孔石墨(7),所述石墨坩堝(6)內(nèi)側(cè)的中部設(shè)置有防腐蝕環(huán)(4),所述防腐蝕環(huán)(4)的頂部與熱解碳涂層的多孔石墨(7)抵接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述石墨坩堝(6)安設(shè)在加熱部件的內(nèi)側(cè);

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述活動腔(16)內(nèi)側(cè)的底部設(shè)置有底架(22),所述底架(22)的中部設(shè)置有驅(qū)動電機(jī)(19),所述驅(qū)動電機(jī)(19)的動力輸出端通過連接軸(18)與石墨坩堝(6)的底端連接,所述石墨坩堝(6)的底端與支撐架(34)之間設(shè)置有多個承載球體(10)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述加熱部件還包括伺服電機(jī)(11)、底架(22)、絲接架(29)、底部支架(31)和限位桿(32),所述外筒(12)的底部圓周陣列有若干個伺服電機(jī)(11),所述伺服電機(jī)(11)的動力輸出端設(shè)置有絲桿(21),所述線圈槽(15)內(nèi)豎直設(shè)置有限位桿(32),所述限位桿(32)的上滑動連接有活動架(30),所述活動架(30)的一端設(shè)置有絲接架(29),所述絲接架(29)與對應(yīng)的絲桿(21)螺紋連接,所述活動架(30)的另一端開設(shè)有凹槽,所述凹槽與伸縮線圈(20)卡接,所述活動架(30)另一端的底部設(shè)置有底部支架(31),所述底部支架(31)托著伸縮線圈(20),所述伸縮線圈(20)內(nèi)部中心處設(shè)置有聚乙烯條。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述承載球體(10)的內(nèi)側(cè)為空腔,所述空腔的內(nèi)壁貼合著耐磨層(33),所述耐磨層(33)的里側(cè)容納著液體,所述承載球體(10)為蛋形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述線圈槽(15)的頂部和中部均設(shè)置有供電組件,所述供電組件包括石墨接觸層(24)、連接板(25)、連接柱(26)、彈簧(27)和活動槽二(28),所述外筒(12)靠近線圈槽(15)的內(nèi)壁開設(shè)有兩個活動槽二(28),所述活動槽二(28)內(nèi)活動插接有連接柱(26),所述連接柱(26)兩個一組并連接于同一個連接板(25)上,所述連接柱(26)上設(shè)置有彈簧(27),所述彈簧(27)伸入活動槽二(28)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述外筒(12)的頂部開設(shè)有頂槽(13),所述頂槽(13)的頂部插接有蓋板(14)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述石墨坩堝(6)的底部和保溫筒(9)的內(nèi)底壁均凹設(shè)著貼合溝槽(23),所述貼合溝槽(23)與承載球體(10)對應(yīng)活動連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述支撐架(34)的中部設(shè)置有導(dǎo)向筒(35),所述導(dǎo)向筒(35)與連接軸(18)活動連接,所述連接軸(18)的材料為非金屬。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,其特征在于:所述伸縮線圈(20)上設(shè)置有拉環(huán)(37),上下相鄰的兩個拉環(huán)(37)通過彈性繩(36)連接。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種改善晶體邊緣質(zhì)量的裝置,包括石墨坩堝,所述石墨坩堝的頂部套接有旋桿,所述石墨坩堝頂部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有籽晶托,所述籽晶托的內(nèi)側(cè)設(shè)置有籽晶,所述籽晶托的底端通過等徑環(huán)連接有熱解碳涂層的多孔石墨,所述石墨坩堝內(nèi)側(cè)的中部設(shè)置有防腐蝕環(huán),所述防腐蝕環(huán)的頂部與熱解碳涂層的多孔石墨抵接。通過在防腐蝕環(huán)上方放置熱解碳涂層的多孔石墨環(huán),多孔石墨環(huán)的空隙尺寸小于碳顆粒尺寸,能有效過濾防腐蝕環(huán)以及坩堝近壁側(cè)邊緣高溫區(qū)域粉料優(yōu)先升華石墨化產(chǎn)生過的碳顆粒,且因?yàn)槎嗫资h(huán)具有熱解碳涂層,對硅化腐蝕具有阻滯作用,不會因?yàn)樽陨硎牧隙纬尚碌奶碱w粒污染,從而提高晶體邊緣質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員:請求不公布姓名,袁振洲,劉欣宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/4/7
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