本發(fā)明涉及玻璃基板生產(chǎn)搬運(yùn)，具體為一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂。

背景技術(shù)：

1、玻璃基板已經(jīng)歷了十幾代的發(fā)展，根據(jù)其尺寸和質(zhì)量的不同，我們將玻璃基板大致分為小型（1代-5代）、中型（6代-9代）和大型（10代及以后代次）三大類別，在生產(chǎn)過(guò)程中，玻璃基板需要在各種生產(chǎn)設(shè)備間傳遞與交換，有些產(chǎn)品需要傳遞與交換的次數(shù)可多達(dá)幾十、上百次，因此，玻璃基板在前后端制程間的傳遞方式和傳遞效率成為影響平板顯示產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的重要因素之一，同時(shí)國(guó)內(nèi)fpd產(chǎn)業(yè)起步較晚，其自動(dòng)化傳輸技術(shù)與國(guó)外還有很大的差距，因此對(duì)fpd產(chǎn)業(yè)的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人的研究還停留在對(duì)國(guó)外成熟產(chǎn)品的仿造上，這些都嚴(yán)重制約著我國(guó)fpd產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2、現(xiàn)有的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人大多數(shù)僅僅局限于搬運(yùn)一種尺寸大小的玻璃基板，機(jī)器人的自動(dòng)化能力也不足，多少還要依靠人力的輔助，這樣就會(huì)使搬運(yùn)效率低下，污染度變的較高，進(jìn)一步影響了企業(yè)的發(fā)展。

3、在真空腔室中，由于缺乏空氣的對(duì)流散熱，機(jī)械臂運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的熱量難以散發(fā)出去，導(dǎo)致局部溫度升高，不同材料制成的機(jī)械臂部件具有不同的熱膨脹系數(shù)，溫度升高會(huì)使部件發(fā)生熱脹冷縮，進(jìn)而改變機(jī)械臂的幾何尺寸和形狀，而且，真空環(huán)境中缺少空氣作為電荷的傳導(dǎo)介質(zhì)，機(jī)械臂在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，由于部件之間的摩擦、材料與周圍環(huán)境的相互作用等原因，容易產(chǎn)生靜電積累，靜電會(huì)吸附周圍的微小顆粒，這些顆粒可能會(huì)進(jìn)入機(jī)械臂的關(guān)節(jié)、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部位，增加摩擦和磨損，影響機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，解決了溫度和靜電對(duì)機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和精度的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，包括電動(dòng)平移臺(tái)，所述電動(dòng)平移臺(tái)的兩端均固定連接有防護(hù)架，所述電動(dòng)平移臺(tái)的兩側(cè)固定連接有分布均勻的支撐板，所述防護(hù)架和支撐板的底部均貫穿并螺紋連接有支撐腿，所述電動(dòng)平移臺(tái)之間設(shè)置有固定臺(tái)，所述固定臺(tái)的頂部固定連接有電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部固定連接有放置臺(tái)，所述放置臺(tái)的頂部固定連接有連接件，所述連接件的一側(cè)設(shè)置有防靜電組件，所述連接件的頂部固定連接有驅(qū)動(dòng)架，所述驅(qū)動(dòng)架的內(nèi)壁兩側(cè)均固定連接有固定板，一側(cè)所述固定板的頂部一側(cè)和底部一側(cè)均固定連接有剎車電機(jī)，另一側(cè)所述固定板的頂部另一側(cè)和底部另一側(cè)均固定連接有剎車電機(jī)，所述剎車電機(jī)的輸出端均固定連接有同步帶輪，同一側(cè)所述同步帶輪之間均設(shè)置有同步帶，所述同步帶的一側(cè)固定連接有升降架，所述升降架的一側(cè)設(shè)置有濕度組件，所述升降架的頂部設(shè)置有濕度傳感器，一端所述防護(hù)架的一端設(shè)置有濕度傳感器，所述驅(qū)動(dòng)架的頂部貫穿并設(shè)置有泄壓閥。

3、優(yōu)選的，所述防靜電組件包括濕度箱，所述濕度箱與連接件的一側(cè)固定連接，所述濕度箱的頂部一側(cè)貫穿并螺紋連接有電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的底部螺紋連接有液氮罐，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的外圈一側(cè)貫穿并固定連接有濕度管，所述濕度管的外壁貫穿并固定連接有第一低溫球閥，所述第一低溫球閥的一端固定連接有加濕管。

4、優(yōu)選的，所述濕度箱的頂部另一側(cè)開(kāi)設(shè)有水箱，所述水箱與加濕管貫穿并固定連接，所述濕度箱的頂部另一側(cè)設(shè)置有濾網(wǎng)。

5、優(yōu)選的，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的外圈一端貫穿并固定連接有降溫管，所述降溫管的外壁貫穿并固定連接有第二低溫球閥，所述第二低溫球閥的一端固定連接有安裝管，且安裝管與驅(qū)動(dòng)架貫穿并固定連接。

6、優(yōu)選的，所述濕度組件包括保濕箱，所述保濕箱的內(nèi)壁底部固定連接有分布均勻的加熱板，所述加熱板之間均設(shè)置有分布均勻的沸石。

7、優(yōu)選的，所述保濕箱的頂部貫穿并滑動(dòng)連接有箱蓋，所述箱蓋的頂部貫穿并固定連接有收集管，且收集管與水箱貫穿并固定連接。

8、優(yōu)選的，所述保濕箱的前后兩端均固定連接有收集箱，所述收集箱的一側(cè)均固定連接有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端均固定連接有收卷門，且收卷門與保濕箱滑動(dòng)連接。

9、優(yōu)選的，所述升降架的一端頂部和底部均固定連接有大臂，所述大臂的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接有中臂，所述中臂的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接有小臂，所述小臂的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接有插塊，所述插塊的一端固定連接有分布均勻的插桿。

10、本發(fā)明提供了一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂。具備以下有益效果：

11、1、本發(fā)明通過(guò)多個(gè)濕度傳感器，對(duì)真空腔內(nèi)的環(huán)境濕度進(jìn)行檢測(cè)，將濕度傳感器與控制系統(tǒng)相連，將濕度傳感器的濕度范圍設(shè)定在30%-50%，當(dāng)濕度超出范圍時(shí)，通過(guò)濕度組件對(duì)濕度進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)濕度低于范圍時(shí)，通過(guò)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥打開(kāi)液氮罐，然后在打開(kāi)第一低溫球閥，液氮罐中的液氮由液態(tài)轉(zhuǎn)而成為氣態(tài)，氮?dú)馔ㄟ^(guò)加濕管進(jìn)入水箱內(nèi)，讓氮?dú)庖詺馀莸男问酵ㄟ^(guò)水層，在這個(gè)過(guò)程中，氮?dú)馀c水充分接觸，部分水汽會(huì)蒸發(fā)并混入氮?dú)庵?，從而?shí)現(xiàn)氮?dú)獾募訚瘛?/p>

12、2、本發(fā)明當(dāng)濕度超出范圍時(shí)，打開(kāi)伺服電機(jī)，伺服電機(jī)輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)收卷門進(jìn)行收卷，將收卷門收卷入收集箱內(nèi)，也可根據(jù)需求只打開(kāi)一部分，根據(jù)真空腔內(nèi)的環(huán)境濕度進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)沸石吸附后，在設(shè)備停機(jī)后，打開(kāi)加熱板，加熱板對(duì)沸石進(jìn)行加熱，加熱溫度在200-500℃之間，加熱時(shí)間為2小時(shí)，將因范德華力被吸附在沸石的孔道和表面的水分子進(jìn)行脫附，使沸石恢復(fù)吸附能力。

技術(shù)特征：

1.一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，包括電動(dòng)平移臺(tái)（1），其特征在于，所述電動(dòng)平移臺(tái)（1）的兩端均固定連接有防護(hù)架（2），所述電動(dòng)平移臺(tái)（1）的兩側(cè)固定連接有分布均勻的支撐板（4），所述防護(hù)架（2）和支撐板（4）的底部均貫穿并螺紋連接有支撐腿（3），所述電動(dòng)平移臺(tái)（1）之間設(shè)置有固定臺(tái)（5），所述固定臺(tái)（5）的頂部固定連接有電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)（6），所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)（6）的頂部固定連接有放置臺(tái)（7），所述放置臺(tái)（7）的頂部固定連接有連接件（8），所述連接件（8）的一側(cè)設(shè)置有防靜電組件，所述連接件（8）的頂部固定連接有驅(qū)動(dòng)架（10），所述驅(qū)動(dòng)架（10）的內(nèi)壁兩側(cè)均固定連接有固定板（40），一側(cè)所述固定板（40）的頂部一側(cè)和底部一側(cè)均固定連接有剎車電機(jī)（41），另一側(cè)所述固定板（40）的頂部另一側(cè)和底部另一側(cè)均固定連接有剎車電機(jī)（41），所述剎車電機(jī)（41）的輸出端均固定連接有同步帶輪（42），同一側(cè)所述同步帶輪（42）之間均設(shè)置有同步帶（43），所述同步帶（43）的一側(cè)固定連接有升降架（11），所述升降架（11）的一側(cè)設(shè)置有濕度組件，所述升降架（11）的頂部設(shè)置有濕度傳感器（12），一端所述防護(hù)架（2）的一端設(shè)置有濕度傳感器（12），所述驅(qū)動(dòng)架（10）的頂部貫穿并設(shè)置有泄壓閥（13）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述防靜電組件包括濕度箱（9），所述濕度箱（9）與連接件（8）的一側(cè)固定連接，所述濕度箱（9）的頂部一側(cè)貫穿并螺紋連接有電動(dòng)調(diào)節(jié)閥（23），所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥（23）的底部螺紋連接有液氮罐（22），所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥（23）的外圈一側(cè)貫穿并固定連接有濕度管（24），所述濕度管（24）的外壁貫穿并固定連接有第一低溫球閥（25），所述第一低溫球閥（25）的一端固定連接有加濕管（28）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述濕度箱（9）的頂部另一側(cè)開(kāi)設(shè)有水箱（29），所述水箱（29）與加濕管（28）貫穿并固定連接，所述濕度箱（9）的頂部另一側(cè)設(shè)置有濾網(wǎng)（27）。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)閥（23）的外圈一端貫穿并固定連接有降溫管（26），所述降溫管（26）的外壁貫穿并固定連接有第二低溫球閥（30），所述第二低溫球閥（30）的一端固定連接有安裝管（31），且安裝管（31）與驅(qū)動(dòng)架（10）貫穿并固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述濕度組件包括保濕箱（33），所述保濕箱（33）的內(nèi)壁底部固定連接有分布均勻的加熱板（34），所述加熱板（34）之間均設(shè)置有分布均勻的沸石（35）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述保濕箱（33）的頂部貫穿并滑動(dòng)連接有箱蓋（36），所述箱蓋（36）的頂部貫穿并固定連接有收集管（32），且收集管（32）與水箱（29）貫穿并固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述保濕箱（33）的前后兩端均固定連接有收集箱（38），所述收集箱（38）的一側(cè)均固定連接有伺服電機(jī)（37），所述伺服電機(jī)（37）的輸出端均固定連接有收卷門（39），且收卷門（39）與保濕箱（33）滑動(dòng)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，其特征在于，所述升降架（11）的一端頂部和底部均固定連接有大臂（14），所述大臂（14）的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第一驅(qū)動(dòng)裝置（19），所述第一驅(qū)動(dòng)裝置（19）的輸出端固定連接有中臂（15），所述中臂（15）的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第二驅(qū)動(dòng)裝置（20），所述第二驅(qū)動(dòng)裝置（20）的輸出端固定連接有小臂（16），所述小臂（16）的底部一側(cè)貫穿并固定連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置（21），所述第三驅(qū)動(dòng)裝置（21）的輸出端固定連接有插塊（17），所述插塊（17）的一端固定連接有分布均勻的插桿（18）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及玻璃基板生產(chǎn)搬運(yùn)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種用于真空腔室的玻璃基板搬運(yùn)機(jī)械臂，包括電動(dòng)平移臺(tái)，所述電動(dòng)平移臺(tái)的兩端均固定連接有防護(hù)架，所述電動(dòng)平移臺(tái)的兩側(cè)固定連接有分布均勻的支撐板，所述防護(hù)架和支撐板的底部均貫穿并螺紋連接有支撐腿，所述電動(dòng)平移臺(tái)之間設(shè)置有固定臺(tái)，所述固定臺(tái)的頂部固定連接有電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部固定連接有放置臺(tái)。通過(guò)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥打開(kāi)液氮罐，然后在打開(kāi)第一低溫球閥，液氮罐中的液氮由液態(tài)轉(zhuǎn)而成為氣態(tài)，氮?dú)馔ㄟ^(guò)加濕管進(jìn)入水箱內(nèi)，讓氮?dú)庖詺馀莸男问酵ㄟ^(guò)水層，在這個(gè)過(guò)程中，氮?dú)馀c水充分接觸，部分水汽會(huì)蒸發(fā)并混入氮?dú)庵?，從而?shí)現(xiàn)氮?dú)獾募訚瘛?br/>
技術(shù)研發(fā)人員：蘇中山,盧永俊,龐程方
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥塞美克智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15