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靜電放電防護(hù)器件及其形成方法與流程

文檔序號(hào):41954454發(fā)布日期:2025-05-16 14:19閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括:位于第一阱區(qū)內(nèi)的第三摻雜區(qū),所述第三摻雜區(qū)的摻雜類(lèi)型與第一阱區(qū)相同,且所述第三摻雜區(qū)的摻雜濃度大于所述第一阱區(qū)的摻雜濃度。

3.如權(quán)利要求2所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括:位于第二阱區(qū)內(nèi)的第四摻雜區(qū),所述第四摻雜區(qū)的摻雜類(lèi)型與第二阱區(qū)相同,且所述第四摻雜區(qū)的摻雜濃度大于所述第二阱區(qū)的摻雜濃度。

4.如權(quán)利要求3所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括:位于第一阱區(qū)內(nèi)的第五摻雜區(qū),所述第五摻雜區(qū)位于相鄰所述第一摻雜區(qū)之間,所述第五摻雜區(qū)的摻雜類(lèi)型與第一阱區(qū)相同,且所述第五摻雜區(qū)的摻雜濃度大于所述第一阱區(qū)的摻雜濃度。

5.如權(quán)利要求4所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括:位于第二阱區(qū)內(nèi)的第六摻雜區(qū),所述第六摻雜區(qū)位于相鄰所述第二摻雜區(qū)之間,所述第六摻雜區(qū)的摻雜類(lèi)型與第二阱區(qū)相同,且所述第六摻雜區(qū)的摻雜濃度大于所述第二阱區(qū)的摻雜濃度。

6.如權(quán)利要求5所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述襯底包括第一半導(dǎo)體層、位于第一半導(dǎo)體層表面的絕緣層以及位于絕緣層上的第二半導(dǎo)體層;所述第一阱區(qū)和所述第二阱區(qū)底部與所述絕緣層頂部表面相接觸。

7.如權(quán)利要求6所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述第二半導(dǎo)體層的層數(shù)為一層或多層的組合,所述第二半導(dǎo)體層的材料包括:?jiǎn)尉Ч?、鍺化硅或鍺。

8.如權(quán)利要求7所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括:位于所述襯底內(nèi)的隔離結(jié)構(gòu),所述隔離結(jié)構(gòu)包圍所述第一阱區(qū)和第二阱區(qū)。

9.如權(quán)利要求8所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括位于第一阱區(qū)頂部表面以及第二阱區(qū)表面的柵極層。

10.如權(quán)利要求9所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,還包括位于第一摻雜區(qū)頂部表面、第二摻雜區(qū)表面、第三摻雜區(qū)頂部表面以及第四摻雜區(qū)區(qū)頂部表面的第一接觸層。

11.如權(quán)利要求10所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)在第一方向上的寬度范圍為0.5微米至8微米,所述第二摻雜區(qū)在第一方向上的寬度范圍為0.5微米至8微米。

12.如權(quán)利要求11所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)的數(shù)量相同,所述第五摻雜區(qū)和所述第六摻雜區(qū)的數(shù)量相同。

13.如權(quán)利要求12所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)、所述第二摻雜區(qū)、所述第五摻雜區(qū)和所述第六摻雜區(qū)的數(shù)量范圍為1個(gè)至16個(gè)。

14.如權(quán)利要求13所述的靜電放電防護(hù)器件,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)的離子摻雜濃度為1.0×1015atom/cm3至9×1015atom/cm3,所述第二摻雜區(qū)的離子摻雜濃度為1.0×1015atom/cm3至9×1015atom/cm3,所述第三摻雜區(qū)的離子摻雜濃度為1.0×1012atom/cm3至1.0×1013atom/cm3,所述第四摻雜區(qū)的離子摻雜濃度為1.0×1012atom/cm3至1.0×1013atom/cm3,所述第五摻雜區(qū)摻雜濃度為1.0×1015atom/cm3至9×1015atom/cm3,所述第六摻雜區(qū)的離子摻雜濃度為1.0×1015atom/cm3至9×1015atom/cm3。

15.一種靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,包括:

16.如權(quán)利要求15所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,形成所述第一摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)的方法包括:對(duì)所述襯底進(jìn)行第一離子注入處理,形成第一阱區(qū);對(duì)所述襯底進(jìn)行第二離子注入處理,形成第二阱區(qū);對(duì)第一阱區(qū)進(jìn)行第三離子注入處理,形成第一摻雜區(qū);對(duì)第二阱區(qū)進(jìn)行第四離子注入處理,形成第二摻雜區(qū)。

17.如權(quán)利要求16所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

18.如權(quán)利要求17所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,所述第一阱區(qū)和第二阱區(qū)的導(dǎo)電類(lèi)型相反,所述第一離子注入處理和第二離子注入處理的離子注入能量為10kev至100kev,所述第一離子注入處理和第二離子注入處理的離子注入劑量為1.0×1012atom/cm2至1.0×1013atom/cm2;所述第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū)的導(dǎo)電類(lèi)型相反,所述第三離子注入處理和所述第四離子注入處理的離子注入能量為5kev至80kev,所述第三離子注入處理和所述第四離子注入處理的離子注入劑量為1.0×1015atom/cm2至9×1015atom/cm2;所述第三摻雜區(qū)和第四摻雜區(qū)的導(dǎo)電類(lèi)型相反,所述第五離子注入處理和所述第六離子注入處理的離子注入能量為5kev至100kev,所述第五離子注入處理和所述第六離子注入處理的離子注入劑量為1.0×1012atom/cm2至1.0×1013atom/cm2;所述第五摻雜區(qū)和第六摻雜區(qū)的導(dǎo)電類(lèi)型相反,所述第七離子注入處理和所述第八離子注入處理的離子注入能量為5kev至80kev,所述第七離子注入處理和所述第八離子注入處理的離子注入劑量為1×1015atom/cm2至9×1015atom/cm2。

19.如權(quán)利要求18所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,所述襯底包括第一半導(dǎo)體層、位于第一半導(dǎo)體層表面的絕緣層以及位于絕緣層上的第二半導(dǎo)體層,所述第一阱區(qū)和所述第二阱區(qū)底部與所述絕緣層頂部表面相接觸。

20.如權(quán)利要求19所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,所述第二半導(dǎo)體層的層數(shù)為一層或多層的組合,所述第二半導(dǎo)體層的材料包括:?jiǎn)尉Ч琛㈡N化硅或鍺。

21.如權(quán)利要求20所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

22.如權(quán)利要求21所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

23.如權(quán)利要求22所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

24.如權(quán)利要求21所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

25.如權(quán)利要求24所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:

26.如權(quán)利要求23或25所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:所述第一摻雜區(qū)在第一方向上的寬度范圍為0.5微米至8微米,所述第二摻雜區(qū)在第一方向上的寬度范圍為0.5微米至8微米。

27.如權(quán)利要求23或25所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:所述第一摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)的數(shù)量相同,所述第五摻雜區(qū)和所述第六摻雜區(qū)的數(shù)量相同。

28.如權(quán)利要求27所述的靜電放電防護(hù)器件的形成方法,其特征在于,還包括:


技術(shù)總結(jié)
一種靜電放電防護(hù)器件及其形成方法,其中結(jié)構(gòu)包括:襯底,所述襯底包括相接觸的第一阱區(qū)和第二阱區(qū),所述第一阱區(qū)和第二阱區(qū)沿平行于襯底表面的第一方向排布;位于所述第一阱區(qū)內(nèi)若干相互分立的第一摻雜區(qū),若干所述第一摻雜區(qū)沿平行于襯底表面的第二方向排布,所述第二方向與第一方向相互垂直;位于所述第二阱區(qū)內(nèi)若干相互分立的第二摻雜區(qū),若干所述第二摻雜區(qū)沿平行于襯底表面的第二方向排布。其中,若干相互分立的第一摻雜區(qū)以及第二摻雜區(qū)減小了發(fā)射極的面積,增加了靜電放電防護(hù)器件的工作電壓,提升靜電放電防護(hù)器件的性能,且減小了靜電放電防護(hù)器件的面積,提高了靜電放電防護(hù)器件的集成度。

技術(shù)研發(fā)人員:余棟林
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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