本發(fā)明涉及晶圓，具體來(lái)說(shuō)是涉及一種切割機(jī)用晶圓固定裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓作為重要的基礎(chǔ)材料，其加工質(zhì)量至關(guān)重要。隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)晶圓的質(zhì)量要求也越來(lái)越高。晶圓切割是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。在傳統(tǒng)的晶圓切割工藝中，通常采用特定的切割工具對(duì)晶圓進(jìn)行切割，以將晶圓分割成多個(gè)獨(dú)立的芯片單元。然而，在切割過(guò)程中，不可避免地會(huì)產(chǎn)生大量的碎屑。這些碎屑如果不及時(shí)清理，可能會(huì)對(duì)晶圓的表面質(zhì)量和性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響。

2、目前，現(xiàn)有的晶圓固定裝置在晶圓切割后，主要通過(guò)離心轉(zhuǎn)動(dòng)的方式進(jìn)行碎屑清理。這種結(jié)構(gòu)方式雖然能夠清理一部分碎屑，但切割道內(nèi)仍會(huì)殘留部分碎屑，清洗效果不佳；而殘留的碎屑還會(huì)在后續(xù)的加工過(guò)程中對(duì)晶圓造成損傷，從而影響產(chǎn)品的良率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服以上所述的缺點(diǎn)，提供一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，如此增強(qiáng)離心清洗的力度以及減少清理死角，使得切割碎屑更容易被清理，清洗效果更好，提高清洗效率以及產(chǎn)品良率。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具體方案如下：

3、一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，包括有轉(zhuǎn)臺(tái)和晶圓載具；轉(zhuǎn)臺(tái)中心設(shè)有第一氣道；轉(zhuǎn)臺(tái)頂部設(shè)有孔板，孔板與轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成有與第一氣道連通的氣室；轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)沿周向設(shè)有多個(gè)第二氣道；第一氣道與多個(gè)第二氣道之間設(shè)有用于使第一氣道分別與各個(gè)第二氣道連通的控制閥；轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)有支撐臺(tái)；

4、晶圓載具包括設(shè)于支撐臺(tái)的繃環(huán)和設(shè)于繃環(huán)的uv膠帶膜；uv膠帶膜沿周向設(shè)有多個(gè)一一對(duì)應(yīng)與多個(gè)第二氣道連通的氣腔。

5、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，多個(gè)第二氣道以第一氣道為中心均布；支撐臺(tái)對(duì)應(yīng)每個(gè)氣腔分別設(shè)置有第三氣道，第二氣道通過(guò)第三氣道與對(duì)應(yīng)的氣腔連通，第二氣道通過(guò)第三氣道與對(duì)應(yīng)的氣腔連通。

6、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，每個(gè)第二氣道內(nèi)均滑動(dòng)設(shè)有連通閥，連通閥貫穿有與第二氣道連通的連通孔，連通閥與轉(zhuǎn)臺(tái)之間設(shè)有拉簧；在轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，連通閥在離心作用下克服拉簧的拉力向外滑動(dòng)，使得連通孔與第三氣道能夠連通。

7、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，支撐臺(tái)對(duì)應(yīng)每個(gè)連通閥的位置設(shè)有與第三氣道連通的插槽和與插槽連通的第一型面孔；連通閥設(shè)有型面部；插槽在型面孔與第三氣道之間設(shè)有單向閥；

8、繃環(huán)對(duì)應(yīng)每個(gè)插槽分別設(shè)置有插接臂，插接臂上設(shè)置第二型面孔以及分布于第二型面孔兩側(cè)并與第二型面孔相連通的第一避讓孔和第二避讓孔，第一避讓孔貫穿插接臂的末端并用于避讓單向閥；在插接臂插入插槽內(nèi)時(shí)，第二型面孔與第一型面孔同軸，插槽、第一型面孔、第二型面孔、第一避讓孔和第二避讓孔之間形成與第三氣道連通的連通槽；單向閥位于連通槽內(nèi)；在連通閥向外滑動(dòng)時(shí)，型面部與第一型面孔和第二型面孔型面配合。

9、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有環(huán)形槽，支撐臺(tái)升降設(shè)于環(huán)形槽內(nèi)，支撐臺(tái)與轉(zhuǎn)臺(tái)之間連接有第二彈簧；

10、環(huán)形槽的側(cè)壁設(shè)有鎖止塊，鎖止塊設(shè)有鎖止槽，繃環(huán)設(shè)有彈性卡爪，彈性卡爪與鎖止槽配合，能夠可解鎖地鎖止繃環(huán)。

11、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，鎖止槽包括依次連接的第一豎直槽、第一傾斜槽、第二豎直槽、第二傾斜槽、第三傾斜槽、第三豎直槽和第四傾斜槽；第一豎直槽的一端貫穿鎖止塊；第二傾斜槽與第三傾斜槽呈v型連接，且形成有鎖止位；鎖止位在第一豎直槽靠近第二豎直槽的一側(cè)；第四傾斜槽與第一豎直槽之間設(shè)有臺(tái)階，第四傾斜槽內(nèi)設(shè)有過(guò)渡斜面。

12、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，環(huán)形槽內(nèi)沿周向均布有多個(gè)第二彈簧。

13、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，環(huán)形槽的側(cè)壁沿周向均布有多個(gè)鎖止塊，繃環(huán)沿周向均布有多個(gè)彈性卡爪。

14、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，單向閥包括單向閥片和連接軸，單向閥片設(shè)于連接軸上，連接軸的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支撐臺(tái)上，連接軸的兩端分別與支撐臺(tái)之間設(shè)有扭簧；扭簧使單向閥片關(guān)閉連通槽。

15、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，晶圓固定裝置還包括有機(jī)架、設(shè)于機(jī)架底部的第一位移機(jī)構(gòu)、設(shè)于機(jī)架頂部的第二位移機(jī)構(gòu)、設(shè)于第二位移機(jī)構(gòu)輸出端的第三位移機(jī)構(gòu)和設(shè)于第三位移機(jī)構(gòu)輸出端上的切刀組件；轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)于第一位移機(jī)構(gòu)的輸出端，第一位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)沿第一方向移動(dòng)；第二位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)切刀組件沿第二方向移動(dòng)，第三位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)切刀組件沿第三方向移動(dòng)；

16、機(jī)架頂部還設(shè)有工業(yè)相機(jī)。

17、本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明在需要清洗切割碎屑時(shí)，轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)晶圓載具離心轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)氣泵向第一氣道內(nèi)泵氣，氣流經(jīng)第一氣道進(jìn)入氣室內(nèi)，并從孔板的孔眼朝向uv膠帶膜，使得uv膠帶膜向外膨脹，進(jìn)而增大各個(gè)芯片之間的間距增大，且使切割道變成倒置的梯形，通過(guò)增大間距和改變切割道形狀，減少清洗時(shí)切割碎屑的殘留，同時(shí)控制閥控制第一氣道依次與各個(gè)第二氣道分別導(dǎo)通，氣體沿第一氣道、第二氣道、第三氣道進(jìn)入對(duì)應(yīng)的氣腔內(nèi)，使得該氣腔對(duì)應(yīng)的uv膠帶膜部分被膨脹拉伸，使得晶圓工件的軸心與轉(zhuǎn)臺(tái)的軸心偏離，進(jìn)而改變晶圓工件軸心處的離心力，如此通過(guò)依次將第一氣道與各個(gè)第二氣道導(dǎo)通，對(duì)各個(gè)氣腔對(duì)應(yīng)的uv膠帶膜部分進(jìn)行膨脹拉伸，從而增強(qiáng)離心清洗的力度以及減少清理死角，使得切割碎屑更容易被清理，清洗效果更好，提高清洗效率以及產(chǎn)品良率。

技術(shù)特征：

1.一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，包括有轉(zhuǎn)臺(tái)和晶圓載具；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，多個(gè)第二氣道以第一氣道為中心均布；支撐臺(tái)對(duì)應(yīng)每個(gè)氣腔分別設(shè)置有第三氣道，第二氣道通過(guò)第三氣道與對(duì)應(yīng)的氣腔連通，第二氣道通過(guò)第三氣道與對(duì)應(yīng)的氣腔連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，每個(gè)第二氣道內(nèi)均滑動(dòng)設(shè)有連通閥，連通閥貫穿有與第二氣道連通的連通孔，連通閥與轉(zhuǎn)臺(tái)之間設(shè)有拉簧；在轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，連通閥在離心作用下克服拉簧的拉力向外滑動(dòng)，使得連通孔與第三氣道能夠連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，支撐臺(tái)對(duì)應(yīng)每個(gè)連通閥的位置設(shè)有與第三氣道連通的插槽和與插槽連通的第一型面孔；連通閥設(shè)有型面部；插槽在型面孔與第三氣道之間設(shè)有單向閥；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有環(huán)形槽，支撐臺(tái)升降設(shè)于環(huán)形槽內(nèi)，支撐臺(tái)與轉(zhuǎn)臺(tái)之間連接有第二彈簧；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，鎖止槽包括依次連接的第一豎直槽、第一傾斜槽、第二豎直槽、第二傾斜槽、第三傾斜槽、第三豎直槽和第四傾斜槽；第一豎直槽的一端貫穿鎖止塊；第二傾斜槽與第三傾斜槽呈v型連接，且形成有鎖止位；鎖止位在第一豎直槽靠近第二豎直槽的一側(cè)；第四傾斜槽與第一豎直槽之間設(shè)有臺(tái)階，第四傾斜槽內(nèi)設(shè)有過(guò)渡斜面。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，環(huán)形槽內(nèi)沿周向均布有多個(gè)第二彈簧。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，環(huán)形槽的側(cè)壁沿周向均布有多個(gè)鎖止塊，繃環(huán)沿周向均布有多個(gè)彈性卡爪。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，單向閥包括單向閥片和連接軸，單向閥片設(shè)于連接軸上，連接軸的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支撐臺(tái)上，連接軸的兩端分別與支撐臺(tái)之間設(shè)有扭簧；扭簧使單向閥片關(guān)閉連通槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，其特征在于，晶圓固定裝置還包括有機(jī)架、設(shè)于機(jī)架底部的第一位移機(jī)構(gòu)、設(shè)于機(jī)架頂部的第二位移機(jī)構(gòu)、設(shè)于第二位移機(jī)構(gòu)輸出端的第三位移機(jī)構(gòu)和設(shè)于第三位移機(jī)構(gòu)輸出端上的切刀組件；轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)于第一位移機(jī)構(gòu)的輸出端，第一位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)沿第一方向移動(dòng)；第二位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)切刀組件沿第二方向移動(dòng)，第三位移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)切刀組件沿第三方向移動(dòng)；機(jī)架頂部還設(shè)有工業(yè)相機(jī)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)是涉及一種切割機(jī)用晶圓固定裝置，包括有轉(zhuǎn)臺(tái)和晶圓載具；轉(zhuǎn)臺(tái)中心設(shè)有第一氣道；轉(zhuǎn)臺(tái)頂部設(shè)有孔板，孔板與轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成有與第一氣道連通的氣室；轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)沿周向設(shè)有多個(gè)第二氣道；第一氣道與多個(gè)第二氣道之間設(shè)有用于使第一氣道分別與各個(gè)第二氣道連通的控制閥；轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)有支撐臺(tái)；晶圓載具包括設(shè)于支撐臺(tái)的繃環(huán)和設(shè)于繃環(huán)的UV膠帶膜；UV膠帶膜沿周向設(shè)有多個(gè)一一對(duì)應(yīng)與多個(gè)第二氣道連通的氣腔；如此增強(qiáng)離心清洗的力度以及減少清理死角，使得切割碎屑更容易被清理，清洗效果更好，提高清洗效率以及產(chǎn)品良率。

技術(shù)研發(fā)人員：魏余紅,黃燕榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東科卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15