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一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置的制作方法

文檔序號:41954020發(fā)布日期:2025-05-16 14:18閱讀:6來源:國知局
一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置的制作方法

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工,具體為一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置。


背景技術(shù):

1、在半導(dǎo)體加工中,焊接技術(shù)是實現(xiàn)芯片與封裝基板或引線框架之間電氣和機械連接的關(guān)鍵工藝。工藝流程大致如下:將晶圓切割成單個芯片,并將芯片黏貼到導(dǎo)線架或基板上,將芯片焊盤與引線框架或基板焊盤通過金線、鋁線或銅線連接,使用樹脂等材料對芯片進行塑封,保護芯片免受外界環(huán)境影響。

2、在半導(dǎo)體加工、封裝和焊接過程中,“對準(zhǔn)”是一個至關(guān)重要的環(huán)節(jié),它直接影響到芯片的性能和可靠性。在焊接工藝中,基板和芯片都需要被放置在平整的基座上,以控制曲翹。

3、現(xiàn)有的用于芯片與基板之間的對準(zhǔn),先是將基板置于工作臺上,再通過額外的夾具將芯片放置在基板對應(yīng)位置,借助視覺檢測技術(shù)進行對準(zhǔn)。對于雙面封裝類的芯片,便需要在基板一面焊接完芯片后,對基板另一面進行芯片二次焊接。因為基板一面已有芯片,在放置時會有表面不平整的情況,提高了另一側(cè)芯片對準(zhǔn)的難度。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,包括工作臺、旋轉(zhuǎn)臺、上料機構(gòu)以及焊接機構(gòu),旋轉(zhuǎn)臺連接有旋轉(zhuǎn)電機,旋轉(zhuǎn)電機安裝在工作臺上,上料機構(gòu)、焊接機構(gòu)依次圍設(shè)在旋轉(zhuǎn)臺一側(cè),用于基板、芯片的上料和焊接。

3、根據(jù)上述技術(shù)方案,旋轉(zhuǎn)臺上圓周設(shè)置有數(shù)個置物組件和轉(zhuǎn)位組件,置物組件用于固定基板,轉(zhuǎn)位組件與置物組件配合設(shè)置,用于偏轉(zhuǎn)基板。

4、根據(jù)上述技術(shù)方案,置物組件包括放置臺,放置臺外圍開設(shè)有一圈氣口,各氣口連接有氣室,放置臺中部開設(shè)有空槽,空槽底部設(shè)置有三通閥,三通閥上分別設(shè)置有接口一、接口二以及接口三,接口一連通空槽,接口二連通氣室,接口三外接氣泵,空槽內(nèi)設(shè)置有伸縮塊,伸縮塊與空槽之間連接有彈簧一。

5、根據(jù)上述技術(shù)方案,空槽內(nèi)壁上相對的一組側(cè)面開設(shè)有圓槽,圓槽內(nèi)連接有彈簧二,彈簧二另一端連接有磁吸塊,伸縮塊相對位置開設(shè)有電磁腔。

6、根據(jù)上述技術(shù)方案,放置臺一側(cè)設(shè)置有滑塊,旋轉(zhuǎn)臺底部配合滑塊設(shè)置有滑軌,滑軌底部固定有安裝板,三通閥底部固定有連接套,安裝板上固定有電推桿,電推桿驅(qū)動端與連接套連接。

7、根據(jù)上述技術(shù)方案,轉(zhuǎn)位組件包括鉸接座,鉸接座朝向放置臺一側(cè)固定有夾板一,夾板一表面水平設(shè)置且與旋轉(zhuǎn)臺表面高度持平,放置臺配合夾板一開設(shè)有缺口,鉸接座另一側(cè)連接有微型電機一,鉸接座上轉(zhuǎn)動設(shè)置有夾板二。

8、根據(jù)上述技術(shù)方案,夾板二包括轉(zhuǎn)桿,轉(zhuǎn)桿與鉸接座轉(zhuǎn)動配合,轉(zhuǎn)桿一端套設(shè)有從動齒,從動齒配合連接有主動齒,主動齒連接有微型電機二,微型電機二固定在鉸接座一側(cè)。

9、根據(jù)上述技術(shù)方案,轉(zhuǎn)桿上連接有底板,底板朝向夾板一一側(cè)連接有若干彈簧三,彈簧三另一端連接有壓板,壓板兩端設(shè)置有卡塊,底板配合卡塊開設(shè)有對應(yīng)的卡槽。

10、根據(jù)上述技術(shù)方案,彈簧三與底板連接處鋪設(shè)有壓感模塊,用于檢測彈簧三壓縮狀態(tài)。

11、根據(jù)上述技術(shù)方案,上料機構(gòu)包括基板上料組件和芯片上料組件,基板上料組件用于基板上料,芯片上料組件用于芯片上料。

12、根據(jù)上述技術(shù)方案,基板上料組件包括物料傳送帶、兩軸驅(qū)動模組一以及吸嘴一,兩軸驅(qū)動模組一架設(shè)在物料傳送帶一側(cè),吸嘴一安裝在兩軸驅(qū)動模組一的驅(qū)動端且外接有抽氣裝置。

13、根據(jù)上述技術(shù)方案,芯片上料組件包括振動盤、兩軸驅(qū)動模組二、一組吸嘴二以及置物臺,振動盤內(nèi)堆放有芯片,用于將芯片整理排序,兩軸驅(qū)動模組二設(shè)置在振動盤的出料口側(cè),吸嘴二安裝在兩軸驅(qū)動模組二的驅(qū)動端且外接有抽氣裝置,置物臺設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺一側(cè),用于芯片上料前的輔助正位。

14、根據(jù)上述技術(shù)方案,焊接機構(gòu)包括三軸驅(qū)動模組、焊接頭以及視覺監(jiān)測模塊,焊接頭安裝在三軸驅(qū)動模組上,視覺監(jiān)測模塊配合焊接頭設(shè)置。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所達到的有益效果是:本發(fā)明,通過設(shè)置有置物組件,可以對基板進行吸附固定,同時對于一側(cè)已經(jīng)焊接有芯片的基板,放置臺中部的伸縮塊可以配合下移,預(yù)留放置芯片的空間,確保后續(xù)基板固定,提高焊接的穩(wěn)定性;通過設(shè)置有轉(zhuǎn)位組件,可以幫助一側(cè)焊接完芯片的基板進行翻轉(zhuǎn),避免了二次加工轉(zhuǎn)移對基板、芯片之間的連接產(chǎn)生影響,提高了便利性和成品質(zhì)量。



技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,包括工作臺(1)、旋轉(zhuǎn)臺(2)、上料機構(gòu)以及焊接機構(gòu),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺(2)連接有旋轉(zhuǎn)電機(3),所述旋轉(zhuǎn)電機(3)安裝在所述工作臺(1)上,所述上料機構(gòu)、所述焊接機構(gòu)依次圍設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)臺(2)一側(cè),所述旋轉(zhuǎn)臺(2)上圓周設(shè)置有數(shù)個置物組件(4)和轉(zhuǎn)位組件(5);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述空槽(413)內(nèi)壁上相對的一組側(cè)面開設(shè)有圓槽,所述圓槽內(nèi)連接有彈簧二(414),所述彈簧二(414)另一端連接有磁吸塊(415),所述伸縮塊(43)相對位置開設(shè)有電磁腔(431)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述放置臺(41)一側(cè)設(shè)置有滑塊(45),所述旋轉(zhuǎn)臺(2)底部配合所述滑塊(45)設(shè)置有滑軌(46),所述滑軌(46)底部固定有安裝板(47),所述三通閥(42)底部固定有連接套(48),所述安裝板(47)上固定有電推桿(49),所述電推桿(49)驅(qū)動端與所述連接套(48)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)位組件(5)包括鉸接座(51),所述鉸接座(51)朝向所述放置臺(41)一側(cè)固定有夾板一(52),所述夾板一(52)表面水平設(shè)置且與所述旋轉(zhuǎn)臺(2)表面高度持平,所述放置臺(41)配合所述夾板一(52)開設(shè)有缺口(416),所述鉸接座(51)另一側(cè)連接有微型電機一(53),所述鉸接座(51)上轉(zhuǎn)動設(shè)置有夾板二。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述夾板二包括轉(zhuǎn)桿(541),所述轉(zhuǎn)桿(541)與所述鉸接座(51)轉(zhuǎn)動配合,所述轉(zhuǎn)桿(541)一端套設(shè)有從動齒(542),所述從動齒(542)配合連接有主動齒(543),所述主動齒(543)連接有微型電機二(544),所述微型電機二(544)固定在所述鉸接座(51)一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)桿(541)上連接有底板(545),所述底板(545)朝向所述夾板一(52)一側(cè)連接有若干彈簧三(546),所述彈簧三(546)另一端連接有壓板(547),所述壓板(547)兩端設(shè)置有卡塊(548),所述底板(545)配合所述卡塊(548)開設(shè)有對應(yīng)的卡槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述上料機構(gòu)包括基板上料組件(6)和芯片上料組件(7)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述基板上料組件(6)包括物料傳送帶(61)、兩軸驅(qū)動模組一(62)以及吸嘴一(63),所述兩軸驅(qū)動模組一(62)架設(shè)在所述物料傳送帶(61)一側(cè),所述吸嘴一(63)安裝在所述兩軸驅(qū)動模組一(62)的驅(qū)動端且外接有抽氣裝置;

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,所述焊接機構(gòu)包括三軸驅(qū)動模組(81)、焊接頭(82)以及視覺監(jiān)測模塊,所述焊接頭(82)安裝在所述三軸驅(qū)動模組(81)上,所述視覺監(jiān)測模塊配合所述焊接頭(82)設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,其特征在于,具體使用方法如下:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體加工用焊接對準(zhǔn)裝置,涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,包括工作臺、旋轉(zhuǎn)臺、上料機構(gòu)以及焊接機構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)臺上圓周設(shè)置有數(shù)個置物組件和轉(zhuǎn)位組件,所述置物組件包括放置臺,所述放置臺外圍開設(shè)有一圈氣口,各所述氣口連接有氣室,所述放置臺中部開設(shè)有空槽,所述空槽底部設(shè)置有三通閥,所述三通閥上分別設(shè)置有接口一、接口二以及接口三,所述接口一連通空槽,所述接口二連通氣室,所述接口三外接氣泵,所述空槽內(nèi)設(shè)置有伸縮塊,所述伸縮塊與所述空槽之間連接有彈簧一。本發(fā)明提高了基板雙面焊接芯片的便利性和質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員:解小龍,趙欽
受保護的技術(shù)使用者:成都芯海功成科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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