1.一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述動密封頂升結(jié)構(gòu)包括固定裝置和驅(qū)動裝置，所述固定裝置包括直線軸承座和連接基座，直線軸承座與反應(yīng)腔體固定連接，所述驅(qū)動裝置包括支撐導(dǎo)桿、支撐導(dǎo)桿連接件和驅(qū)動部件，所述支撐導(dǎo)桿插入直線軸承座內(nèi)，所述驅(qū)動部件與所述連接基座進行連接，連接基座與所述直線軸承座進行連接，所述支撐導(dǎo)桿與支撐導(dǎo)桿連接件進行連接；
將動密封膠圈安裝在直線軸承座的膠圈槽內(nèi)，密封膠圈安裝在直線軸承基座的膠圈槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動部件運動時，所述支撐導(dǎo)桿連接件帶動支撐導(dǎo)桿進行升降的周期性運動。