1.一種APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于包括：供氣鋼瓶、冷凝管以及氣體板；其中，供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮，而且供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板通入氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，所述冷凝管是雙套管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，雙套管的外管通冷凝劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，雙套管的內(nèi)管流通氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，氣體板包括：用于通入乙炔氣體的依次連接的第一上游氣閥、第一質(zhì)量流量控制器和第一下游氣閥，用于通入第一惰性氣體的依次連接的第二上游氣閥、第二質(zhì)量流量控制器和第二下游氣閥，用于通入第二惰性氣體的依次連接的第三上游氣閥、第三質(zhì)量流量控制器和第三下游氣閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，第一惰性氣體是He氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，第二惰性氣體是Ar氣。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的APF薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，氣體板還包括：與第一下游氣閥和第二下游氣閥連接的第一出口閥門、以及與第三下游氣閥連接的第二出口閥門，第一出口閥門和第二出口閥門經(jīng)由過濾器連接至腔室。
9.一種APF薄膜沉積通氣方法，其特征在于包括：利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板供氣，其中冷凝管過濾掉被揮發(fā)出來(lái)丙酮蒸汽，使得經(jīng)由冷凝管進(jìn)入氣體板的氣體的乙炔純度相對(duì)于供氣鋼瓶更高。