技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種APF薄膜沉積設(shè)備以及APF薄膜沉積通氣方法。本發(fā)明的APF薄膜沉積設(shè)備包括：供氣鋼瓶、冷凝管以及氣體板；其中，供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮，而且供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板通入氣體。在本發(fā)明中，利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板供氣，其中冷凝管過濾掉被揮發(fā)出來丙酮蒸汽，使得經(jīng)由冷凝管進(jìn)入氣體板的氣體的乙炔純度相對于供氣鋼瓶更高。

技術(shù)研發(fā)人員：許雋;李錦山;龔薈卓
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號碼：201611016727
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.18
技術(shù)公布日：2017.05.31