1.一種工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，所述第一質(zhì)量流量控制器在第一反應(yīng)流體的進(jìn)流動作中脈沖輸出完成前保持出氣，并在第一反應(yīng)流體的脈沖輸出完成后停止出氣，直至第二反應(yīng)流體的脈沖輸出完成后恢復(fù)出氣；和/或，所述第二質(zhì)量流量控制器被配置成與第一質(zhì)量控制器之間的出氣狀態(tài)相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，所述第一管路單元還包括：至少一個第一副支路，其輸出端與第一支路輸出端匯集地同所述第一輸出干路連接；所述第二管路單元還包括：至少一個第二副支路，其輸出端與第二支路輸出端匯集地同所述第二輸出干路連接；每個所述第一副支路和第二副支路分別設(shè)有第一副支路閥和第二副支路閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，至少一個所述第一副支路和至少一個所述第二副支路的輸入端用于輸入供通入到反應(yīng)腔的其它流體；其中，會與所述第二反應(yīng)流體發(fā)生不期望的反應(yīng)且與第一反應(yīng)流體不反應(yīng)的其它流體通過第一副支路輸送，會與所述第一反應(yīng)流體發(fā)生不期望的反應(yīng)且與第二反應(yīng)流體不反應(yīng)的其它流體通過第二副支路輸送。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，一個所述第一副支路的輸入端用于輸入所述第一反應(yīng)流體的載流體；一個所述第二副支路的輸入端用于輸入所述第二反應(yīng)流體的載流體。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，包括以下至少一種：
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，其特征在于，所述第二反應(yīng)流體包括作為前驅(qū)體的氟化鎢氣體；所述第一反應(yīng)流體包括用于還原鎢的第一還原氣體；與第一支路共同連接到所述第一輸出干路中的第一副支路中的其它流體包括：用于還原鎢以形成沉積的第二還原氣體、及作為第一還原氣體載氣的惰性氣體；與第二支路共同連接到所述第二輸出干路中的第二副支路中的其它流體包括：含氟清潔氣體、及作為氟化鎢氣體載氣的惰性氣體。
8.一種工藝進(jìn)流控制方法，其特征在于，應(yīng)用于如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的工藝進(jìn)流系統(tǒng)，包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工藝進(jìn)流控制方法，其特征在于，還包括：
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工藝進(jìn)流控制方法，其特征在于，在所述預(yù)設(shè)工藝步驟中，保持連接第一輸出干路的第一副支路和連接第二輸出干路的第二副支路導(dǎo)通，并維持第一副支路和第二副支路中的其它流體于各自預(yù)設(shè)的穩(wěn)定流量。
11.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括：