本技術(shù)涉及清洗機的，尤其是涉及一種mask清洗機。

背景技術(shù)：

1、mask稱為掩膜版，是光刻工藝中不可或缺的部件，也被稱為光罩、光掩膜和光刻掩膜版等。它主要用于在光刻過程中將設(shè)計圖形轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基板上，是芯片制造過程中的圖形“底片”。掩膜版通常由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，其材質(zhì)可能包括石英玻璃、金屬鉻和感光膠等。在生產(chǎn)過程中，設(shè)計好的電路圖形會通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上，被曝光的區(qū)域會被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，然后應(yīng)用于對集成電路進行投影定位，并通過光刻機進行光蝕刻。

2、mask在半導(dǎo)體制造、液晶顯示和oled顯示等領(lǐng)域中扮演著重要角色，其潔凈程度直接影響到產(chǎn)品的良率和質(zhì)量，因此需要在使用前后對掩膜版進行清潔。相關(guān)技術(shù)中對掩膜版清潔的機構(gòu)包括機體和噴洗頭，將掩膜版裝夾于機體上，隨后使用噴洗頭對掩膜版進行噴水沖洗，從而去除掩膜版表面的雜質(zhì)，提升掩膜版表面的潔凈程度。

3、相關(guān)技術(shù)中的噴洗頭對掩膜版表面的清潔力度有限，難以清除附著于掩膜版表面的頑固污漬；并且，噴洗頭在對掩膜版進行噴水沖洗后，掩膜版表面會存在較多水分，影響后續(xù)使用。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了提升對掩膜版表面的清潔力度，減少掩膜版表面存在的水分，本技術(shù)提供一種mask清洗機。

2、本技術(shù)提供一種mask清洗機，采用如下的技術(shù)方案：

3、一種mask清洗機，包括：

4、機體；

5、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源和承載板，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源設(shè)置于所述機體上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源帶動所述承載板旋轉(zhuǎn)，所述承載板用于裝夾掩膜版；

6、噴洗機構(gòu)，所述噴洗機構(gòu)設(shè)置于所述機體上，所述噴洗機構(gòu)包括噴洗頭，所述噴洗頭向掩膜版噴水沖洗；

7、擦洗機構(gòu)，所述擦洗機構(gòu)包括驅(qū)動組件、擦拭支架、擦拭頭和擦拭刷；所述驅(qū)動組件帶動所述擦拭支架移動，所述擦拭頭與所述擦拭支架連接，所述擦拭刷與所述擦拭頭連接，所述擦拭刷擦拭掩膜版。

8、通過采用上述技術(shù)方案，機體作為整個設(shè)備的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，確保各部件的穩(wěn)定安裝和運行。通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源帶動承載板旋轉(zhuǎn)，使掩膜版能夠在不同角度下接受噴洗和擦洗，提高清洗均勻性和徹底性。噴洗機構(gòu)通過噴洗頭向掩膜版噴水沖洗，有效去除表面污漬和殘留物。擦洗機構(gòu)通過驅(qū)動組件帶動擦拭支架移動，使得擦拭頭和擦拭刷能夠?qū)ρ谀ぐ孢M行擦洗，進一步增強清洗效果，能夠有效清除大部分頑固污漬。在清洗完畢后，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動掩膜版快速旋轉(zhuǎn)，能夠甩干掩膜版表面大部分的水分。

9、可選的，所述噴洗機構(gòu)包括：

10、轉(zhuǎn)動驅(qū)動源，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動源設(shè)置于所述機體上；

11、噴洗支架，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動源帶動所述噴洗支架轉(zhuǎn)動，所述噴洗頭與所述噴洗支架連接。

12、通過采用上述技術(shù)方案，轉(zhuǎn)動驅(qū)動源帶動噴洗支架轉(zhuǎn)動，使得噴洗頭能夠?qū)ρ谀ぐ姹砻娴牟煌瑓^(qū)域進行噴洗，提高清洗效率和清洗質(zhì)量，增強了清洗的靈活性和適應(yīng)性，有效去除掩膜版上的污漬和殘留物。

13、可選的，所述驅(qū)動組件包括升降滑臺和回轉(zhuǎn)驅(qū)動源，所述升降滑臺設(shè)置于所述機體上，所述升降滑臺帶動所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動源升降移動；所述擦拭支架與所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動源連接，所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動源帶動所述擦拭支架轉(zhuǎn)動。

14、通過采用上述技術(shù)方案，升降滑臺帶動回轉(zhuǎn)驅(qū)動源升降移動，從而帶動擦拭刷接近或遠離掩膜版?；剞D(zhuǎn)驅(qū)動源帶動擦拭支架轉(zhuǎn)動，能夠帶動擦拭刷對掩膜版表面不同位置進行清潔，從而提高擦拭刷對掩膜版表面的清潔效率和清潔質(zhì)量，確保掩膜版的潔凈度，增加了設(shè)備的適用范圍。

15、可選的，所述擦拭頭包括：

16、支撐殼體，所述支撐殼體與所述擦拭支架連接；

17、擦拭驅(qū)動源，所述擦拭驅(qū)動源與所述支撐殼體連接，所述擦拭驅(qū)動源帶動所述擦拭刷轉(zhuǎn)動。

18、通過采用上述技術(shù)方案，支撐殼體與擦拭支架連接，確保了擦拭頭的穩(wěn)定安裝和運動，擦拭驅(qū)動源帶動擦拭刷轉(zhuǎn)動，提高了擦拭效率和清潔效果。

19、可選的，所述擦拭頭還包括抵接殼和卡持塊，所述抵接殼與所述支撐殼體連接，所述卡持塊與所述擦拭驅(qū)動源連接，所述擦拭驅(qū)動源帶動所述卡持塊轉(zhuǎn)動；

20、所述擦拭刷開設(shè)有穿入槽和卡持槽，所述卡持槽與所述穿入槽連通；所述卡持塊在穿過穿入槽后轉(zhuǎn)動至卡持槽內(nèi)，使得所述卡持塊和所述抵接殼夾持所述擦拭刷。

21、通過采用上述技術(shù)方案，卡持塊穿過穿入槽后轉(zhuǎn)動至卡持槽內(nèi)，得擦拭刷可以方便地固定在擦拭頭上，同時保證了擦拭刷的穩(wěn)固性和可靠性，減少了在使用過程中因松動導(dǎo)致的清洗效果不佳問題。并且，卡持塊在穿過穿入槽后轉(zhuǎn)動至卡持槽內(nèi)的設(shè)計，簡化了操作步驟，提高了工作效率，能夠?qū)崿F(xiàn)對擦拭刷的快速更換和安裝，提高設(shè)備維護效率。

22、可選的，所述機體上設(shè)置有擦拭刷清潔組件，所述擦拭刷清潔組件包括活水槽體和刮板，所述活水槽體連通有進水口和出水口，所述刮板與所述活水槽體內(nèi)壁連接；所述驅(qū)動組件帶動所述擦拭刷移動至所述活水槽體內(nèi)，使得所述擦拭刷與所述刮板抵接。

23、通過采用上述技術(shù)方案，活水槽體的進水口、出水口的設(shè)計保證了水流的持續(xù)流動，有助于沖走擦拭刷上的污漬。驅(qū)動組件帶動擦拭刷移動至活水槽體內(nèi)，實現(xiàn)了自動化清潔過程，提高了設(shè)備的操作便利性和工作效率。刮板與活水槽體內(nèi)壁的連接，使得擦拭刷在進入活水槽體時能夠與刮板接觸，能夠有效清除擦拭刷上的污垢和殘留物，確保擦拭刷保持清潔狀態(tài)，從而提高對掩膜版的清洗質(zhì)量和效率。

24、可選的，所述刮板連接有多個卡接條，所述卡接條與所述擦拭刷側(cè)壁卡接。

25、通過采用上述技術(shù)方案，擦拭刷側(cè)壁會存在少量的雜質(zhì)，卡接條與擦拭刷側(cè)壁卡接，卡接條能夠刮掉擦拭刷側(cè)壁的雜質(zhì)，從而提高擦拭刷的清潔效率和清潔質(zhì)量。并且，擦拭驅(qū)動源帶動卡持塊反向轉(zhuǎn)動時，能夠使得卡持塊從卡持槽轉(zhuǎn)動至穿入槽內(nèi)，而卡接條與擦拭刷卡接，此時升降滑臺帶動卡持塊上移，能夠使得卡持塊與擦拭刷分離，從而便于拆卸擦拭刷。

26、可選的，所述承載板包括支撐板和裝夾板，所述支撐板與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源連接，所述裝夾板與所述支撐板連接，所述裝夾板對掩膜版限位。

27、通過采用上述技術(shù)方案，支撐板與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源連接，確保了承載板的穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。裝夾板與支撐板連接，能夠牢固限制掩膜版的位置，提高了清洗過程中的固定效果，減少掩膜版在旋轉(zhuǎn)過程中發(fā)生位移或脫落，從而保證了清洗質(zhì)量和效率。

28、可選的，所述裝夾板與所述支撐板滑動連接，所述裝夾板與所述支撐板之間連接有彈性件，所述彈性件使得所述裝夾板夾持掩膜版。

29、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)裝夾板相對于支撐板的滑動調(diào)節(jié)，使裝夾板能夠適應(yīng)不同尺寸的掩膜版，提高設(shè)備的適用范圍。同時，彈性件的設(shè)計確保了裝夾板能夠穩(wěn)定可靠地夾持掩膜版，減少因振動或沖擊導(dǎo)致的松動，提高了清洗過程的安全性和穩(wěn)定性。

30、可選的，所述機體上設(shè)置有遮蓋機構(gòu)，所述遮蓋機構(gòu)包括保護蓋和遮蓋驅(qū)動源，所述保護蓋與所述機體轉(zhuǎn)動連接，所述遮蓋驅(qū)動源帶動所述保護蓋轉(zhuǎn)動，使得所述保護蓋遮蓋掩膜版。

31、通過采用上述技術(shù)方案，遮蓋機構(gòu)的保護蓋能夠在清洗過程中關(guān)閉，減少外界雜質(zhì)污染掩膜版，提高清洗質(zhì)量和效率，并且提高了設(shè)備的使用便捷性和安全性。

32、綜上所述，本技術(shù)包括以下至少一種有益效果：

33、1.通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和噴洗機構(gòu)的配合使用，實現(xiàn)了掩膜版表面的全方位清洗，提高了清洗效率和潔凈度，減少了清洗死角的產(chǎn)生；

34、2.升降滑臺帶動擦拭刷接近掩膜版表面，擦拭驅(qū)動源帶動擦拭刷旋轉(zhuǎn)，從而對掩膜版表面刷洗，有效去除了頑固污漬，進一步提升了清洗的徹底性和可靠性；

35、3.卡持塊穿過穿入槽后轉(zhuǎn)動至卡持槽內(nèi)，得擦拭刷可以方便地固定在擦拭頭上，同時保證了擦拭刷的穩(wěn)固性和可靠性，減少了在使用過程中因松動導(dǎo)致的清洗效果不佳問題，能夠?qū)崿F(xiàn)對擦拭刷的快速更換和安裝，提高設(shè)備維護效率。