1.一種mask清洗機(jī)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述噴洗機(jī)構(gòu)（5）包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件（61）包括升降滑臺(tái)（611）和回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源（612），所述升降滑臺(tái)（611）設(shè)置于所述機(jī)體（1）上，所述升降滑臺(tái)（611）帶動(dòng)所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源（612）升降移動(dòng)；所述擦拭支架（62）與所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源（612）連接，所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源（612）帶動(dòng)所述擦拭支架（62）轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述擦拭頭（63）包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述擦拭頭（63）還包括抵接殼（633）和卡持塊（634），所述抵接殼（633）與所述支撐殼體（631）連接，所述卡持塊（634）與所述擦拭驅(qū)動(dòng)源（632）連接，所述擦拭驅(qū)動(dòng)源（632）帶動(dòng)所述卡持塊（634）轉(zhuǎn)動(dòng)；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述機(jī)體（1）上設(shè)置有擦拭刷清潔組件（7），所述擦拭刷清潔組件（7）包括活水槽體（71）和刮板（72），所述活水槽體（71）連通有進(jìn)水口和出水口，所述刮板（72）與所述活水槽體（71）內(nèi)壁連接；所述驅(qū)動(dòng)組件（61）帶動(dòng)所述擦拭刷（64）移動(dòng)至所述活水槽體（71）內(nèi)，使得所述擦拭刷（64）與所述刮板（72）抵接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述刮板（72）連接有多個(gè)卡接條（73），所述卡接條（73）與所述擦拭刷（64）側(cè)壁卡接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述承載板（42）包括支撐板（421）和裝夾板（422），所述支撐板（421）與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源（41）連接，所述裝夾板（422）與所述支撐板（421）連接，所述裝夾板（422）對(duì)掩膜版（100）限位。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述裝夾板（422）與所述支撐板（421）滑動(dòng)連接，所述裝夾板（422）與所述支撐板（421）之間連接有彈性件（43），所述彈性件（43）使得所述裝夾板（422）夾持掩膜版（100）。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mask清洗機(jī)，其特征在于，所述機(jī)體（1）上設(shè)置有遮蓋機(jī)構(gòu)（3），所述遮蓋機(jī)構(gòu)（3）包括保護(hù)蓋（31）和遮蓋驅(qū)動(dòng)源（32），所述保護(hù)蓋（31）與所述機(jī)體（1）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述遮蓋驅(qū)動(dòng)源（32）帶動(dòng)所述保護(hù)蓋（31）轉(zhuǎn)動(dòng)，使得所述保護(hù)蓋（31）遮蓋掩膜版（100）。