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接合晶圓的接合不良部的去除方法及接合晶圓的制造方法與流程

文檔序號(hào):41956392發(fā)布日期:2025-05-16 14:24閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種接合晶圓的接合不良部的去除方法,其為去除接合晶圓的接合不良部的方法,所述接合晶圓具有發(fā)光元件構(gòu)造,所述發(fā)光元件構(gòu)造具有由(alyga1-y)xin1-xp構(gòu)成的活性層,其中,0.4≤x≤0.6,0≤y≤0.5,且所述接合晶圓通過(guò)將熱固化型接合構(gòu)件固化從而將發(fā)光元件構(gòu)造接合在透射發(fā)光波長(zhǎng)的光的透明基板上,所述去除方法的特征在于,

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接合晶圓的接合不良部的去除方法,其特征在于,將所述熱固化型接合構(gòu)件設(shè)為苯并環(huán)丁烯。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合晶圓的接合不良部的去除方法,其特征在于,將所述透明基板設(shè)為藍(lán)寶石或石英。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合晶圓的接合不良部的去除方法,其特征在于,將所述等離子體氣氛設(shè)為:在具有桶型或平行板型電極結(jié)構(gòu)的等離子體發(fā)生裝置內(nèi),使包含氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣、氫氣中的任意一種以上的氣體等離子體化而形成的等離子體氣氛。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的接合晶圓的接合不良部的去除方法,其特征在于,將產(chǎn)生等離子體氣氛的所述裝置設(shè)為rie(反應(yīng)性離子蝕刻)裝置、icp(電感耦合等離子體)裝置、等離子體cvd裝置、灰化裝置或?yàn)R射裝置。

6.一種接合晶圓的制造方法,其包含以下工序:

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的接合晶圓的制造方法,其特征在于,將所述熱固化型接合構(gòu)件設(shè)為苯并環(huán)丁烯。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的接合晶圓的制造方法,其特征在于,將所述透明基板設(shè)為藍(lán)寶石或石英。

9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的接合晶圓的制造方法,其特征在于,將所述等離子體氣氛設(shè)為:在具有桶型或平行板型電極結(jié)構(gòu)的等離子體發(fā)生裝置內(nèi),使包含氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣、氫氣中的任意一種以上的氣體等離子體化而形成的等離子體氣氛。

10.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的接合晶圓的制造方法,其特征在于,將所述產(chǎn)生等離子體氣氛的裝置設(shè)為rie(反應(yīng)性離子蝕刻)裝置、icp(電感耦合等離子體)裝置、等離子體cvd裝置、灰化裝置或?yàn)R射裝置。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為一種接合晶圓的接合不良部的去除方法,其為去除接合晶圓的接合不良部的方法,該接合晶圓具有具備由(Al<subgt;y</subgt;Ga<subgt;1?y</subgt;)<subgt;x</subgt;In<subgt;1?x</subgt;P(0.4≤x≤0.6,0≤y≤0.5)構(gòu)成的活性層的發(fā)光元件構(gòu)造,且通過(guò)將熱固化型接合構(gòu)件固化從而將發(fā)光元件構(gòu)造接合在透射發(fā)光波長(zhǎng)的光的透明基板上,其特征在于,通過(guò)將所述接合晶圓導(dǎo)入至等離子體氣氛下,選擇性破壞熱固化型接合構(gòu)件固化不充分的所述接合不良部,從而將其去除。由此,提供一種接合晶圓的接合不良部的去除方法,其對(duì)于接合晶圓中的固化不良部,無(wú)需利用測(cè)定等手段即可將其去除,該接合晶圓經(jīng)由熱固化型接合構(gòu)件將具有AlGaInP系的活性層的發(fā)光元件構(gòu)造與透明基板接合。

技術(shù)研發(fā)人員:石崎順也,秋山智弘
受保護(hù)的技術(shù)使用者:信越半導(dǎo)體株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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