本發(fā)明涉及一種光學玻璃，尤其是涉及一種內(nèi)在質(zhì)量優(yōu)異且熱膨脹系數(shù)較低的透紫外光學玻璃。

背景技術：

1、隨著芯片制造技術向更低線寬、更高效率發(fā)展，需要工作在紫外波段的光刻設備具有更高的分辨率、更高的光通量和更大的曝光區(qū)域，因此對透紫外光學玻璃的需求逐漸加大。對于光學玻璃來說，光學性能決定了玻璃的基本功能，光學玻璃除需要期望的光學性能外，還需要具有優(yōu)良的內(nèi)在質(zhì)量(如氣泡、條紋等)，如果光學玻璃的組分設計不合理，容易造成玻璃內(nèi)存在大量氣泡而影響玻璃的使用，嚴重時甚至造成玻璃的報廢。另一方面，玻璃元件的超精密加工對光學玻璃的熱膨脹系數(shù)提出了較高的要求，需要玻璃具有較低的熱膨脹系數(shù)，以利于超精密鍍膜等工序。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種具有優(yōu)異的內(nèi)在質(zhì)量和較低的熱膨脹系數(shù)的透紫外光學玻璃。

2、本發(fā)明解決技術問題采用的技術方案是：

3、(1)透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：58～75％；pbo：13～28％；na2o：2～12％；k2o：3～13％，其中(sio2+na2o)/pbo為2.7～6.0。

4、(2)根據(jù)(1)所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，還含有：li2o：0～5％；和/或al2o3：0～4％；和/或zro2：0～4％；和/或ro：0～8％；和/或b2o3：0～4％；和/或ln2o3：0～5％；和/或nb2o5：0～3％；和/或wo3：0～3％；和/或zno：0～3％；和/或tio2：0～3％；和/或澄清劑：0～1％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

5、(3)透紫外光學玻璃，其組分中含有sio2、pbo、na2o和k2o，其組分以重量百分比表示，其中(sio2+na2o)/pbo為2.7～6.0，所述透紫外光學玻璃的折射率nd為1.50～1.57，阿貝數(shù)vd為46～52，熱膨脹系數(shù)α20/120℃為98×10-7/k以下，氣泡度為a級以上。

6、(4)根據(jù)(3)所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：58～75％；和/或pbo：13～28％；和/或na2o：2～12％；和/或k2o：3～13％；和/或li2o：0～5％；和/或al2o3：0～4％；和/或zro2：0～4％；和/或ro：0～8％；和/或b2o3：0～4％；和/或ln2o3：0～5％；和/或nb2o5：0～3％；和/或wo3：0～3％；和/或zno：0～3％；和/或tio2：0～3％；和/或澄清劑：0～1％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

7、(5)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，其中：(sio2+na2o)/pbo為2.9～5.5，優(yōu)選(sio2+na2o)/pbo為3.0～5.0，更優(yōu)選(sio2+na2o)/pbo為3.2～4.5。

8、(6)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，其中：(na2o+k2o)/pbo為0.2～1.5，優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.3～1.3，更優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.4～1.0，進一步優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.5～0.9。

9、(7)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，其中：sio2/(na2o+k2o)為2.5～12.0，優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為3.0～10.0，更優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為3.5～8.0，進一步優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為4.0～6.0。

10、(8)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，其中：(ro+zno)/k2o為1.0以下，優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.8以下，更優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.5以下，進一步優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.2以下，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種。

11、(9)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，其中：(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為1.0以下，優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.8以下，更優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.5以下，進一步優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.2以下。

12、(10)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：60～72％，優(yōu)選sio2：63～70％；和/或pbo：15～25％，優(yōu)選pbo：17～23％；和/或na2o：3～10％，優(yōu)選na2o：5～9％；和/或k2o：5～12％，優(yōu)選k2o：6～11％；和/或al2o3：0～2％，優(yōu)選al2o3：0～1％；和/或ro：0～4％，優(yōu)選ro：0～1.5％；和/或li2o：0～3％，優(yōu)選li2o：0～2％；和/或zro2：0～2％，優(yōu)選zro2：0～1％；和/或b2o3：0～3％，優(yōu)選b2o3：0～1％；和/或ln2o3：0～3％，優(yōu)選ln2o3：0～2％；和/或nb2o5：0～2％，優(yōu)選nb2o5：0～1％；和/或wo3：0～2％，優(yōu)選wo3：0～1％；和/或zno：0～2％，優(yōu)選zno：0～1％；和/或tio2：0～2％，優(yōu)選tio2：0～1％；和/或澄清劑：0～0.8％，優(yōu)選澄清劑：0～0.5％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

13、(11)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃不含有l(wèi)i2o；和/或不含有al2o3；和/或不含有zro2；和/或不含有sro；和/或不含有cao；和/或不含有mgo；和/或不含有bao；和/或不含有b2o3；和/或不含有nb2o5；和/或不含有wo3；和/或不含有zno；和/或不含有tio2；和/或不含有f。

14、(12)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃的折射率nd為1.50～1.57，優(yōu)選為1.51～1.56，更優(yōu)選為1.52～1.55，阿貝數(shù)vd為46～52，優(yōu)選為47～50，更優(yōu)選為47.5～49.5。

15、(13)根據(jù)(1)～(4)任一所述的透紫外光學玻璃，所述透紫外光學玻璃365nm處透過率τ365nm為98.5％以上，優(yōu)選為99.0％以上，更優(yōu)選為99.5％以上；和/或365nm處透過率耐紫外輻照衰減性能δτ365nm為2.0％以下，優(yōu)選為1.5％以下，更優(yōu)選為1.0％以下，進一步優(yōu)選為0.9％以下；和/或耐酸作用穩(wěn)定性da為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或耐水作用穩(wěn)定性dw為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或熱膨脹系數(shù)α20/120℃為98×10-7/k以下，優(yōu)選為90×10-7/k以下，更優(yōu)選為85×10-7/k以下；和/或轉變溫度tg為490℃以下，優(yōu)選為480℃以下，更優(yōu)選為470℃以下；和/或氣泡度為a級以上，優(yōu)選為a0級以上，更優(yōu)選為a00級；和/或條紋度為c級以上，優(yōu)選為b級以上。

16、(14)玻璃預制件，采用(1)～(13)任一所述的透紫外光學玻璃制成。

17、(15)玻璃元件，采用(1)～(13)任一所述的透紫外光學玻璃制成，或采用(14)所述的玻璃預制件制成。

18、(16)一種設備，含有(1)～(13)任一所述的透紫外光學玻璃，和/或含有(15)所述的玻璃元件。

19、本發(fā)明的有益效果是：通過合理的組分設計，本發(fā)明獲得的透紫外光學玻璃具有優(yōu)異的內(nèi)在質(zhì)量和較低的熱膨脹系數(shù)。