1.帶有循環(huán)媒介自動(dòng)控溫結(jié)構(gòu)的薄膜沉積設(shè)備加熱底盤，其特征在于，在所述加熱底盤的上盤體和下盤體之間通過(guò)媒介導(dǎo)流槽蓋板和媒介擋板的固定配合形成所述循環(huán)媒介自動(dòng)控溫結(jié)構(gòu)，所述上盤體的下表面邊緣有外側(cè)凸臺(tái)和內(nèi)側(cè)凸臺(tái)，兩圈凸臺(tái)之間形成環(huán)形溝槽，內(nèi)側(cè)凸臺(tái)分布有三個(gè)導(dǎo)流口，所述上盤體上還設(shè)置有陶瓷柱孔和熱電偶孔；
所述媒介擋板為一個(gè)圓盤結(jié)構(gòu)，從邊緣向上下兩側(cè)有凸起，在一側(cè)突起上分布有三個(gè)擋板媒介出口，擋板媒介出口與所述上盤體內(nèi)側(cè)凸臺(tái)的導(dǎo)流口位置對(duì)應(yīng)，所述媒介擋板上還設(shè)有媒介流通孔和擋板通孔，擋板通孔位置與所述上盤體陶瓷柱孔的位置對(duì)應(yīng)；
所述下盤體盤面上設(shè)有與所述上盤體陶瓷柱孔對(duì)應(yīng)的螺紋孔以及與熱電偶孔對(duì)應(yīng)的熱電偶安裝螺紋孔，在下盤體盤面靠近中心的位置設(shè)有媒介入口和媒介出口，以媒介入口為中心，在下盤體盤面上向外輻射三個(gè)導(dǎo)流槽，導(dǎo)流槽兩側(cè)設(shè)凸臺(tái)，用于和所述導(dǎo)流槽蓋板焊接，形成媒介流道，導(dǎo)流槽終端有終端孔，當(dāng)所述上盤體和下盤體固定一體后，所述終端孔對(duì)應(yīng)在所述環(huán)形溝槽的范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有循環(huán)媒介自動(dòng)控溫結(jié)構(gòu)的薄膜沉積設(shè)備加熱底盤，其特征在于，所述上盤體內(nèi)側(cè)凸臺(tái)的三個(gè)導(dǎo)流口均勻分布，將所述內(nèi)側(cè)凸臺(tái)的圓周分成三個(gè)相等的圓弧。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有循環(huán)媒介自動(dòng)控溫結(jié)構(gòu)的薄膜沉積設(shè)備加熱底盤，其特征在于，所述導(dǎo)流槽蓋板的端部設(shè)有端孔，端孔與所述導(dǎo)流槽的終端孔位置對(duì)應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有循環(huán)媒介自動(dòng)控溫結(jié)構(gòu)的薄膜沉積設(shè)備加熱底盤，其特征在于，將所述媒介擋板焊接在所述上盤體上時(shí)，上盤體外側(cè)凸臺(tái) 與媒介擋板不設(shè)媒介出口一側(cè)的突起高度在一個(gè)平面上。