本技術涉及游星輪，特別是涉及一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪。

背景技術：

1、氮化硅陶瓷基板生產過程中通常采用拋光機與游星輪配合，對氮化硅陶瓷基板的表面進行拋光。現(xiàn)有技術中，游星輪一般采用不銹鋼、玻璃纖維或環(huán)氧樹脂一體加工而成，這些材料的選擇基于它們各自的物理和化學特性，以滿足不同的工業(yè)需求。然而氮化硅陶瓷基板有多種規(guī)格，尺寸大小以及厚度不一，需要生產多種規(guī)格的游星輪與其配合使用，且游星輪使用過程中發(fā)生磨損或翹曲后，整體都需要報廢，提高了企業(yè)的生產成本。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型所要解決的技術問題是：為了克服現(xiàn)有技術中游星輪一體加工而成生產成本高，發(fā)生磨損或翹曲后整體都需要報廢的不足，本實用新型提供一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪。

2、本實用新型解決其技術問題所要采用的技術方案是：一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，包括第一游星輪、墊板和第二游星輪，所述墊板與第一游星輪上端面粘接連接，所述第二游星輪鋪設于墊板上，所述第一游星輪、墊板和第二游星輪軸線重合，所述第一游星輪和第二游星輪大小相同，所述第一游星輪和第二游星輪的外圓周上設置有與拋光機相匹配的齒，所述墊板的直徑與第一游星輪齒根圓的直徑相同，所述第二游星輪上設有多個與陶瓷基板配合的卡槽。

3、第一游星輪作為底部托盤，墊板與第一游星輪粘接形成一個整體，當?shù)谝挥涡禽?、墊板與第二游星輪組合放置在拋光機上時，陶瓷基板可以有效的鑲嵌在卡槽里，墊板襯于陶瓷基板下方對陶瓷基板起保護作用；第一游星輪直接放在墊板上，與墊板之間沒有連接關系，第一游星輪和第二游星輪通過外圓周上的齒與拋光機上的中心齒輪和齒圈咬合來保證第一游星輪和第二游星輪同步運轉；陶瓷基板規(guī)格不同厚度不同，第二游星輪的厚度可根據(jù)陶瓷基板厚度定制，比陶瓷基板厚度略低即可；在拋光不同厚度的陶瓷基板時，更換不同厚度的第二游星輪即可。墊板的直徑與第一游星輪、第二游星輪的齒根圓直徑相同，對第一游星輪和第二游星輪具有一定的支撐保護作用；由于墊板與第一游星輪粘接連接，墊板對第一游星輪的支撐保護作用更大，當?shù)诙涡禽喗涢L期使用發(fā)生翹曲時，單獨更換第二游星輪即可。

4、進一步，所述卡槽排列分布于所述第二游星輪上，所述卡槽與陶瓷基板之間的間隙不大于0.3mm，所述第二游星輪上還分布有多個結構孔。

5、陶瓷基板與卡槽之間的間隙不大于0.3mm，即避免陶瓷基板在卡槽內晃動，同時又方便陶瓷基板的拿取，不會出現(xiàn)卡住或碰壞的現(xiàn)象。結構孔的設置減輕了第二游星輪的重量，陶瓷基板拋光過程中，結構孔還具有排水排氣的作用。

6、進一步，所述第一游星輪為樹脂光板游星輪。

7、進一步，所述墊板為聚氨酯墊板。

8、進一步，所述第二游星輪為不銹鋼游星輪，所述第二游星輪的厚度為陶瓷基板厚度的75%~80%。

9、進一步，為了使第二游星輪組合到第一游星輪和墊板上時，第一游星輪和第二游星輪上的齒快速對位，所述墊板上設有至少兩個限位凸起，所述限位凸起與結構孔位置對應。

10、本實用新型的有益效果是：本實用新型提供的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，將游星輪分為第一游星輪、墊板和第二游星輪三個部分，在第二游星輪上開設與氮化硅陶瓷基板配合的卡槽，拋光過程中，第一游星輪和墊板作為通用件不需要更換，只需要更換不同的第二游星輪即可加工不同規(guī)格的氮化硅陶瓷基板，第二游星輪發(fā)生破損或翹曲時，只需單獨更換第二游星輪即可，大大降低了企業(yè)的生產成本。

技術特征：

1.一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：包括第一游星輪（1）、墊板（2）和第二游星輪（3），所述墊板（2）與第一游星輪（1）上端面粘接連接，所述第二游星輪（3）鋪設于墊板（2）上，所述第一游星輪（1）、墊板（2）和第二游星輪（3）軸線重合，所述第一游星輪（1）和第二游星輪（3）大小相同，所述第一游星輪（1）和第二游星輪（3）的外圓周上設置有與拋光機相匹配的齒，所述墊板（2）的直徑與第一游星輪（1）齒根圓的直徑相同，所述第二游星輪（3）上設有多個與陶瓷基板配合的卡槽（31）。

2.如權利要求1所述的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：所述卡槽（31）排列分布于所述第二游星輪（3）上，所述卡槽（31）與陶瓷基板之間的間隙不大于0.3mm，所述第二游星輪（3）上還分布有多個結構孔（32）。

3.如權利要求1所述的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：所述第一游星輪（1）為樹脂光板游星輪。

4.如權利要求1所述的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：所述墊板（2）為聚氨酯墊板。

5.如權利要求1所述的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：所述第二游星輪（3）為不銹鋼游星輪，所述第二游星輪（3）的厚度為陶瓷基板厚度的75%~80%。

6.如權利要求2所述的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，其特征在于：所述墊板（2）上設有至少兩個限位凸起（21），所述限位凸起（21）與結構孔（32）位置對應。

技術總結
本技術提供一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，包括第一游星輪、墊板和第二游星輪，墊板與第一游星輪上端面粘接連接，第二游星輪鋪設于墊板上，第一游星輪和第二游星輪大小相同，第一游星輪和第二游星輪的外圓周上設有與拋光機相匹配的齒，墊板的直徑與第一游星輪齒根圓的直徑相同，第二游星輪上設有多個與陶瓷基板配合的卡槽。本技術提供的一種氮化硅陶瓷基板單面拋光游星輪，將游星輪分為第一游星輪、墊板和第二游星輪三個部分，拋光過程中，第一游星輪和墊板作為通用件不需要更換，只需要更換不同的第二游星輪即可加工不同規(guī)格的氮化硅陶瓷基板，第二游星輪發(fā)生破損或翹曲時，只需單獨更換第二游星輪即可，大大降低了企業(yè)的生產成本。

技術研發(fā)人員：孫偉,賈鴻遠,尹江
受保護的技術使用者：江蘇海古德半導體科技有限公司
技術研發(fā)日：20240710
技術公布日：2025/5/15