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一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法與流程

文檔序號(hào):41952288發(fā)布日期:2025-05-16 14:14閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),包括加工架(1),所述加工架(1)的頂部鉸接有密封蓋(2),所述加工架(1)的底部固定連接有底座(3),所述底座(3)的底部固定連接有支撐板(4),所述加工架(1)的內(nèi)壁底部開設(shè)有篩孔(5),所述密封蓋(2)的內(nèi)壁固定連接有穩(wěn)定板(9),所述加工架(1)的內(nèi)壁固定連接有限位架(7),所述加工架(1)的內(nèi)壁底部開設(shè)有通孔(10),所述底座(3)的內(nèi)壁底部固定連接有電機(jī)(11),所述電機(jī)(11)的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)盤(12),所述轉(zhuǎn)盤(12)的頂部固定連接有打磨盤(6),所述加工架(1)的內(nèi)壁底部固定連接有限位環(huán)(8),其特征在于,還包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述密封蓋(2)靠近加工架(1)的一端與加工架(1)的端部接觸,所述密封蓋(2)的底部與加工架(1)的內(nèi)壁底部接觸,所述打磨盤(6)的底部與限位環(huán)(8)的頂部接觸,所述轉(zhuǎn)盤(12)的表面與底座(3)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述冷卻部件(13)包括抽水管(21),所述抽水管(21)的端部與水泵(22)的進(jìn)水端連通,所述水泵(22)的出水端連通有彎管(23);

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述抽水管(21)遠(yuǎn)離水泵(22)的一端與水箱(20)的內(nèi)壁底部接觸,所述彎管(23)的底部貫穿水箱(20)且延伸至水箱(20)的外端,所述彎管(23)靠近圓弧架(24)的一端貫穿加工架(1)且延伸至加工架(1)的內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述固定部件(14)包括彈性架(34),所述移動(dòng)架(31)的底部固定連接有電推桿(45),所述彈性架(34)的頂部與電推桿(45)的底部固定連接,所述彈性架(34)的底部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架(32),所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(32)的表面開設(shè)有限位槽(35),所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(32)的表面固定連接有固定環(huán)(36),所述固定環(huán)(36)的內(nèi)壁開設(shè)有定位槽(33),所述固定環(huán)(36)的內(nèi)壁固定連接有十字架(39),所述十字架(39)的表面固定連接有伸縮板(40),所述伸縮板(40)遠(yuǎn)離十字架(39)的一端固定連接有擠壓板(41),所述擠壓板(41)的下表面開設(shè)有卡槽(44),所述擠壓板(41)的下表面開設(shè)有斜槽(42),所述擠壓板(41)的頂部固定連接有彈片(43);

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述滑槽板(30)的端部延伸至密封蓋(2)的內(nèi)部,所述移動(dòng)架(31)的內(nèi)壁與滑槽板(30)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接,所述固定環(huán)(36)的數(shù)量設(shè)置有四個(gè),四個(gè)所述固定環(huán)(36)以轉(zhuǎn)動(dòng)架(32)為中心圓周設(shè)置,所述限位架(7)遠(yuǎn)離加工架(1)的一端與限位槽(35)的內(nèi)壁接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述限位架(7)的上下端與限位槽(35)的內(nèi)壁設(shè)置有間隙,所述穩(wěn)定板(9)遠(yuǎn)離密封蓋(2)的一端與轉(zhuǎn)動(dòng)架(32)的表面接觸,所述按壓板(37)的底部與彈片(43)的頂部接觸,所述擠壓板(41)的表面與定位槽(33)的內(nèi)壁接觸,所述卡槽(44)的底部與斜槽(42)的頂部連通,所述卡槽(44)用于插接圓晶(46)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述刮除部件(15)包括圓孔(50),所述圓孔(50)開設(shè)在打磨盤(6)的底部,所述圓孔(50)的內(nèi)壁頂部固定連接有彈力桿(52),所述彈力桿(52)的底部固定連接有刮板(51),所述刮板(51)的底部與加工架(1)的內(nèi)壁底部接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述分離部件(16)包括彈力板(62),所述彈力板(62)的端部與儲(chǔ)存架(60)的內(nèi)壁固定連接,所述彈力板(62)遠(yuǎn)離儲(chǔ)存架(60)的一端固定連接有三角板(63),所述三角板(63)的底部鉸接有推板(64),所述儲(chǔ)存架(60)的底部鉸接有卸料板(61);

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于,包括以下步驟:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法,包括加工架,加工架的頂部鉸接有密封蓋,加工架的底部固定連接有底座,底座的底部固定連接有支撐板,加工架的內(nèi)壁底部開設(shè)有篩孔,密封蓋的內(nèi)壁固定連接有穩(wěn)定板,加工架的內(nèi)壁固定連接有限位架,加工架的內(nèi)壁底部開設(shè)有通孔。本發(fā)明將密封蓋打開后,拉動(dòng)固定部件向加工架的外端移動(dòng),將晶圓放置在固定部件的內(nèi)部后,將固定部件推動(dòng)至加工架的內(nèi)部,密封蓋與加工架合并之后,密封蓋會(huì)通過穩(wěn)定板對(duì)固定部件擠壓,提高固定部件對(duì)晶圓固定時(shí)的穩(wěn)定性,啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)盤在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)推動(dòng)打磨盤在加工架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng),利用打磨盤對(duì)晶圓進(jìn)行減薄處理。

技術(shù)研發(fā)人員:韓冰,蘇宏宇,王春艷
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國標(biāo)準(zhǔn)化研究院
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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